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폴리머를 포함하는 유기 기판; 상기 유기 기판 상에 배치되고, 상기 유기 기판을 노출시키는 오프닝을 갖는 유기 절연 패턴; 상기 유기 기판 상에 및 상기 유기 절연 패턴의 상기 오프닝 내에 배치되는 도전층; 및 상기 유기 절연 패턴 상에 배치되고, 상기 도전층의 일부를 노출시키는 패시베이션 패턴을 포함하되, 상기 도전층은 제1 폴리머를 포함하고, 상기 도전층은 공유 결합에 의해 상기 유기 기판과 결합된 전극 센서
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제 1항에 있어서, 상기 도전층은 공유 결합에 의해 상기 유기 절연 패턴과 결합된 전극 센서
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제 1항에 있어서, 상기 유기 절연 패턴은 공유 결합에 의해 상기 유기 기판과 결합된 전극 센서
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제 1항에 있어서, 상기 패시베이션 패턴은 공유 결합에 의해 상기 유기 절연 패턴과 결합된 전극 센서
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제 1항에 있어서, 상기 도전층은 공유 결합에 의해 상기 패시베이션 패턴과 결합된 전극 센서
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제 1항에 있어서, 상기 도전층은 전극 및 배선을 포함하고, 상기 배선은 상기 전극과 연결된 전극 센서
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제 6항에 있어서, 상기 패시베이션 패턴은 상기 배선의 상면을 덮되, 상기 전극의 상면을 노출시키는 전극 센서
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제 1항에 있어서, 상기 유기 기판은 불소 함유 폴리머를 포함하고, 상기 유기 절연 패턴은 불소 함유 폴리머를 포함하는 전극 센서
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제 1항에 있어서, 상기 패시베이션 패턴은 불소 함유 폴리머를 포함하는 전극 센서
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제 1항에 있어서, 상기 도전층은 상기 유기 절연 패턴과 다른 물질을 포함하는 전극 센서
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제 1항에 있어서, 상기 제1 폴리머는 절연성 폴리머를 포함하고, 상기 도전층은 도전 물질을 더 포함하고, 상기 도전물질은 금속 입자 또는 도전성 탄소 물질을 포함하는 전극 센서
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12
제 1항에 있어서, 상기 제1 폴리머는 도전성 폴리머를 포함하는 전극 센서
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제 1항에 있어서, 상기 유기 기판, 상기 유기 절연 패턴, 상기 도전층, 및 상기 패시베이션 패턴은 플랙서블한 전극 센서
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유기 기판 상에 오프닝을 갖는 유기 절연 패턴을 형성하는 것, 상기 오프닝은 상기 유기 기판의 상면을 노출시키고; 유기 절연 패턴의 상기 오프닝 내에 폴리머 용액을 채워 상기 유기 기판의 상기 노출된 상면을 덮는 예비 도전층을 형성하는 것; 및 상기 예비 도전층 및 상기 유기 절연 패턴 상에 노광 공정을 수행하여, 도전층을 형성하되, 상기 도전층은 공유 결합에 의해 상기 유기 기판과 결합되고, 상기 도전층은 제1 폴리머들을 포함하는 전극 센서 제조 방법
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제 14항에 있어서, 상기 노광 공정을 수행하는 것은 상기 도전층 및 상기 유기 절연 패턴 사이에 공유 결합을 형성하는 것을 더 포함하는 전극 센서 제조 방법
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제 14항에 있어서, 상기 유기 기판의 상기 노출된 상면 및 상기 유기 절연 패턴의 상면 상에 플라즈마 처리 공정을 수행하여, 상기 유기 기판의 상기 노출된 상면 상에 라디칼을 형성하는 것을 더 포함하되, 상기 플라즈마 처리 공정 후, 상기 예비 도전층을 형성하는 것이 수행되는 전극 센서 제조 방법
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제 14항에 있어서, 상기 노광 공정 이후, 상기 유기 절연 패턴 상에 패시베시션층을 형성하는 것; 및 상기 패시베이션층 상에 자외선을 조사하여, 상기 패시배이션층 및 상기 유기 절연 패턴 사이에 공유 결합을 형성하는 것을 더 포함하는 전극 센서 제조 방법
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제 14항에 있어서, 상기 도전층 및 상기 유기 절연 패턴 상에 플라즈마 처리 공정을 수행하여
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제 14항에 있어서, 상기 패시베이션층 상에 상기 자외선을 조사하는 것은 상기 패시베이션층 및 상기 도전층 사이에 공유 결합을 형성하는 것을 더 포함하는 전극 센서 제조 방법
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제 14항에 있어서, 상기 노광 공정을 수행하는 것은 상기 도전층 내의 제1 폴리머들 사이에 광가교 결합을 형성하는 것을 포함하는 전극 센서 제조 방법
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