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플렉시블 가스 센서의 제조 방법으로서,(a) 유리 기판을 제공하는 단계;(b) 상기 유리 기판 상에 플렉시블 기판을 라미네이트하는 단계;(c) 상기 플렉시블 기판 상에 히터 전극을 형성하는 단계;(d) 상기 플렉시블 기판의 적어도 일부 및 히터 전극 상에 절연막을 형성하는 단계;(e) 상기 절연막 상에 감지 전극을 형성하는 단계; 및(f) 상기 절연막의 적어도 일부 및 감지 전극 상에 가스 감지층을 형성하는 단계를 포함하는, 플렉시블 가스 센서의 제조 방법
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청구항 1에 있어서,상기 플렉시블 기판은 폴리에틸렌(PE), 폴리프로필렌(PP), 폴리비닐클로라이드(PVC), 아크릴로니트릴 부타디엔스티렌(ABS), 아세탈(POM), 폴리부틸렌테레프탈레이트(PBT), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 나일론6,6(PA), 페놀, 폴리카보네이트(PC), 폴리에스테르, 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리에테르이미드(PEI), 폴리이미드(PI), 폴리페닐렌옥사이드(PPO), 폴리페닐렌설파이드(PPS), 폴리스티렌(PS), 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 폴리설폰(PSF), 폴리에테르설폰(PES), 폴리디메틸실록산(PDMS), 및 이들의 혼합물인 것을 특징으로 하는, 플렉시블 가스 센서의 제조 방법
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청구항 1에 있어서,상기 단계 (c)는,(c-1) 상기 플렉시블 기판 상에 히터 전극 물질을 침착(deposit)하는 단계; 및(c-2) 상기 침착된 히터 전극 물질을 패터닝하는 단계를 포함하며,여기서 상기 히터 전극 물질은 Pt인 것을 특징으로 하는, 플렉시블 가스 센서의 제조 방법
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청구항 3에 있어서,상기 방법은(c-3) 상기 단계 (c-1)에 앞서, 플렉시블 기판과 히터 전극 물질 사이에 접착층을 형성하는 단계를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 가스 센서의 제조 방법
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청구항 1에 있어서,상기 절연막은 SiO2, SiNx, Al2O3, TEOS, PI, 이들의 혼합물, 또는 이들의 적층체인 것을 특징으로 하는, 플렉시블 가스 센서의 제조 방법
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청구항 1에 있어서,상기 단계 (e)는,(e-1) 상기 절연막 상에 감지 전극 물질을 침착(deposit)하는 단계; 및(e-2) 상기 침착된 감지 전극 물질을 패터닝하는 단계를 포함하며,여기서 상기 감지 전극 물질은 Pt, Au, 또는 이들의 조합인 것을 특징으로 하는, 플렉시블 가스 센서의 제조 방법
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청구항 1에 있어서,상기 가스 감지층은 제1 금속 산화물을 포함하며, 여기서 상기 제1 금속 산화물은 SnO2, ZnO, WO3, Co3O4, 또는 NiO를 포함하는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 가스 센서의 제조 방법
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청구항 7에 있어서,상기 가스 감지층은 제2 금속 산화물을 더욱 포함하며, 여기서 상기 제2 금속 산화물은 SnO2, ZnO, WO3, Co3O4, 또는 NiO를 포함하고, 상기 제1 금속 산화물과 상이한 것을 특징으로 하는, 플렉시블 가스 센서의 제조 방법
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청구항 1에 있어서,상기 방법은 단계 (f) 이후에,(g) 상기 가스 감지층의 표면에 플루오르계 소수성 멤브레인을 도포하는 단계를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 가스 센서의 제조 방법
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청구항 1 내지 9 중 어느 한 항에 있어서,상기 방법은 적어도 상기 단계 (f) 이후에,(h) 상기 유리 기판을 플렉시블 기판으로부터 제거하는 단계를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 가스 센서의 제조 방법
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플렉시블 가스 센서로서,플렉시블 기판;상기 플렉시블 기판 상에 형성되는 히터 전극;상기 플렉시블 기판의 적어도 일부 및 히터 전극 상에 형성되는 절연막;상기 절연막 상에 형성되는 감지 전극;상기 절연막의 적어도 일부 및 감지 전극 상에 형성되는 가스 감지층; 및상기 가스 감지층 상에 도포되는 플루오르계 소수성 멤브레인을 포함하는, 플렉시블 가스 센서
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