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서로 이격된 캐소드 전극과 에노드 전극;상기 캐소드 전극 상의 에미터;상기 캐소드 전극 및 상기 에노드 전극 사이에 위치하고, 상기 에미터와 중첩되는 게이트 개구를 가지는 게이트 전극; 및상기 게이트 전극 및 상기 캐소드 전극 사이에 배치되는 복수개의 정렬 전극들을 포함하고,상기 정렬 전극들은 상기 에미터의 측면을 둘러싸는 전계 방출 장치
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제1항에 있어서,상기 정렬 전극들의 각각은 개별적으로 접지전원이 연결되거나, 양전압 또는 음전압이 인가되는 전계 방출 장치
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제2항에 있어서,상기 에미터는 상기 캐소드 전극의 상면에 고정된 하단부 및 상기 하단부로부터 라인 형상으로 연장되는 상단부를 포함하고,상기 정렬 전극들 중의 적어도 하나는 양전압이 인가되고,상기 에미터의 상단부는 상기 양전압이 인가된 정렬 전극을 향하여 이동하는 전계 방출 장치
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제1항에 있어서,상기 에노드 전극과 상기 게이트 전극 사이에 위치한 적어도 하나의 집속 전극을 더 포함하고, 상기 집속 전극은 상기 게이트 개구와 수직하게 중첩하는 집속 전극 개구를 포함하는 전계 방출 장치
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제1항에 있어서,상기 정렬 전극들에 가해지는 전압의 종류 및 크기에 따라 상기 에미터의 상단부의 위치가 변하는 전계 방출 장치
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제1항에 있어서,평면적 관점에서:상기 정렬 전극들은 상기 에미터를 사이에 두고 제1 방향으로 이격하는 제1 정렬 전극 및 제2 정렬 전극을 포함하는 전계 방출 장치
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제6항에 있어서,평면적 관점에서:상기 정렬 전극들은 상기 에미터를 사이에 두고 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이격하는 제3 정렬 전극 및 제4 정렬 전극을 더 포함하는 전계 방출 장치
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서로 이격된 캐소드 전극과 에노드 전극;상기 캐소드 전극 상의 에미터;상기 캐소드 전극 및 상기 에노드 전극 사이에 위치하고, 상기 에미터와 중첩되는 개구를 가지는 게이트 전극; 및상기 게이트 전극 및 상기 캐소드 전극 사이에 배치되는 정렬 전극을 포함하고,상기 정렬 전극에 인가되는 전압에 의하여 상기 에미터의 상단부의 위치가 변화하는 전계 방출 장치
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제8항에 있어서,상기 정렬 전극에는 양전압 또는 음전압이 가해지는 전계 방출 장치
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제9항에 있어서,상기 정렬 전극에는 양전압이 가해지고,상기 양전압이 가해지는 정렬 전극은 상기 에미터에 인력을 가하는 전계 방출 장치
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제9항에 있어서,상기 정렬 전극에는 음전압이 가해지고,상기 음전압이 가해지는 정렬 전극은 상기 에미터에 척력을 가하는 전계 방출 장치
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제8항에 있어서,상기 정렬 전극은 게이트 전극의 개구와 수직적으로 중첩되지 않는 전계 방출 장치
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제8항에 있어서,상기 에미터는 상기 게이트 전극의 개구를 통과하는 전자빔을 방출하고, 상기 전자빔의 중심선은 상기 에미터의 상단부의 위치 변화에 따라서 상기 개구의 통과 위치가 변화하는 전계 방출 장치
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제 8항에 있어서,상기 정렬 전극의 상면의 레벨은 상기 에미터의 최상단의 레벨과 같거나 이보다 낮은 전계 방출 장치
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