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웨이퍼 이송 로봇에 구비되어 웨이퍼를 로딩 및 언로딩하는 블레이드(blade)에 장착되는 미끄럼 방지 패드에 있어서,상기 블레이드의 상면에 장착되는 베이스부; 및상기 베이스부의 상면에 형성되며 하나 이상의 미세패턴을 포함하는 패턴부;를 포함하고,상기 패턴부는 상부 표면에 상기 웨이퍼와 전기적으로 접촉되도록 전도성을 갖는 전도층부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 미끄럼 방지 패드
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제1항에 있어서,상기 전도층부와 상기 웨이퍼를 전기적으로 연결하는 통전부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미끄럼 방지 패드
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제1항에 있어서, 상기 베이스부의 하면에 상기 블레이드의 상면과의 접착을 위한 접착층; 및상기 전도층부와 상기 접착층을 전기적으로 연결하는 통전부;를 더 포함하고,상기 접착층은 상기 웨이퍼와 전기적으로 연결되도록 전도성을 갖는 것을 특징으로 하는 미끄럼 방지 패드
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제1항에 있어서,상기 전도층부의 두께는 5㎚ 내지 200㎛ 인 것을 특징으로 하는 미끄럼 방지 패드
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제2항 또는 제3항에 있어서,상기 통전부는 상기 베이스부의 측면을 둘러싸는 것을 특징으로 하는 미끄럼 방지 패드
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제1항에 있어서,상기 전도층부는 그래핀, CNT(carbon nano tube), C60, C540, C70, 비정질카본(amorphous carbon), 흑연, 폴리아세틸렌(poly acetylene), 폴리티오펜(poly thiophene), 폴리아닐린(poly aniline), 폴리피롤(poly pyrrole), 폴리파라페닐렌(poly p phenylene), 폴리페닐렌비닐렌(poly phenylene vinylene), 폴리파라페닐렌설파이드(poly p phenylene sulphide), 폴리파라페닐렌비닐렌(poly p phenylene vinylene), 폴리이소티아나프텐(poly iso thianaphthene) 또는 폴리티에닐렌비닐렌(poly thienylene vinylene) 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 미끄럼 방지 패드
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제2항 또는 제3항에 있어서,상기 통전부는 그래핀, CNT(carbon nano tube), C60, C540, C70, 비정질카본(amorphous carbon), 흑연, 폴리아세틸렌(poly acetylene), 폴리티오펜(poly thiophene), 폴리아닐린(poly aniline), 폴리피롤(poly pyrrole), 폴리파라페닐렌(poly p phenylene), 폴리페닐렌비닐렌(poly phenylene vinylene), 폴리파라페닐렌설파이드(poly p phenylene sulphide), 폴리파라페닐렌비닐렌(poly p phenylene vinylene), 폴리이소티아나프텐(poly iso thianaphthene) 또는 폴리티에닐렌비닐렌(poly thienylene vinylene) 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 미끄럼 방지 패드
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제1항에 있어서,상기 하나 이상의 미세패턴은 기둥 형상으로 형성되며,상기 기둥의 단면 형상은 다각형, 원 또는 타원이며,상기 기둥의 높이는 10㎚ 내지 1000㎛이고, 상기 기둥의 직경은 10㎚ 내지 1000㎛인 것을 특징으로 하는 미끄럼 방지 패드
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제1항에 있어서,상기 하나 이상의 미세패턴은 홈 형상으로 형성되며,상기 홈의 단면 형상은 다각형, 원 또는 타원이며,상기 홈의 깊이는 10㎚ 내지 1000㎛이고,상기 홈의 직경은 10㎚ 내지 1000㎛인 것을 특징으로 하는 미끄럼 방지 패드
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제1항에 있어서,상기 웨이퍼의 하면과 상기 패턴부의 상면 사이에는 반데르발스 힘(Van der Waals)에 의한 장착력이 발생되는 것을 특징으로 하는 미끄럼 방지 패드
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제1항에 있어서,상기 베이스부 및 상기 패턴부는 신축성이 있는 탄성중합체(elastomer), 실리콘계 탄성중합체(Si based elastomer), 플루오르엘라스토머(FKM, fluoroelastomer), 퍼플루오르엘라스토머(FFKM, perfluoroelastomer) 또는 폴리테트라플루오르에틸렌(PTFE, polytetrafluoroethylene)로 형성되는 것을 특징으로 하는 미끄럼 방지 패드
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