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제1 금속 탄산화물, 및 제2 금속 탄산화물을 포함하는 혼합 분말을 준비하는 단계;상기 혼합 분말을 볼밀하여 입자사이즈를 감소시키는 단계;볼밀된 상기 혼합 분말을 산소 가스 분위기에서 제1 열처리하여, 제1 금속, 및 제2 금속을 포함하는 중간 산화물을 제조하는 단계;상기 중간 산화물을 성형하여 예비 타겟을 제조하는 단계; 및상기 예비 타겟을 산소 가스 분위기에서 제2 열처리하여 페로브스카이트형 구조를 갖는 금속산화물 타겟을 제조하는 단계를 포함하되,상기 제1 열처리는, 산소 가스를 3L/min의 유량으로 제공하며 1000℃이상에서 10시간 이상 수행되는 것을 포함하고,상기 제2 열처리는, 산소 가스를 3L/min의 유량으로 제공하며 1300℃이상에서 24시간 이상 수행되는 것을 포함하는 금속산화물 타겟의 제조 방법
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제2 항에 있어서,상기 예비 타겟을 제2 열처리하는 단계는, 상기 예비 타겟, 및 상기 산소 가스를 반응시켜, 상기 예비 타겟보다 산소 농도가 증가된 상기 금속산화물 타겟을 제조하는 단계를 포함하는 금속산화물 타겟의 제조 방법
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제2 항에 있어서,상기 예비 타겟을 제2 열처리하는 단계는, 상기 예비 타겟, 및 상기 산소 가스를 반응시켜, 페로브스카이트의 화학양론비를 갖는 상기 금속산화물 타겟을 제조하는 단계를 포함하는 금속산화물 타겟의 제조 방법
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제2 항에 있어서,볼밀된 상기 혼합 분말을 제1 열처리하는 단계는, 볼밀된 상기 혼합 분말에 포함된 탄소 원소를 상기 산소 가스와의 반응으로 제거하여, 상기 탄소 원소가 잔존되지 않은 상기 중간 산화물을 제조하는 단계를 포함하는 금속산화물 타겟의 제조 방법
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제2 항에 있어서,상기 제1 금속은, 스트론튬(Sr)이고,상기 제2 금속은, 망간(Mn)인 것을 포함하는 금속산화물 타겟의 제조 방법
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제2 항에 따른 금속산화물 타겟의 제조 방법에 따라 제조된 상기 금속산화물 타겟을 챔버 내에 준비하는 단계; 및상기 금속산화물 타겟을 스퍼터링하여, 기판 상에 다중 유전율을 갖는 다중 유전 박막을 에피택시얼하게 형성하는 단계를 포함하는 다중 유전박막의 제조 방법
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