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대면적 고효율 초고주파 플라즈마 소스

  • 기술번호 : KST2021011264
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 평면디스플레이, 플렉시블 디스플레이, 반도체의 세정, 식각 및 증착공정과 다양한 물질의 표면처리에 사용될 수 있는 플라즈마 발생장치에 관한 것이다.
Int. CL H01J 37/32 (2006.01.01)
CPC H01J 37/3211(2013.01) H01J 37/32229(2013.01)
출원번호/일자 1020200033145 (2020.03.18)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0116941 (2021.09.28) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이호준 부산광역시 금정구
2 차주홍 부산광역시 동래구
3 정지훈 충청남도 천안시 서북구
4 조성환 경상남도 창원시 의창구
5 김군호 부산광역시 동래구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2020.03.18 수리 (Accepted) 1-1-2020-0285563-16
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
평면디스플레이, 플렉시블 디스플레이, 반도체의 세정, 식각 및 증착공정과 다양한 물질의 표면처리에 사용될 수 있는 플라즈마 발생장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 부산대학교 개인기초연구(과기정통부)(R＆D) Cross-Field 방전 장치의 난류 및 비선형 수송현상 연구