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미세입자 집진용 필터로서, 소정 두께를 갖는 판재; 및 상기 판재를 관통하며 동일 형상으로 형성된 다수의 관통홀들;을 포함하고, 상기 다수의 관통홀들은 서로 이격되어 상기 판재의 표면에 일정한 패턴으로 형성된 것인, 미세입자 집집용 필터
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제 1 항에 있어서, 각각의 상기 관통홀의 반지름은 미세입자가 상기 관통홀을 통과하는 동안 확산하는 확산거리보다 작은 것인, 미세입자 집진용 필터
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제 1 항에 있어서, 상기 판재의 일측 표면에서부터 상기 판재의 타측 표면으로 갈수록 각각의 상기 관통홀의 직경이 작아지도록 형성된 것인, 미세입자 집진용 필터
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제 3 항에 있어서, 각각의 상기 관통홀이, 상기 판재의 일측 표면부터 제1 깊이까지 형성되고 제1 직경을 갖는 제1 관통홀; 및상기 제1 깊이부터 상기 판재의 타측 표면까지 형성되고 상기 제1 직경보다 작은 제2 직경을 갖는 하나 이상의 제2 관통홀;을 포함하는 것인, 미세입자 집진용 필터
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제 3 항에 있어서, 각각의 상기 관통홀이, 상기 판재의 일측 표면에서 제1 직경을 가지며 관통홀의 깊이에 따라 직경이 점진적으로 감소하여 상기 판재의 타측 표면에서 상기 제1 직경보다 작은 제2 직경을 갖도록 형성된 것인, 미세입자 집진용 필터
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제 3 항에 있어서, 상기 판재는 제1 판재와 제2 판재가 적층되어 형성되고, 각각의 상기 관통홀은 상기 제1 판재에 형성된 제1 직경의 제1 관통홀과 상기 제2 판재에 형성되고 상기 제1 직경보다 작은 제2 직경의 하나 이상의 제2 관통홀이 연통함으로써 형성된 것인, 미세입자 집진용 필터
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미세입자 집진용 필터 제조 시스템으로서, 소정 두께의 판재를 고정시킬 수 있는 스테이지;상기 스테이지에 고정되는 상기 판재에 펨토초 레이저를 조사하여 다수의 관통홀들을 형성시킬 수 있는 펨토초 레이저 장치; 및 상기 펨토초 레이저 장치가 상기 스테이지에 대해 상대적으로 이동하도록 제어하고 상기 펨토초 레이저의 조사 시간, 출력에너지, 및 레이저빔 직경 중 적어도 하나를 조절하는 제어부;를 포함하고,상기 제어부가, 상기 다수의 관통홀들이 상기 판재의 표면에서 서로 이격되어 일정한 패턴으로 형성되도록, 상기 펨토초 레이저 장치를 제어하는 것인, 미세입자 집집용 필터 제조 시스템
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제 7 항에 있어서, 상기 제어부가, 각각의 상기 관통홀의 반지름이 미세입자가 상기 관통홀을 통과하는 동안 확산하는 확산거리보다 작은 값을 갖도록 상기 펨토초 레이저 장치를 제어하는 것인, 미세입자 집진용 필터 제조 시스템
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제 7 항에 있어서, 상기 제어부가, 상기 판재의 일측 표면에서부터 상기 판재의 타측 표면으로 갈수록 각각의 상기 관통홀의 직경이 작아지도록 상기 펨토초 레이저 장치를 제어하는 것인, 미세입자 집진용 필터 제조 시스템
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제 9 항에 있어서,각각의 상기 관통홀을 형성할 때, 상기 제어부가, 상기 판재의 일측 표면부터 제1 깊이까지 제1 직경을 갖는 제1 관통홀을 형성하고, 상기 제1 깊이부터 상기 판재의 타측 표면까지 상기 제1 직경보다 작은 제2 직경을 갖는 하나 이상의 제2 관통홀을 형성하도록 상기 펨토초 레이저 장치를 제어하는 것인, 미세입자 집진용 필터 제조 시스템
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제 9 항에 있어서, 각각의 상기 관통홀을 형성할 때, 상기 제어부가, 상기 판재의 일측 표면에서 제1 직경을 가지며 관통홀의 깊이에 따라 직경이 점진적으로 감소하여 상기 판재의 타측 표면에서 상기 제1 직경보다 작은 제2 직경을 갖도록 상기 펨토초 레이저 장치를 제어하는 것인, 미세입자 집진용 필터 제조 시스템
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