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육방정계 질화붕소/그래핀 2차원 복합 소재 제조방법

  • 기술번호 : KST2021012166
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 개시는 게르마늄(Ge) 기판을 준비하는 단계; 상기 게르마늄(Ge) 기판에 육방정계 질화붕소(h-BN)를 면적을 제어하여 증착하는 단계; 및 상기 육방정계 질화붕소(h-BN)가 부분적으로 형성된 게르마늄(Ge) 기판에 탄소원을 투입하여 육방정계 질화붕소(h-BN)가 없는 기판 표면에 그래핀을 증착시키는 단계;를 포함하는, 육방정계 질화붕소(h-BN)/그래핀 2차원 복합소재의 제조방법에 관한 것이다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01) C23C 16/26 (2006.01.01) C23C 16/34 (2006.01.01) C23C 16/52 (2018.01.01)
CPC H01L 21/02639(2013.01) H01L 21/02381(2013.01) H01L 21/02527(2013.01) H01L 21/02271(2013.01) H01L 21/0262(2013.01) H01L 21/02112(2013.01) C23C 16/26(2013.01) C23C 16/342(2013.01) C23C 16/52(2013.01) H01L 21/0259(2013.01)
출원번호/일자 1020200053934 (2020.05.06)
출원인 아주대학교산학협력단
등록번호/일자 10-2314020-0000 (2021.10.12)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20211015) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.05.06)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 아주대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 영통구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이재현 경기도 부천시 소삼로
2 현상화 경상북도 포항시 북구
3 형석기 경기도 수원시 팔달구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 아주대학교산학협력단 경기도 수원시 영통구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2020.05.06 수리 (Accepted) 1-1-2020-0458358-76
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.08.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.10.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0068183-40
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.04.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0321512-14
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2021.06.22 수리 (Accepted) 1-1-2021-0718094-84
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2021.06.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-0718095-29
7 등록결정서
Decision to grant
2021.10.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0789840-27
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번호 청구항
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게르마늄(Ge) 기판을 준비하는 단계;상기 게르마늄(Ge) 기판에 육방정계 질화붕소(h-BN)를 면적을 제어하여 증착하는 단계; 및상기 육방정계 질화붕소(h-BN)가 부분적으로 형성된 게르마늄(Ge) 기판에 탄소원을 투입하여 육방정계 질화붕소(h-BN)가 없는 기판 표면에 그래핀을 증착시키는 단계;를포함하고,상기 게르마늄(Ge) 기판에 육방정계 질화붕소(h-BN)를 면적을 제어하여 증착하는 단계;에서육방정계 질화붕소(h-BN)의 면적의 제어는 질화붕소 증착시간을 제어하는 것이고,상기 질화붕소 증착시간 제어는 증착면적과의 관계식 1에 따라 제어하는 것이고,상기 게르마늄(Ge) 기판에 육방정계 질화붕소(h-BN)를 면적을 제어하여 증착하는 단계; 및 상기 육방정계 질화붕소(h-BN)가 부분적으로 형성된 게르마늄(Ge) 기판에 탄소원을 투입하여 육방정계 질화붕소(h-BN)가 없는 기판 표면에 그래핀을 증착시키는 단계;는 화학기상증착법(CVD)으로 이루어지는, 육방정계 질화붕소(h-BN)/그래핀 2차원 복합소재의 제조방법
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삭제
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제1항에 있어서,상기 질화붕소 증착시간은 20분 내지 120분인, 육방정계 질화붕소(h-BN)/그래핀 2차원 복합소재의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 게르마늄(Ge) 기판에 육방정계 질화붕소(h-BN)를 면적을 제어하여 증착하는 단계;는CVD 챔버 내에 위치한 질화붕소(h-BN)의 재료인 암모니아-보레인(ammonia-borane)의 온도를 50 내지 150℃로 승온시켜 증착하는 단계인, 육방정계 질화붕소(h-BN)/그래핀 2차원 복합소재의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 게르마늄(Ge) 기판에 육방정계 질화붕소(h-BN)를 면적을 제어하여 증착하는 단계;는상기 육방정계 질화붕소(h-BN) 증착은 화학기상증착법(CVD)으로 이루어지며,CVD 챔버 내에 위치한 게르마늄(Ge) 기판의 온도를 800 내지 1000℃로 승온시켜 증착하는 단계인, 육방정계 질화붕소(h-BN)/그래핀 2차원 복합소재의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 육방정계 질화붕소(h-BN)가 부분적으로 형성된 게르마늄(Ge) 기판에 탄소원을 투입하여 육방정계 질화붕소(h-BN)가 없는 기판 표면에 그래핀을 증착시키는 단계;에서상기 탄소원은 메탄(CH4), 에탄(C2H5), 프로판(C3H8), 헥산(C5H12), 에틸렌(C2H4), 벤젠, PMMA, 폴리스티렌, 메탄올(CH3OH), 에탄올(C2H5OH) 및 아세틸렌(C2H2)로 이루어진 군 중에서 선택된 1종 이상인, 육방정계 질화붕소(h-BN)/그래핀 2차원 복합소재의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 육방정계 질화붕소(h-BN)가 부분적으로 형성된 게르마늄(Ge) 기판에 탄소원을 투입하여 육방정계 질화붕소(h-BN)가 없는 기판 표면에 그래핀을 증착시키는 단계;는CVD 챔버 내에 그래핀의 재료인 탄소원의 유량을 1 내지 100sccm으로 제어하여 증착하는 단계인, 육방정계 질화붕소(h-BN)/그래핀 2차원 복합소재의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 육방정계 질화붕소(h-BN)가 부분적으로 형성된 게르마늄(Ge) 기판에 탄소원을 투입하여 육방정계 질화붕소(h-BN)가 없는 기판 표면에 그래핀을 증착시키는 단계;에서그래핀을 증착시키는 시간은 180분 이하인, 육방정계 질화붕소(h-BN)/그래핀 2차원 복합소재의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 육방정계 질화붕소(h-BN)가 부분적으로 형성된 게르마늄(Ge) 기판에 탄소원을 투입하여 육방정계 질화붕소(h-BN)가 없는 기판 표면에 그래핀을 증착시키는 단계;에서,그래핀 증착 온도는 700 내지 1500℃인, 육방정계 질화붕소(h-BN)/그래핀 2차원 복합소재의 제조방법
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패밀리정보가 없습니다
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