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방전가스의 고전압 아크플라즈마 방전으로 아크플라즈마를 발생시키는 아크플라즈마 발생부; 및상기 아크플라즈마 발생부에 연결되어 상기 아크플라즈마를 점화원으로 하고 대기압 하에서 고전류 유도결합플라즈마 방전으로 유도결합플라즈마를 발생시켜 하이드리드 단일 플라즈마를 토출하는 유도결합플라즈마 발생부를 포함하는 하이브리드 플라즈마 장치
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제1항에 있어서,상기 아크플라즈마 발생부에서 발생되는 상기 아크플라즈마는상기 유도결합플라즈마 발생부의 유도결합플라즈마 방전개시영역에 적어도 부분적으로 겹쳐지는 하이브리드 플라즈마 장치
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제2항에 있어서,상기 아크플라즈마는상기 유도결합플라즈마 발생부의 유도결합플라즈마 방전개시영역에 발생되는 하이브리드 플라즈마 장치
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제1항에 있어서,상기 아크플라즈마 발생부는전기적으로 접지되고 내부에 아크플라즈마 방전공간을 형성하는 그라운드전극, 및상기 그라운드전극에 내장되어 방전갭을 형성하고 고전압이 인가되는 고전압전극을 포함하는 하이브리드 플라즈마 장치
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제4항에 있어서,상기 그라운드전극과 상기 고전압전극은서로의 사이에서 상기 방전갭을 중심으로 방전가스 주입 측에서는 간격이 점진적으로 축소되고, 아크플라즈마 토출 측에서는 간격이 점진적으로 확장되는 하이브리드 플라즈마 장치
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제4항에 있어서,상기 아크플라즈마 발생부는상기 그라운드전극을 고정시키는 플레이트를 더 포함하고,상기 유도결합플라즈마 발생부는상기 그라운드전극을 수용하여 상기 플레이트에 설치되어 유도결합플라즈마 방전공간을 형성하는 유도결합 유전체 튜브, 및상기 유도결합 유전체 튜브의 외주에 구비되어 유도결합플라즈마 방전을 발생시키는 방전코일을 포함하는 하이브리드 플라즈마 장치
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제4항에 있어서,상기 그라운드전극은 원통부에 플랜지부를 더 포함하고,상기 고전압전극은 상기 그라운드전극의 원통부에 내장되어 서로 일정한 간격을 유지하다가 아크플라즈마 토출 측으로 가면서 점진적으로 축소되어 끝에서 방전갭을 형성하는 하이브리드 플라즈마 장치
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제7항에 있어서,상기 유도결합플라즈마 발생부는상기 그라운드전극의 원통부를 수용하여 상기 플랜지부에 설치되어 유도결합플라즈마 방전공간을 형성하는 유도결합 유전체 튜브, 및상기 유도결합 유전체 튜브의 외주에 구비되어 유도결합플라즈마 방전을 발생시키는 방전코일을 포함하는 하이브리드 플라즈마 장치
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제8항에 있어서,상기 아크플라즈마 발생부에서 발생되는 상기 아크플라즈마는제1길이와 제1폭을 가지고 전방의 상기 유도결합플라즈마 방전공간으로 나와서 상기 유도결합플라즈마 발생부에서 발생되는 상기 유도결합플라즈마 방전개시영역에 연결되는 하이브리드 플라즈마 장치
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제4항에 있어서,상기 그라운드전극은 원통부에 플랜지부를 더 포함하고,상기 고전압전극은 상기 그라운드전극의 원통부에 내장되어 서로 일정한 간격을 유지하다가 아크플라즈마 토출 측으로 가면서 점진적으로 축소되어 방전갭을 형성하고 상기 방전갭 이후 간격을 확장시키는 하이브리드 플라즈마 장치
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제10항에 있어서,상기 유도결합플라즈마 발생부는상기 그라운드전극의 원통부를 수용하여 상기 플랜지부에 설치되어 유도결합플라즈마 방전공간을 형성하는 유도결합 유전체 튜브, 및상기 유도결합 유전체 튜브의 외주에 구비되어 유도결합플라즈마 방전을 발생시키는 방전코일을 포함하는 하이브리드 플라즈마 장치
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제10항에 있어서,상기 아크플라즈마 발생부에서 발생되는 상기 아크플라즈마는제2길이와 제2폭을 가지고 전방의 상기 유도결합플라즈마 방전공간으로 나와서 상기 유도결합플라즈마 발생부에서 발생되는 상기 유도결합플라즈마 방전개시영역에 연결되는 하이브리드 플라즈마 장치
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제4항에 있어서,상기 그라운드전극은 원통부에 플랜지부 및 상기 플랜지부의 반대측에서 절곡되고 축소되는 절곡축소부를 더 포함하고,상기 고전압전극은 상기 그라운드전극의 원통부에 내장되어 서로 일정한 간격을 유지하다가 상기 절곡축소부에서 절곡되어 아크플라즈마 토출 측으로 가면서 점진적으로 축소되고 끝에서 방전갭을 형성하는 하이브리드 플라즈마 장치
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제13항에 있어서,상기 유도결합플라즈마 발생부는상기 그라운드전극의 원통부와 절곡축소부를 수용하여 상기 플랜지부에 설치되어 유도결합플라즈마 방전공간을 형성하는 유도결합 유전체 튜브, 및상기 유도결합 유전체 튜브의 외주에 구비되어 유도결합플라즈마 방전을 발생시키는 방전코일을 포함하는 하이브리드 플라즈마 장치
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제13항에 있어서,상기 아크플라즈마 발생부에서 발생되는 상기 아크플라즈마는절곡된 방향의 상기 유도결합플라즈마 방전공간으로 나와서 상기 유도결합플라즈마 발생부에서 발생되는 상기 유도결합플라즈마 방전개시영역에 연결되는 하이브리드 플라즈마 장치
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제4항에 있어서,상기 그라운드전극은 축소되는 원추대통부에 플랜지부 및 상기 플랜지부의 반대측에서 상기 원추대통부에 연결되어 확장되는 원뿔대통부를 더 포함하고,상기 고전압전극은 상기 그라운드전극의 원추대통부와 원뿔대통부에 내장되어 서로의 사이에서 방전갭을 중심으로 방전가스 주입 측에서는 간격이 점진적으로 축소되고, 아크플라즈마 토출 측에서는 간격이 점진적으로 확장되는 하이브리드 플라즈마 장치
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제16항에 있어서,상기 유도결합플라즈마 발생부는상기 그라운드전극의 원추대통부와 원뿔대통부를 수용하여 상기 플랜지부에 설치되어 유도결합플라즈마 방전공간을 형성하는 유도결합 유전체 튜브, 및상기 유도결합 유전체 튜브의 외주에 구비되어 유도결합플라즈마 방전을 발생시키는 방전코일을 포함하는 하이브리드 플라즈마 장치
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제16항에 있어서,상기 아크플라즈마 발생부에서 발생되는 상기 아크플라즈마는상기 원뿔대통부를 통하여 상기 유도결합플라즈마 방전공간으로 나와서 상기 유도결합플라즈마 발생부에서 발생되는 상기 유도결합플라즈마 방전개시영역에 연결되는하이브리드 플라즈마 장치
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