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향상된 내습성 및 신뢰성을 갖는 세라믹 적층형 반도체 패키지 및 방법

  • 기술번호 : KST2021012686
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 패키지 제작에 있어서 방열 특성을 향상시키기 위해 사용되는 세라믹 기반의 적층형 패키지에서의 덴드라이트의 발생을 억제하여 패키지의 내습성 및 신뢰성을 향상시키는 패키지 구조 및 그 패키징 방법을 제안한다. 본 발명은 패키지 내 세라믹 레이어와 몰딩수지의 접합부 내벽을 불균일 경계형태(예를 들어, 갈지(之)자 형태, 요철형태, 지그재그 형태 등)로 형성하여 몰딩수지(예를 들어, 에폭시, 실리콘, 우레탄 등)와 세라믹 레이어간의 접합 면적 및 길이를 증가시켜 접합력 향상과 수분의 이동 경로를 확장하여 반도체 패키지의 내습성 및 신뢰성을 향상시킨다. 또한 비아홀(via-hole)들이 레이어간에 겹치지 않도록 각 레이어마다 다른 위치에 배치되도록 함으로써 비아홀을 통해 침투하는 수분의 이동경로를 증가시켜 적층형 패키지의 내습성 및 신뢰성을 추가적으로 향상시킨다. 나아가, 각 레이어에 형성되는 비아홀이 상이한 여러 직경을 갖도록 하여 세라믹 레이어와 비아홀의 접합 면적 및 길이를 증가시킨다.
Int. CL H01L 23/495 (2006.01.01) H01L 23/00 (2006.01.01) H01L 23/498 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020200080610 (2020.06.30)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0132560 (2021.11.04) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020200051086   |   2020.04.27
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.06.30)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장현규 대전광역시 서구
2 정동윤 대전광역시 유성구
3 조두형 세종특별자치시 다정남로
4 박건식 대전광역시 유성구
5 임종원 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인지명 대한민국 서울특별시 강남구 남부순환로**** 차우빌딩*층

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2020.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2020-0680379-21
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2021.09.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
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번호 청구항
1 1
다수의 세라믹 레이어가 적층된 적층체;상기 각 세라믹 레이어를 연결하는 비아홀;상기 적층체 내부에 충전된 몰딩수지; 및상기 적층된 세라믹 레이어와 상기 몰딩수지의 접합부를 포함하되, 상기 세라믹 레이어와 상기 몰딩수지의 접합부는 불균일 경계형태의 접합부 내벽을 형성하는 것을 특징으로 하는 세라믹 적층형 반도체 패키지
2 2
제1항에 있어서, 상기 불균일 경계형태의 접합부 내벽은상기 적층된 세라믹 레이어들의 일부 레이어가 상기 몰딩수지쪽 방향으로 확장되는 것을 특징으로 하는 세라믹 적층형 반도체 패키지
3 3
제1항에 있어서, 상기 불균일 경계형태의 접합부 내벽은상기 적층된 세라믹 레이어들의 일부 레이어가 상기 몰딩수지에서 멀어지는 방향으로 단축되는 것을 특징으로 하는 세라믹 적층형 반도체 패키지
4 4
제1항에 있어서, 상기 불균일 경계형태의 접합부 내벽은상기 적층된 세라믹 레이어들 중 한 레이어 건너 하나씩의 레이어가 상기 몰딩수지쪽 방향으로 확장되는 것을 특징으로 하는 세라믹 적층형 반도체 패키지
5 5
제1항에 있어서, 상기 불균일 경계형태의 접합부 내벽은상기 적층된 세라믹 레이어들 중 한 레이어 건너 하나씩의 레이어가 상기 몰딩수지에서 멀어지는 방향으로 단축되는 것을 특징으로 하는 세라믹 적층형 반도체 패키지
6 6
제1항에 있어서, 상기 비아홀은상기 세라믹 레이어간에 겹치지 않게 다른 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 세라믹 적층형 반도체 패키지
7 7
제1항에 있어서, 상기 비아홀은상기 각 세라믹 레이어 내에서 상이한 다수의 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 세라믹 적층형 반도체 패키지
8 8
다수의 세라믹 레이어를 적층하여 적층체를 제작하는 단계;상기 각 세라믹 레이어를 연결하는 비아홀을 형성하는 단계;상기 적층체 내부에 몰딩수지를 충전하는 단계; 및상기 적층된 세라믹 레이어와 상기 몰딩수지의 접합부에 불균일 경계형태의 접합부 내벽을 형성하는 단계를 포함하는 세라믹 적층형 반도체 패키징 방법
9 9
제8항에 있어서, 상기 불균일 경계형태의 접합부 내벽을 형성하는 단계는상기 적층된 세라믹 레이어들의 일부 레이어를 상기 몰딩수지쪽 방향으로 확장하는 것을 포함하는 세라믹 적층형 반도체 패키징 방법
10 10
제8항에 있어서, 상기 불균일 경계형태의 접합부 내벽을 형성하는 단계는상기 적층된 세라믹 레이어들의 일부 레이어를 상기 몰딩수지에서 멀어지는 방향으로 단축하는 것을 포함하는 세라믹 적층형 반도체 패키징 방법
11 11
제8항에 있어서, 상기 불균일 경계형태의 접합부 내벽을 형성하는 단계는상기 적층된 세라믹 레이어들 중 한 레이어 건너 하나씩의 레이어를 상기 몰딩수지쪽 방향으로 확장하는 것을 포함하는 세라믹 적층형 반도체 패키징 방법
12 12
제8항에 있어서, 상기 불균일 경계형태의 접합부 내벽을 형성하는 단계는상기 적층된 세라믹 레이어들 중 한 레이어 건너 하나씩의 레이어를 상기 몰딩수지에서 멀어지는 방향으로 단축하는 것을 포함하는 세라믹 적층형 반도체 패키징 방법
13 13
제8항에 있어서, 상기 비아홀을 형성하는 단계는상기 각 세라믹 레이어의 비아홀을 세라믹 레이어간에 겹치지 않게 다른 위치에 배치하여 형성하는 것을 포함하는 세라믹 적층형 반도체 패키징 방법
14 14
제8항에 있어서, 상기 비아홀을 형성하는 단계는상기 각 세라믹 레이어 내에, 다수의 상이한 직경을 갖는 비아홀을 형성하는 것을 포함하는 세라믹 적층형 반도체 패키징 방법
15 15
제8항 내지 제14항 중 어느 한 항에 기재된 세라믹 적층형 반도체 패키징 방법에 의해 제조된 전기 소자
16 16
제8항 내지 제14항 중 어느 한 항에 기재된 세라믹 적층형 반도체 패키징 방법에 의해 제조된 전기회로 기판
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국전자통신연구원 산업기술혁신사업 표면 실장형 SiC SBD 전력반도체 디스크리트 소자 패키지 기술 개발