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전력반도체 소자의 온도 측정을 위한 시험장치에 있어서,상기 전력반도체 소자에 구동신호를 전송하며, 전송된 상기 구동신호에 따라 동작하는 상기 전력반도체 소자의 응답신호를 수신하는 구동부;상기 전력반도체 소자에 부착되는 방열판의 온도를 측정하는 방열판온도 측정부;상기 방열판온도 측정부에 의해 측정되는 상기 방열판의 온도와 상기 구동부에 의해 수신되는 응답신호를 분석하여 상기 전력반도체 소자의 온도를 추정하는 온도 추정부;상기 전력반도체 소자의 외부에서 비접촉 방식으로 상기 전력반도체 소자의 표면온도를 측정하는 표면온도 측정부; 및상기 표면온도 측정부에 의해 측정되는 표면온도에 대응하여, 상기 온도 추정부에 의해 추정되는 온도를 보상하는 온도 보상부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전력반도체 소자의 온도 측정을 위한 시험장치
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제1항에 있어서,상기 전력반도체 소자로 유입되는 전류를 제어하는 전류 제어부; 및상기 전류 제어부에 의해 제어되어 상기 전력반도체 소자로 유입되는 전류를 측정하는 전류 측정부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전력반도체 소자의 온도 측정을 위한 시험장치
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제2항에 있어서,상기 온도 추정부는 상기 전류 측정부에 의해 측정되는 전류에 기반하여 상기 전력반도체 소자의 온도를 추정하는 것을 특징으로 하는 전력반도체 소자의 온도 측정을 위한 시험장치
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제3항에 있어서,상기 구동부에 의해 수신되는 응답신호, 상기 표면온도 측정부에 의해 측정되는 표면온도, 상기 전류 측정부에 의해 측정되는 유입전류, 및 상기 방열판온도 측정부에 의해 측정되는 상기 방열판의 온도를 취득하는 데이터 취득부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전력반도체소자의 온도 측정을 위한 시험장치
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전력반도체 소자의 온도측정 시험장치에 의해 수행되는 온도측정 시험방법에 있어서,상기 전력반도체 소자에 구동신호를 전송하며, 전송된 상기 구동신호에 따라 동작하는 상기 전력반도체 소자의 응답신호를 수신하는 단계;상기 전력반도체 소자에 부착되는 방열판의 온도를 측정하는 단계;상기 방열판의 온도와 수신되는 상기 응답신호를 분석하여 상기 전력반도체 소자의 온도를 추정하는 단계;상기 전력반도체 소자의 외부에서 비접촉 방식으로 상기 전력반도체 소자의 표면온도를 측정하는 단계; 및측정되는 상기 전력반도체 소자의 표면온도에 대응하여, 추정되는 상기 전력반도체 소자의 온도를 보상하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전력반도체 소자의 온도측정 시험방법
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제5항에 있어서,상기 전력반도체 소자로 유입되는 전류를 제어하는 단계; 및제어되는 상기 유입전류를 측정하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전력반도체 소자의 온도측정 시험방법
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제6항에 있어서,상기 전력반도체의 온도를 추정하는 단계는 측정되는 상기 유입전류에 기반하여 상기 전력반도체 소자의 온도를 추정하는 것을 특징으로 하는 전력반도체 소자의 온도측정 시험방법
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제7항에 있어서,수신되는 상기 전력반도체 소자의 응답신호, 측정되는 상기 전력반도체 소자의 표면온도, 측정되는 상기 전력반도체 소자의 유입전류, 측정되는 상기 방열판의 온도를 취득하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전력반도체소자의 온도측정 시험방법
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