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압전 기판; 및 상기 압전 기판 위에 센서 어레이 타입으로 형성된 복수의 바이오 센서를 포함하고, 상기 복수의 바이오 센서는, 바이오 물질을 검출하기 위해 서로 다른 항체가 결합된 복수의 바이오 센싱 소자와, 상기 항체가 결합되지 않은 레퍼런스 소자를 포함하고, 상기 복수의 바이오 센싱 소자는 측정 대상인 바이오 물질과 입력 IDT(Inter Digital Transducer) 전극 및 출력 IDT 전극 사이 형성된 센싱 필름의 이차원 나노 물질과의 결합으로 인한 표면 탄성파의 주파수 변화를 측정하고, 상기 센싱 필름에 형성된 제1 전극 및 제2 전극을 통해 상기 센싱 필름의 전도도 변화를 측정하는, 전도도 및 주파수 변화 측정을 위한 바이오 센서 어레이
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제1항에 있어서, 상기 바이오 센싱 소자는, 입력된 전기 에너지를 이용하여 표면 탄성파로 발생시키는 상기 입력 IDT 전극; 상기 바이오 물질로 인한 표면 탄성파의 주파수 변화를 측정하기 위해 이차원 나노 물질로 이루어진 상기 센싱 필름; 주파수가 변환된 표면 탄성파를 전기 에너지로 변환시키는 상기 출력 IDT 전극; 및 상기 센싱 필름에 형성된 제1 전극 및 제2 전극을 포함하는, 전도도 및 주파수 변화 측정을 위한 바이오 센서 어레이
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제1항에 있어서, 상기 입력 IDT 전극과 상기 제1 전극의 패드는 공유되고, 상기 출력 IDT 전극과 상기 제2 전극의 패드는 공유되는, 전도도 및 주파수 변화 측정을 위한 바이오 센서 어레이
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제1항에 있어서, 상기 센싱 필름은, 기설정된 면적 이상의 대면적 단층의 그래핀 필름으로 이루어지는, 전도도 및 주파수 변화 측정을 위한 바이오 센서 어레이
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제1항에 있어서, 상기 센싱 필름은, 도핑 또는 산화 반응의 공유 결합 기능화를 통해 상기 바이오 물질과 결합되는, 전도도 및 주파수 변화 측정을 위한 바이오 센서 어레이
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제1항에 있어서, 상기 센싱 필름은, 파이-파이 상호작용(pi-pi interaction), 그래핀 방향족 링커(graphene aromatic linker), 소수성 스태킹(hydrophobic stacking) 및 정전식 상호작용(electrostatic interaction) 중에서 어느 하나의 비공유 결합 기능화를 통해 상기 바이오 물질과 결합되는, 전도도 및 주파수 변화 측정을 위한 바이오 센서 어레이
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제1항에 있어서, 상기 바이오 센싱 소자가 지연 라인 타입(Delay-line type)인 경우, 상기 표면 탄성파의 감쇄를 감소시키기 위해 상기 입력 IDT 전극 및 상기 출력 IDT 전극 사이에 형성된 가이딩 레이어를 더 포함하고, 상기 제1 전극, 상기 센싱 필름 및 상기 제2 전극은 상기 가이딩 레이어 위에 형성되는, 전도도 및 주파수 변화 측정을 위한 바이오 센서 어레이
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제1항에 있어서, 상기 바이오 센싱 소자가 지연 라인 타입(Delay-line type)인 경우, 상기 표면 탄성파의 감쇄를 감소시키기 위해 상기 입력 IDT 전극 및 상기 제1 전극 사이의 부분과, 상기 출력 IDT 전극 및 상기 제2 전극 사이의 부분에 각각 형성된 가이딩 레이어를 더 포함하는, 상기 제1 전극, 상기 센싱 필름 및 상기 제2 전극은 상기 각각 형성된 가이딩 레이어 사이에 형성되는, 전도도 및 주파수 변화 측정을 위한 바이오 센서 어레이
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제1항에 있어서, 상기 바이오 센싱 소자가 공진기 타입(Resonator type)인 경우, 상기 표면 탄성파의 감쇄를 감소시키기 위해 상기 입력 IDT 전극 및 상기 출력 IDT 전극 사이에 형성된 가이딩 레이어를 더 포함하고, 상기 제1 전극, 상기 센싱 필름 및 상기 제2 전극은 상기 가이딩 레이어 위에 형성되는, 전도도 및 주파수 변화 측정을 위한 바이오 센서 어레이
