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이중 공진구조를 포함하는 마이크로 볼로미터

  • 기술번호 : KST2021012567
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판; 상기 기판 상에 위치하는 적외선 반사층; 상기 적외선 반사층 상에 위치하고, 제 1 공진구조를 포함하는 지지층; 상기 지지층 상에 위치하고, 제 2 공진구조를 포함하는 감지층; 을 포함하는 이중 공진구조를 포함하는 마이크로 볼로미터를 제공한다.
Int. CL G01J 5/20 (2018.01.01) H01L 31/101 (2006.01.01) H01L 31/18 (2006.01.01)
CPC G01J 5/20(2013.01) H01L 31/101(2013.01) H01L 31/18(2013.01)
출원번호/일자 1020200046169 (2020.04.16)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0128552 (2021.10.27) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.04.16)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정대웅 대구광역시 북구
2 김재건 경상북도 영천시 망정*길 **
3 윤종필 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한상수 대한민국 서울시 서초구 효령로**길 ** *층 (브릿지웰빌딩)(에이치앤피국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2020.04.16 수리 (Accepted) 1-1-2020-0393374-49
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2021.02.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2021.05.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0117719-51
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2021.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0511109-84
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2021.08.30 수리 (Accepted) 1-1-2021-1001530-07
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2021.08.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-1001523-87
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번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 상에 위치하는 적외선 반사층;상기 적외선 반사층 상에 위치하고, 제 1 공진구조를 포함하는 지지층;상기 지지층 상에 위치하고, 제 2 공진구조를 포함하는 감지층; 을 포함하는 이중 공진구조를 포함하는 마이크로 볼로미터
2 2
제1항에 있어서, 상기 지지층은 실리콘 레진을 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 공진구조를 포함하는 마이크로 볼로미터
3 3
제2항에 있어서, 상기 실리콘 레진은 광 투과율이 90 % 이상인 것을 특징으로 하는 이중 공진구조를 포함하는 마이크로 볼로미터
4 4
제1항에 있어서, 상기 제 1 공진구조 및 제 2 공진구조의 두께는 흡수하고자 하는 적외선 파장(λ)의 1/4인 것을 특징으로 하는 이중 공진구조를 포함하는 마이크로 볼로미터
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 적외선 반사층은 금, 알루미늄, 크롬, 니켈, 티타늄, 철 또는 이들의 합금을 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 공진구조를 포함하는 마이크로 볼로미터
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 감지층은 티타늄, 비정질 실리콘, 산화 바나듐 및 산화 티타늄 중 어느 하나 이상의 물질을 포함하는 저항체를 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 공진구조를 포함하는 마이크로 볼로미터
7 7
기판을 준비하는 단계;상기 기판 상에 적외선 반사층을 형성하는 단계;상기 적외선 반사층 상에 제 1 공진구조를 포함하는 지지층을 형성하는 단계; 및상기 지지층상에 제 2 공진구조를 포함하는 감지층을 형성하는 단계;를 포함하는 이중 공진구조를 포함하는 마이크로 볼로미터의 제조방법
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 적외선 반사층 상에 제 1 공진구조를 포함하는 지지층을 형성하는 단계에서, 상기 형성되는 지지층은 실리콘 레진을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 이중 공진구조를 포함하는 마이크로 볼로미터의 제조방법
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 실리콘 레진은 광 투과율이 90 % 이상인 것을 특징으로 하는 이중 공진구조를 포함하는 마이크로 볼로미터의 제조방법
10 10
제 7 항에 있어서,상기 적외선 반사층 상에 제 1 공진구조를 포함하는 지지층을 형성하는 단계에서, 형성되는 지지층의 두께는 흡수하고자 하는 적외선 파장(λ)의 1/4인 것을 특징으로 하는 이중 공진구조를 포함하는 마이크로 볼로미터의 제조방법
11 11
제 7 항에 있어서, 상기 지지층상에 제 2 공진구조를 포함하는 감지층을 형성하는 단계에서,형성되는 감지층의 두께는 흡수하고자 하는 적외선 파장(λ)의 1/4인 것을 특징으로 하는 이중 공진구조를 포함하는 마이크로 볼로미터의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 기획재정부 한국생산기술연구원 중소·중견기업생산기술실용화및기술지원 [기업주문형] MEMS기반의 고감도 수소 가스센서 개발(2/2)