맞춤기술찾기
이전대상기술
대면적 고효율 플라즈마 발생 장치
- 기술번호 : KST2021011918
- 담당센터 : 부산기술혁신센터
- 전화번호 : 051-606-6561
| 요약 | 대면적 고효율 플라즈마 발생 장치가 개시된다. 본 발명의 일실시예에 따른 대면적 고효율 플라즈마 발생 장치는, 진공 챔버와, 상기 진공 챔버의 상부 구조물과, 상기 상부 구조물 위에 설치되어, 좌우 및 상부가 알루미늄 금속으로 이루어지고, 하부가 유전체로 이루어지는 마이크로웨이브 도파관, 및 컨트롤러를 포함하고, 상기 컨트롤러는, 상기 마이크로웨이브 도파관의 상부에 설치된 자기장 발생용 코일을 통해, 플라즈마 내부에 자기장을 발생시키고, 상기 마이크로웨이브 도파관의 하부에 상대적으로 강하게 형성되고 상기 진공 챔버의 하부로 갈수록 약해지는 상기 자기장에 의해, 상기 유전체에 평행한 평면 방향으로 플라즈마를 구속시켜, 플라즈마 발생 영역을 고밀도화 하고, 상기 플라즈마 내 하전입자의 자기모우멘트와 B field gradient의 곱의 힘에 의해, 하전입자를, 상기 진공 챔버의 하부의 처리 대상물이 있는 영역으로 전달한다. |
|---|---|
| Int. CL | H01J 37/32 (2006.01.01) |
| CPC | H01J 37/32669(2013.01) H01J 37/32229(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020200036724 (2020.03.26) |
| 출원인 | 부산대학교 산학협력단 |
| 등록번호/일자 | |
| 공개번호/일자 | 10-2021-0120261 (2021.10.07) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 공개 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 국내출원/신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | N |
| 심사청구항수 | 1 |