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FPM에 있어서, 다수의 LED광원이 구비되며, 대물렌즈를 투과하여 서로 다른 각도로 측정대상물에 순차적으로 복수의 LED 제1빔을 조사하는 제1LED 어레이로 구성된 제1패널을 갖는 제1조명기; 다수의 LED광원이 구비되며, 상기 제1조명기에 의한 조사 후, 서로 다른 각도로 측정대상물에 순차적으로 복수의 LED 제2빔을 조사하는 제2LED 어레이로 구성된 제2패널을 갖는 제2조명기; 상기 제2조명기에 의해 발생된 각각의 제2빔이 반사되어 상기 측정대상물로 입사되도록 하는 파라볼릭 미러; LED 제1빔과 제2빔이 조사된 측정대상물에서 나오는 빔을 수집하도록 구성된 렌즈; 및상기 렌즈로부터 광을 수광하고 복수의 제1빔 및 제2빔 각각에 대한 이미지를 취득하는 광검출기;을 포함하는 것을 특징으로 하는 파라볼릭 미러를 이용한 반사형 FPM
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제 1항에 있어서, 상기 제1패널은 판형태이고, 상기 제1LED 어레이는, 상기 제1패널의 중심점과, 상기 중심점을 기준으로 서로 원주방향으로 소정간격 이격되어 배치된 링형이고, 상기 링형 제1LED 어레이는 반경방향으로 특정 간격 이격된 복수로 배열되는 것을 특징으로 하는 파라볼릭 미러를 이용한 반사형 FPM
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제 2항에 있어서, 상기 제2패널은 중앙홀이 형성된 링판형태이고, 상기 제2LED 어레이는, 상기 제2패널의 중심점을 기준으로 서로 원주방향으로 소정간격 이격되어 배치된 링형이고, 상기 링형 제2LED 어레이는 반경방향으로 특정 간격 이격된 복수로 배열되는 것을 특징으로 하는 파라볼릭 미러를 이용한 반사형 FPM
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제 3항에 있어서, 상기 제1패널의 중심점에 위치된 광원부터 순차적으로 반경이 작은 제1LED 어레이 상의 광원들이 순차적으로 조사된 후, 제2패널에서 반경이 작은 제2LED어레이 상의 광원부터 순차적으로 조사되도록 제어하는 LED제어부를 더 포함하고, 상기 광검출기는 각각의 빔에 대한 이미지를 취득하는 것을 특징으로 하는 파라볼릭 미러를 이용한 반사형 FPM
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제 4항에 있어서, 상기 이미지 각각을 스펙트럼 도메인에 위치시켜 스티칭하여 상기 측정대상물의 위상정보를 갖는 합성 이미지를 산출하는 분석수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 파라볼릭 미러를 이용한 반사형 FPM
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제 1항에 있어서, 상기 제1빔은 상기 제1조명기에서 조사되어 광학계를 통과하여 빔스플리터에 의해 반사된 후, 대물렌즈를 거쳐 측정대상물에 입사되는 것을 특징으로 하는 파라볼릭 미러를 이용한 반사형 FPM
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