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제1 면 및 상기 제1 면과 대향하는 제2 면을 갖는 기판으로서, 상기 기판은 상기 제1 면 상의 트랜치를 포함하고, 상기 트랜치는 상기 제2 면과 가까워질수록 좁은 폭을 갖는 것;상기 트랜치의 내측면들을 덮는 반사층;상기 반사층 상의 금속 패턴; 및상기 금속 패턴과 상기 반사층 사이의 절연 패턴을 포함하되,상기 금속 패턴의 최하부 표면은 상기 기판의 상기 제1 면과 상기 트랜치의 바닥 사이의 수직적 레벨에 위치하는 메타물질 기반 광 흡수체
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제1 항에 있어서,상기 반사층은 상기 기판의 제1 면에 대해 기울어진 복수 개의 반사면들을 갖는 메타물질 기반 광 흡수체
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제1 항에 있어서,상기 기판의 상기 제1 면과 상기 트랜치의 내측면들이 사이의 각도는 44도 내지 46도의 범위를 갖는 메타물질 기반 광 흡수체
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제 1 항에 있어서, 상기 금속 패턴은 상기 절연 패턴 및 상기 반사층에 비해 얇은 두께를 갖는 메타물질 기반 광 흡수체
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제1 항에 있어서,상기 트랜치는 역 피라미드 형상을 갖는 메타물질 기반 광 흡수체
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제1 항에 있어서,상기 절연 패턴은 일정한 두께를 갖고, 상기 반사층 및 상기 금속 패턴과 직접 접촉하는 메타물질 기반 광 흡수체
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7
제1 항에 있어서,상기 금속 패턴의 최하부 표면은 상기 반사층의 최상부 표면에 비해 낮은 수직적 레벨에 위치하는 메타물질 기반 광 흡수체
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8
제 1 항에 있어서, 상기 트랜치의 내측면들은 서로 마주하는 제1 내측면 및 제2 내측면을 포함하고, 상기 금속 패턴은 상기 제1 내측면 상의 제1 부분 및 상기 제2 내측면 상의 제2 부분을 포함하되,상기 제1 부분 및 상기 제2 부분은 서로 다른 물질을 포함하는 메타물질 기반 광 흡수체
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제 8 항에 있어서, 상기 제1 부분과 상기 제2 부분의 계면은 상기 트랜치의 바닥과 수직적으로 중첩되는 메타물질 기반 광 흡수체
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제 1 항에 있어서, 상기 트랜치의 내측면들은 서로 마주하는 제1 내측면 및 제2 내측면을 포함하고, 상기 반사층은 상기 제1 내측면 상의 제1 부분 및 상기 제2 내측면 상의 제2 부분을 포함하되,상기 제1 부분 및 상기 제2 부분은 서로 다른 물질을 포함하는 메타물질 기반 광 흡수체
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제1 면 및 상기 제1 면과 대향하는 제2 면을 갖는 기판으로서, 상기 기판은 제1 면에 형성된 제1 및 제2 트랜치들을 포함하고, 상기 제1 및 제2 트랜치들은 상기 제2 면과 가까워질수록 좁은 폭을 갖는 것;상기 제1 트랜치의 내측면 및 상기 제2 트랜치의 내측면을 덮는 반사층;상기 반사층 상에 배치되어, 상기 제1 트랜치와 수직적으로 중첩된 제1 금속 패턴;상기 제1 금속 패턴과 상기 반사층 사이의 제1 절연 패턴;상기 반사층 상에 배치되어, 상기 제2 트랜치와 수직적으로 중접된 제2 금속 패턴; 및상기 제2 금속 패턴과 상기 반사층 사이의 제2 절연 패턴을 포함하되,상기 제1 금속 패턴의 하단과 상기 제2 금속 패턴의 하단은 상기 반사층의 최상부 표면보다 낮은 수직적 레벨에 위치하는 메타물질 기반 광 흡수체
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제 11 항에 있어서,상기 반사층은 상기 기판의 상기 제1 면을 덮는 메타물질 기반 광 흡수체
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제 11 항에 있어서,상기 반사층은 상기 기판의 제1 면에 대해 기울어진 반사면을 갖는 메타물질 기반 광 흡수체
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제 11 항에 있어서, 상기 제1 금속 패턴의 상면은 상기 기판의 상기 제1 면에 비해 높은 수직적 레벨에 위치하는 메타물질 기반 광 흡수체
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제 11 항에 있어서, 상기 제1 금속 패턴은 상기 제1 절연 패턴 및 상기 반사층에 비해 얇은 두께를 갖는 메타물질 기반 광 흡수체
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