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웨이퍼 이송 로봇에 구비되어 웨이퍼를 로딩 및 언로딩하는 블레이드(blade)에 장착되는 미끄럼 방지 패드에 있어서,상기 블레이드의 상면에 장착되는 베이스부; 및상기 베이스부의 상면에 형성되며 하나 이상의 미세패턴을 포함하는 패턴부;를 포함하고,상기 패턴부는 고온 안정층 및 패턴부 하부를 포함하고, 상기 고온 안정층은 상기 패턴부의 상부 표면에 형성되는 것을 특징으로 하는 미끄럼 방지 패드
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제1항에 있어서,상기 고온 안정층은 폴리이미드(polyimide) 기반의 고온용 엘라스토머(elastomer), PDMS(Polydimethylsiloxane), 네거티브 포토레지스트, 실리콘 산화물 또는 실리콘 질화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 미끄럼 방지 패드
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제1항에 있어서,상기 패턴부는 상기 고온 안정층의 하면에 형성되는 중간층을 포함하고,상기 중간층은 상기 고온 안정층과 상기 패턴부 하부와의 접착력을 강화시키는 것을 특징으로 하는 미끄럼 방지 패드
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제3항에 있어서,상기 중간층은 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 티타늄(Ti), 바나듐(V), 크롬(Cr), 망간(Mn), 철(Fe), 코발트(Co), 니켈(Ni), 구리(Cu) 또는 아연(Zn)을 포함하는 것을 특징으로 하는 미끄럼 방지 패드
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제1항에 있어서,상기 하나 이상의 미세패턴은 기둥 형상으로 형성되며,상기 기둥의 단면 형상은 다각형, 원 또는 타원이며,상기 기둥의 높이는 10㎚ 내지 1000㎛이고, 상기 기둥의 직경은 10㎚ 내지 1000㎛인 것을 특징으로 하는 미끄럼 방지 패드
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제1항에 있어서,상기 하나 이상의 미세패턴은 홈 형상으로 형성되며,상기 홈의 단면 형상은 다각형, 원 또는 타원이며,상기 홈의 깊이는 10㎚ 내지 1000㎛이고,상기 홈의 직경은 10㎚ 내지 1000㎛인 것을 특징으로 하는 미끄럼 방지 패드
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제1항에 있어서,상기 웨이퍼의 하면과 상기 고온 안정층의 상면 사이에는 반데르발스 힘(Van der Waals)에 의한 장착력이 발생되는 것을 특징으로 하는 미끄럼 방지 패드
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제1항에 있어서,상기 베이스부 및 상기 패턴부 하부는 신축성이 있는 PDMS(Polydimethylsiloxane), 탄성중합체(elastomer), 실리콘계 탄성중합체(Si based elastomer), 플루오르엘라스토머(FKM, fluoroelastomer), 퍼플루오르엘라스토머(FFKM, perfluoroelastomer) 또는 폴리테트라플루오르에틸렌(PTFE, polytetrafluoroethylene)로 형성되는 것을 특징으로 하는 미끄럼 방지 패드
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