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대면적 고효율 고주파 플라즈마 소스
- 기술번호 : KST2021011919
- 담당센터 : 부산기술혁신센터
- 전화번호 : 051-606-6561
| 요약 | 대면적 고효율 고주파 플라즈마 소스가 개시된다. 본 발명의 일실시예에 따른 대면적 고효율 고주파 플라즈마 소스는, 진공 챔버와, 상기 진공챔버의 상부 구조물과, 상기 상부 구조물 상에 설치되는 하나 이상의 선형안테나와, 상기 상부 구조물 상에 설치되는 전자석 코일, 및 상기 선형안테나 및 상기 전자석 코일을 제어하는 컨트롤러를 포함하고, 상기 컨트롤러는, 상기 선형안테나를 제어하여, RF 전기장을 유도하고, 상기 선형안테나를 따라 DC 자기장을 형성하도록, 상기 전자석 코일을 제어하여, 플라즈마 특성을 개선한다. |
|---|---|
| Int. CL | H01J 37/32 (2006.01.01) |
| CPC | H01J 37/3211(2013.01) H01J 37/32669(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020200036725 (2020.03.26) |
| 출원인 | 부산대학교 산학협력단 |
| 등록번호/일자 | |
| 공개번호/일자 | 10-2021-0120262 (2021.10.07) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 공개 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 국내출원/신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | N |
| 심사청구항수 | 1 |