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전극 활물질층을 포함하는 적층구조물을 지지하는 지지대;상기 전극 활물질층의 표면을 촬상한 이미지를 통해 상기 전극 활물질층에 형성된 이상성장체를 확인하는 이미지 검사부; 및레이저 빔을 이용하여 확인된 상기 이상성장체를 선택적으로 제거하여 상기 전극 활물질층을 평탄화하는 레이저 조사부;를 포함하고,상기 전극 활물질층은 리튬계 금속산화물의 양극 활물질층이며,상기 이상성장체는 상기 전극 활물질층을 이루는 그레인 중 다른 그레인들과 성장 방향이 상이한 그레인이고,상기 레이저 조사부는,확인된 상기 이상성장체의 크기에 따라 상기 레이저 빔의 크기를 조절하는 빔크기 조절부; 및가우시안 형태의 에너지 분포를 갖는 레이저 빔을 사각형 형태의 레이저 빔으로 성형하여, 상기 레이저 빔의 에너지 분포를 평탄화하는 빔 성형부를 포함하며,상기 레이저 빔은 시간에 따른 에너지가 불연속성을 가지고 상기 이상성장체에 조사되는 전고체 박막 전지용 전극 수리장치
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제 1항에 있어서,상기 레이저 조사부는,상기 레이저 빔의 광로상에 제공되어, 상기 레이저 빔의 초점이 상기 전극 활물질층의 표면을 벗어나도록 아웃 포커싱하는 포커스 변경 광학부;를 더 포함하는 전고체 박막 전지용 전극 수리장치
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제 1항에 있어서,상기 이미지 검사부는,상기 전극 활물질층의 표면을 촬상한 이미지를 획득하는 촬상부;균일한 그레인으로 이루어진 전극 활물질층의 이미지를 레퍼런스 이미지로 저장하는 레퍼런스 이미지 저장부;상기 촬상 이미지와 상기 레퍼런스 이미지를 비교하여, 상기 촬상 이미지에 포함된 성장체가 상기 레퍼런스 이미지의 평균 그레인 크기보다 크거나 상기 레퍼런스 이미지상에 나타난 그레인 패턴의 평균적인 모양과 상이한지를 확인하여 이상성장체로 판단하는 판단부;를 포함하는 전고체 박막 전지용 전극 수리장치
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제 6항에 있어서,상기 이미지 검사부는,상기 이상 성장체의 위치 및 크기 정보 중 적어도 어느 하나를 획득하는 정보 획득부를 더 포함하는 전고체 박막 전지용 전극 수리장치
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제 1항에 있어서,상기 레이저 빔의 파장은 300nm 내지 1500nm인 전고체 박막 전지용 전극 수리장치
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전류집전체 상에 형성된 전극 활물질층을 제공하는 과정;상기 전극 활물질층에 형성된 이상성장체를 확인하는 과정; 및레이저 빔을 이용하여 확인된 상기 이상성장체를 선택적으로 제거하여 상기 전극 활물질층을 평탄화하는 과정;을 포함하고,상기 전극 활물질층은 리튬계 금속산화물의 양극 활물질층이며,상기 이상성장체는 상기 전극 활물질층을 이루는 그레인 중 다른 그레인들과 성장 방향이 상이한 그레인이고,상기 평탄화하는 과정은,확인된 상기 이상성장체의 크기에 따라 상기 레이저 빔의 크기를 조절하는 과정;상기 레이저 빔의 에너지 분포가 평탄화되도록 가우시안 형태의 에너지 분포를 갖는 레이저 빔의 형태를 사각형 형태의 레이저 빔으로 성형하는 과정; 및크기가 조절되고 성형된 상기 레이저 빔을 상기 이상성장체에 조사하는 과정을 포함하며,상기 레이저 빔을 상기 이상성장체에 조사하는 과정에서는 시간에 따른 에너지가 불연속성을 갖도록 상기 레이저 빔을 조사하는 전고체 박막 전지용 전극 수리방법
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제 10항에 있어서,상기 평탄화하는 과정은,상기 레이저 빔의 광로상에 제공된 포커스 변경 광학부를 통해 상기 레이저 빔의 초점이 상기 전극 활물질층을 벗어나도록 아웃 포커싱하여 조사하는 과정을 포함하는 전고체 박막 전지용 전극 수리방법
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제 10항에 있어서,상기 이상성장체를 확인하는 과정은,상기 전극 활물질층의 표면을 촬상한 이미지를 획득하는 과정;균일한 그레인으로 이루어진 전극 활물질층의 이미지를 레퍼런스 이미지로 설정하는 과정;상기 레퍼런스 이미지와 상기 촬상 이미지를 비교하는 과정; 및상기 촬상 이미지에 포함된 성장체가 상기 레퍼런스 이미지의 평균 그레인 크기보다 크거나 상기 레퍼런스 이미지상에 나타난 그레인 패턴의 평균적인 모양과 상이한지를 확인하여 이상성장체로 판단하는 과정을 포함하는 전고체 박막 전지용 전극 수리방법
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제 10항에 있어서,확인된 상기 이상성장체의 위치 및 크기 정보 중 적어도 어느 하나를 획득하는 과정을 더 포함하는 전고체 박막 전지용 전극 수리방법
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제 10항, 제 12항, 및 제 14항 내지 제 15항 중 적어도 어느 하나의 방법으로 수리된 양극 활물질층을 제공하는 과정;상기 양극 활물질층을 열처리하여 양극을 형성하는 과정;상기 양극 상에 기상 증착법을 통해 고체 전해질을 형성하는 과정; 및상기 고체 전해질 상에 음극을 형성하는 과정;을 포함하는 전고체 박막 전지 제조방법
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