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제1 방향을 따라 배열된 이득 영역, 위상 제어 영역 및 튜닝 영역을 포함하는 기판으로서, 상기 기판은 상기 위상 제어 영역으로부터 상기 튜닝 영역으로 연장된 에어갭을 포함하는 것;상기 기판 상의 상부 클래드 층;상기 상부 클래드 층과 상기 기판 사이에서, 상기 제1 방향으로 연장된 도파로 구조체;상기 튜닝 영역의 상부 클래드 층의 상면 상에 배치된 제1 상부 전극; 및상기 기판의 하면 상에 배치되며, 상기 이득 영역으로부터 상기 튜닝 영역으로 연장된 하부 전극을 포함하되,상기 에어갭은 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 상기 도파로에 비해 큰 폭을 갖는 레이저 소자
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제1 항에 있어서,상기 튜닝 영역의 상기 기판 내에서, 상기 에어갭과 상기 기판의 상면 사이에 배치된 격자 패턴들을 더 포함하는 레이저 소자
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제1 항에 있어서,상기 기판은 지지층 및 상기 지지층 상에 배치되어 상기 지지층에 비해 작은 상기 제2 방향의 폭을 갖는 하부 클래드 층을 포함하되, 상기 에어갭은 상기 하부 클래드 층에 비해 낮은 레벨에 위치하는 레이저 소자
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제3 항에 있어서,상기 제2 방향으로 상기 에어갭의 폭은 상기 하부 클래드 층의 상기 제2 방향의 폭에 비해 큰 레이저 소자
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제1 항에 있어서,상기 에어갭은 상기 제2 방향으로 상기 기판의 최대 폭에 비해 작은 폭을 갖는 레이저 소자
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제1 항에 있어서,상기 위상 제어 영역의 상기 상부 클래드 층 상의 제2 상부 전극;상기 튜닝 영역의 상기 상부 클래드 층 상의 제3 상부 전극; 및 상기 제2 및 제3 상부 전극들과 상기 상부 클래드 층 사이의 상부 절연층을 더 포함하는 레이저 소자
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제1 항에 있어서,상기 위상 제어 영역의 상기 상부 클래드 층 상의 제2 상부 전극 및 제2 상부 전극과 연결된 복수의 단자들을 더 포함하는 레이저 소자
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제1 항에 있어서,상기 도파로 구조체는 상기 이득 영역 상의 능동 도파로 및 상기 능동 도파로와 연결되고 상기 위상 제어 영역 및 상기 튜닝 영역 상의 수동 도파로를 더 포함하는 레이저 소자
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제1 항에 있어서,상기 도파로 구조체의 측면 상에 배치된 측면 반도체 패턴들을 더 포함하는 레이저 소자
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제1 항에 있어서,상기 상부 클래드 층은 상기 기판과 다른 도전형을 갖는 레이저 소자
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이득 영역, 튜닝 영역 및 상기 이득 영역과 튜닝 영역 사이의 위상 제어 영역을 포함하는 기판으로서, 상기 기판은 상기 위상 제어 영역으로부터 상기 튜닝 영역으로 연장된 에어갭을 포함하는 것;상기 기판의 하면 상에 배치되며 상기 이득 영역으로부터 상기 튜닝 영역으로 연장된 하부 전극;상기 기판의 상면 상의 상부 클래드 층;상기 기판과 상기 상부 클래드 층 사이의 도파로 구조체;상기 이득 영역의 상부 클래드 층 상에 배치되며, 상기 상부 클래드 층과 전기적으로 연결된 제1 상부 전극;상기 위상 제어 영역의 상부 클래드 층 상에 배치되며, 상부 클래드 층과 전기적으로 절연된 제2 상부 전극; 및상기 튜닝 영역의 상부 클래드 층 상에 배치되며, 상부 클래드 층과 전기적으로 절연된 제3 상부 전극을 포함하는 레이저 소자
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제11 항에 있어서,상기 하부 전극은 상기 기판의 이득 영역, 위상 제어 영역 및 튜닝 영역 과 전기적으로 연결되는 레이저 소자
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제11 항에 있어서,상기 상부 클래드 층은 상기 기판과 다른 도전형을 갖는 레이저 소자
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제11 항에 있어서,상기 제1 상부 전극 상의 제1 패드 및 상기 제1 패드와 상기 기판 사이의 절연 기둥을 더 포함하되,상기 절연 기둥은 상기 기판에 비해 낮은 유전율을 갖는 레이저 소자
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제11 항에 있어서,상기 기판은 지지층 및 상기 지지층에 비해 작은 폭을 갖는 하부 클래드 층을 포함하되, 상기 에어갭은 상기 하부 클래드 층에 비해 낮은 레벨에 위치하는 레이저 소자
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제11 항에 있어서,상기 제2 상부 전극 상의 제2 패드들 및 상기 제3 상부 전극 상의 제3 패드들을 더 포함하는 레이저 소자
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