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압전 기판 위에 복수의 바이오 센싱 소자를 형성하는 단계; 복수의 바이오 물질을 각각 검출하기 위해 상기 복수의 바이오 물질에 대응되는 항체를 상기 복수의 바이오 센싱 소자에 각각 결합시키는 단계; 및 항체가 결합되지 않은 레퍼런스 소자를 형성하는 단계를 포함하고, 상기 복수의 바이오 센싱 소자와 상기 레퍼런스 소자는 복수의 바이오 센서로 구성되고, 상기 복수의 바이오 센싱 소자는 측정 대상인 바이오 물질과 입력 IDT(Inter Digital Transducer) 전극 및 출력 IDT 전극 사이 형성된 센싱 필름의 이차원 나노 물질과의 결합으로 인한 표면 탄성파의 주파수 변화를 측정하고, 상기 센싱 필름에 형성된 제1 전극 및 제2 전극을 통해 상기 센싱 필름의 전도도 변화를 측정하는, 전도도 및 주파수 변화 측정을 위한 바이오 센서 어레이 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 바이오 센싱 소자를 형성하는 단계는, 상기 압전 기판 위에 입력된 전기 에너지를 이용하여 표면 탄성파로 발생시키는 입력 IDT 전극과 주파수가 변환된 표면 탄성파를 전기 에너지로 변환시키는 출력 IDT 전극을 형성하는 단계; 상기 입력 IDT 전극 및 상기 출력 IDT 전극의 사이에 이차원 나노 물질로 이루어진 상기 센싱 필름을 형성하는 단계; 및 상기 형성된 센싱 필름에 제1 전극 및 제2 전극을 형성하는 단계를 포함하는, 전도도 및 주파수 변화 측정을 위한 바이오 센서 어레이 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 입력 IDT 전극과 상기 제1 전극의 패드는 공유되고, 상기 출력 IDT 전극과 상기 제2 전극의 패드는 공유되는, 전도도 및 주파수 변화 측정을 위한 바이오 센서 어레이 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 센싱 필름은, 기설정된 면적 이상의 대면적 단층의 그래핀 필름으로 이루어지는, 전도도 및 주파수 변화 측정을 위한 바이오 센서 어레이 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 센싱 필름은, 도핑 또는 산화 반응의 공유 결합 기능화를 통해 상기 바이오 물질과 결합되는, 전도도 및 주파수 변화 측정을 위한 바이오 센서 어레이 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 센싱 필름은, 파이-파이 상호작용(pi-pi interaction), 그래핀 방향족 링커(graphene aromatic linker), 소수성 스태킹(hydrophobic stacking) 및 정전식 상호작용(electrostatic interaction) 중에서 어느 하나의 비공유 결합 기능화를 통해 상기 바이오 물질과 결합되는, 전도도 및 주파수 변화 측정을 위한 바이오 센서 어레이 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 바이오 센싱 소자가 지연 라인 타입(Delay-line type)인 경우, 상기 표면 탄성파의 감쇄를 감소시키기 위해 상기 입력 IDT 전극 및 상기 출력 IDT 전극 사이에 가이딩 레이어를 형성하는 단계를 더 포함하고, 상기 제1 전극, 상기 센싱 필름 및 상기 제2 전극은 상기 가이딩 레이어 위에 형성되는, 전도도 및 주파수 변화 측정을 위한 바이오 센서 어레이 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 바이오 센싱 소자가 지연 라인 타입(Delay-line type)인 경우, 상기 표면 탄성파의 감쇄를 감소시키기 위해 상기 입력 IDT 전극 및 상기 제1 전극 사이의 부분과, 상기 출력 IDT 전극 및 상기 제2 전극 사이의 부분에 각각 가이딩 레이어를 형성하는 단계를 더 포함하는, 상기 제1 전극, 상기 센싱 필름 및 상기 제2 전극은 상기 각각 형성된 가이딩 레이어 사이에 형성되는, 전도도 및 주파수 변화 측정을 위한 바이오 센서 어레이 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 바이오 센싱 소자가 공진기 타입(Resonator type)인 경우, 상기 표면 탄성파의 감쇄를 감소시키기 위해 상기 입력 IDT 전극 및 상기 출력 IDT 전극 사이에 가이딩 레이어를 형성하는 단계를 더 포함하고, 상기 제1 전극, 상기 센싱 필름 및 상기 제2 전극은 상기 가이딩 레이어 위에 형성되는, 전도도 및 주파수 변화 측정을 위한 바이오 센서 어레이 제조 방법
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