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제 1 하우징;상기 제 1 하우징 내부 또는 상부에 배치되어 시료에 펄스 레이저 광을 조사하는 조명기; 및상기 제 1 하우징 내에 배치되고, 상기 펄스 레이저 광에 의해 생성되는 광 음향을 수신하는 도파로 공진기를 포함하되,상기 도파로 공진기는:상기 펄스 레이저 광과 다른 CW 레이저 광을 전송하는 전송 도파로; 및상기 전송 도파로에 인접하여 배치되고, 상기 펄스 레이저 광에 의해 생성된 광음향 신호를 수신하는 복수개의 공진 도파로들을 포함하는 프로브
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제 1 항에 있어서, 상기 전송 도파로는:복수개의 직선 도파로들; 및상기 복수개의 직선 도파로들의 일측에 연결되는 곡선 도파로를 포함하되,상기 복수개의 직선 도파로들은:제 1 직선 도파로;상기 제 1 직선 도파로와 평행하고 상기 곡선 도파로에 의해 상기 제 1 직선 도파로에 연결되는 제 2 직선 도파로를 포함하는 프로브
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제 2 항에 있어서, 상기 복수개의 공진 도파로들은:상기 제 1 직선 도파로에 접하는 제 1 공진 도파로; 및상기 제 2 직선 도파로에 접하고, 상기 제 1 공진 도파로보다 큰 제 2 공진 도파로를 포함하는 프로브
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제 3 항에 있어서, 상기 제 1 공진 도파로 및 상기 제 2 공진 도파로의 각각은 링 공진 도파로를 포함하는 프로브
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제 1 항에 있어서, 상기 도파로 공진기는 상기 전송 도파로 및 상기 공진 도파로들 아래에 배치된 기판을 더 포함하되,상기 기판은 상기 공진 도파로들 아래의 캐비티를 갖는 프로브
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 하우징 내에 배치되고 상기 도파로 공진기를 고정하는 제 1 플랫폼; 상기 제 1 플랫폼과 상기 도파로 공진기 사이에 배치되는 발열 소자; 및상기 도파로 공진기 상에 배치된 제 1 렌즈를 더 포함하되,상기 제 1 렌즈는 볼록한 상부면을 갖는 프로브
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제 6 항에 있어서, 상기 제 1 하우징 상에 배치되는 제 2 하우징;상기 제 2 하우징 내에 배치되어 상기 조명기를 실장하는 제 2 플랫폼; 및상기 제 2 플랫폼 및 상기 조명기의 하부면 상에 배치된 제 2 렌즈를 더 포함하되, 상기 제 2 렌즈는 오목한 하부면을 갖는 프로브
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 하우징은 상기 공진 도파로들을 노출하는 홀을 갖는 프로브
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제 8 항에 있어서, 상기 홀에 노출되는 경사진 반사면을 갖고 상기 펄스 레이저 광을 반사하는 반사부를 더 포함하는 프로브
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제 9 항에 있어서, 상기 제 1 하우징의 하부 내벽에 배치되고 상기 경사진 반사면에 상기 펄스 레이저 광을 조사하는 광섬유를 더 포함하는 프로브
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펄스 레이저 광을 생성하는 펄스 레이저 생성기;상기 펄스 레이저 광과 다른 CW 레이저 광을 생성하는 CW 레이저 생성기; 상기 CW 레이저 생성기 및 상기 펄스 레이저 생성기에 연결되는 프로브; 및상기 프로브를 상기 CW 레이저 생성기 및 상기 펄스 레이저 생성기에 연결하는 광섬유들을 포함하되,상기 프로브는:제 1 하우징;상기 제 1 하우징 내부 또는 상부에 배치되어 시료에 펄스 레이저 광을 조사하는 조명기; 및상기 제 1 하우징 내에 배치되고, 상기 펄스 레이저 광에 의해 생성되는 광 음향을 수신하는 도파로 공진기를 포함하되,상기 도파로 공진기는:상기 펄스 레이저 광과 다른 CW 레이저 광을 전송하는 전송 도파로; 및상기 전송 도파로에 인접하여 배치되고, 상기 펄스 레이저 광에 의해 생성된 광음향 신호를 수신하는 복수개의 공진 도파로들을 포함하는 진단 시스템
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제 11 항에 있어서, 상기 광섬유들을 통해 상기 프로브에 연결되고, 상기 CW 레이저 광을 이용하여 상기 펄스 레이저 광에 의해 생성되는 광음향 신호를 분석하는 신호 분석기를 더 포함하는 진단 시스템
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제 11 항에 있어서, 상기 광섬유들을 상기 프로브에 연결하는 결합기를 더 포함하는 진단 시스템
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제 11 항에 있어서, 상기 프로브는 상기 제 1 하우징 내에 배치되고, 상기 광섬유들을 상기 도파로 공진기에 연결하는 광 결합기를 더 포함하는 진단 시스템
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제 11 항에 있어서, 상기 프로브는 상기 제 1 하우징 상에 배치되고, 상기 조명기의 일부를 둘러싸는 제 2 하우징을 더 포함하는 진단 시스템
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