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실리콘기판 상에 금속촉매층을 형성하는 단계;금속촉매층 상에 그래핀을 성장시켜 코어층을 형성하는 단계;코어층 상에 제1보호층을 형성하는 단계;제1보호층 상에 방열층을 형성하는 단계; 및실리콘기판 측에서 금속촉매층까지 식각하여 코어층을 노출시켜, 실리콘기판-금속촉매층으로 구성된 펠리클프레임을 형성하는 단계;를 포함하는 그래핀을 포함하는 그래핀-금속복합 펠리클 제조방법
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청구항 1에 있어서, 금속촉매는 구리(Cu), 니켈(Ni), 티타늄(Ti), 지르코늄(Zr), 류테늄(Ru) 및 코발트(Co) 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀을 포함하는 그래핀-금속복합 펠리클 제조방법
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청구항 1에 있어서, 제1보호층은 SiN, Zr, B4C, Si-BN, 및 BN 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀을 포함하는 그래핀-금속복합 펠리클 제조방법
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청구항 1에 있어서, 제1보호층은 원자층증착공정(Atomic layer deposition)으로 형성되는 것을 특징으로 하는 그래핀을 포함하는 그래핀-금속복합 펠리클 제조방법
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청구항 1에 있어서, 실리콘기판의 상면 및 노출된 측면, 금속촉매층의 노출된 측면 및 코어층의 노출된 상면에 제2보호층을 형성하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀을 포함하는 그래핀-금속복합 펠리클 제조방법
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청구항 5에 있어서,제2보호층을 형성하는 단계는 원자층증착공정에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 그래핀을 포함하는 그래핀-금속복합 펠리클 제조방법
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청구항 1에 있어서, 실리콘기판의 노출된 측면 및 금속촉매층의 노출된 측면이 구성하는 면은 코어층의 노출된 상면과 예각을 이루는 것을 특징으로 하는 그래핀을 포함하는 그래핀-금속복합 펠리클 제조방법
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제1항에 따른 그래핀을 포함하는 그래핀-금속복합 펠리클 제조방법에 따라 제조된 그래핀을 포함하는 그래핀-금속복합 펠리클
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