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증착 챔버(Deposition Chamber);상기 증착 챔 버 내에 배치되는 센서부;상기 센서부를 통해 상기 증착 챔버 내에서 상기 센서부에 증착되는 파릴 렌(Parylene)층의 임피던스를 측정하는 임피던스 분석부; 및상기 임피던스 분석부가 측정한 상기 파릴렌층의 임피던스에 대한 정보와 미리 저장된 상기 파릴렌층의 기준 두께에 대한 정보 및 기준 임피던스에 대한 정보를 기반으로 하여 증착된 상기 파릴렌층의 두께를 연산하는 연산부;를 포함하는 파릴렌층의 제조장치
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제 1 항에 있어서,상기 연산부가 연산한 상기 파릴렌층의 두께에 대한 정보를 화면에 표시하는 표시부를 더 포함 하는 파릴렌층의 제조장치
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제 1 항에 있어서,상기 연산부는 아래와 같은 수학식에 따라 상기 파릴렌층의 두께를 연산하는 파릴렌층의 제조장치
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제 1 항에 있어서,상기 센서부는기판;상기 기판에 배치되는 제 1 전극(First Electrode)과 제 2 전극(Second Electrode)을 포함하는 메인 전극부(Main Electrode Part);상기 제 1 전극에 대응되는 제 1 패드 전극(First Pad Electrode)과 상기 제 2 전극에 대응되는 제 2 패드 전극(Second Pad Electrode)을 포함하는 패드 전극부(Pad Electrode Part); 및상기 제 1 전극과 상기 제 1 패드 전극을 전기적으로 연결하는 제 1 연결 전극(First Connecting Electrode)과 상기 제 2 전극과 상기 제 2 패드 전극을 전기적으로 연결하는 제 2 연결 전극(Second Connecting Electrode)을 포함하는 연결 전극부(Connecting Electrode Part);를 포함하는 파릴렌층의 제조장치
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제 4 항에 있어서,상기 제 1 전극은상기 제 1 연결 전극과 전기적으로 연결되는 복수의 제 1 분기 전극(First Branch Electrode)을 포함하고,상기 제 2 전극은상기 제 2 연결 전극과 전기적으로 연결되며, 상기 제 1 분기 전극과 이격된 상태로 맞물리는 제 2 분기 전극(Second Branch Electrode)을 포함하는 파릴렌층의 제조장치
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제 5 항에 있어서,상기 임피던스 분석부는상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극을 덮는 형태로 상기 기판에 증착되는 상 기 파릴렌층의 임피던스를 측정하는 파릴렌층의 제조장치
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제 4 항에 있어서,상기 임피던스 분석부는정현파를 입력신호로서 상기 제 1 패드 전극을 통해 상기 제 1 전극으로 공급 하는 DAC 채널; 및상기 정현파에 대응하는 응답성 전위를 상기 제 2 패드 전극을 통해 상기 제 2 전극으로부터 수신하는 ADC 채널;을 포함하는 파릴렌층의 제조장치
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증착 챔버(Deposition Chamber) 내에 배치되는 센서부의 표면에 파릴렌층을 증착하는 단계;상기 센서부로부터 증착 후 임피던스를 획득하는 단계; 및상기 센서부로부터 획득한 임피던스 값과 미리 저장된 상기 파릴렌층 의 기준 두께에 대한 정보 및 기준 임피던스에 대한 정보를 기반으로 하여 증착된 상기 파릴렌층의 두께를 연산하는 단계;를 포함하는 파릴렌층의 제조방법
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제 8 항에 있어서,증착된 상기 파릴렌층의 두께에 대한 정보를 화면에 표시하는 단계를 포함하는 파릴렌층의 제조방법
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제 8 항에 있어서,증착된 상기 파릴렌층의 두께는 아래와 같은 수학식에 따라 연산되는 파릴렌 층의 제조방법
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