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양의 입력단을 통해 입력 전압이 인가되는 연산 증폭기;상기 연산 증폭기의 출력단과 음의 입력단 사이에 연결되는 피드백 커패시터;제 1 시간 동안 센서를 충전 또는 방전하는 센서 충방전 회로; 및상기 센서를 충전 또는 방전한 이후 제 2 시간 동안 상기 센서와 상기 연산 증폭기를 연결하는 스위칭 회로를 포함하는 읽기 회로
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청구항 1에 있어서, 상기 제 1 시간 동안 상기 연산 증폭기의 양의 입력단과 음의 입력단을 연결하는 스위칭 회로를 더 포함하는 읽기 회로
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청구항 1에 있어서, 상기 연산 증폭기의 출력을 디지털 값으로 변환하는 아날로그 디지털 변환기 및 상기 아날로그 디지털 변환기의 출력을 이용하여 연산 동작을 수행하는 디지털 처리 회로를 더 포함하는 읽기 회로
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청구항 3에 있어서, 상기 디지털 처리 회로는 상기 제 1 시간 동안 상기 센서를 충전하였을 때 상기 제 2 시간 이후 상기 연산 증폭기의 출력 전압의 변화량과 상기 제 1 시간 동안 상기 센서를 방전하였을 때 상기 제 2 시간 이후 상기 연산 증폭기의 출력 전압의 변화량의 차이를 연산하여 상기 센서 커패시터의 용량 변화를 감지하는 읽기 회로
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양의 입력단을 통해 입력 전압이 인가되는 연산 증폭기;상기 연산 증폭기의 출력단과 음의 입력단 사이에 연결되는 피드백 커패시터;제 1 시간 동안 센서를 충전 또는 방전하는 센서 충방전 회로;제 1 노드와 제 2 노드 사이에 연결된 옵셋 커패시터를 포함하여 상기 제 1 시간 동안 상기 옵셋 커패시터를 충전 또는 방전하는 옵셋 제거 회로;상기 제 1 시간 동안 상기 제 1 노드에 전원 전압 또는 접지 전압을 제공하는 제 1 스위칭 회로; 및상기 센서를 충전 또는 방전한 이후 제 2 시간 동안 상기 연산 증폭기와 상기 옵셋 제거 회로를 연결하고 상기 옵셋 제거 회로와 상기 센서를 연결하는 제 2 스위칭 회로를 포함하는 읽기 회로
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청구항 5에 있어서, 상기 제 1 스위칭 회로는 상기 제 1 시간 동안 상기 연산 증폭기의 양의 입력단과 음의 입력단을 연결하는 스위칭 회로를 더 포함하는 읽기 회로
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7
청구항 5에 있어서, 상기 연산 증폭기의 출력 전압을 디지털 값으로 변환하는 아날로그 디지털 변환기 및상기 아날로그 디지털 변환기에서 제공되는 디지털 값에 따라 디지털 신호 처리를 수행하는 디지털 처리 회로를 포함하는 읽기 회로
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8
청구항 5에 있어서, 상기 옵셋 제거 회로는 상기 제 1 시간 동안 상기 제 1 노드에 제공되는 전압과 상기 제 2 시간 동안 상기 제 2 노드에 제공되는 전압이 달라지도록 제어하는 읽기 회로
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9
청구항 8에 있어서, 상기 읽기 회로는 전원 스위칭 신호에 따라 전원 전압 또는 접지 전압을 상기 입력 전압으로 선택하는 제 1 전원 스위칭 회로를 더 포함하고,상기 옵셋 제거 회로는 상기 전원 스위칭 신호에 따라 전원 전압 또는 접지 전압을 선택하는 제 2 전원 스위칭 회로를 더 포함하고,상기 센서 충방전 회로는 상기 전원 스위칭 신호에 따라 전원 전압 또는 접지 전압을 선택하는 제 3 전원 스위칭 회로를 더 포함하는 읽기 회로
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10
청구항 9에 있어서, 상기 옵셋 커패시터의 용량은 상기 센서에 포함된 센서 커패시터의 옵셋 용량과 실질적으로 동일하게 설정되는 읽기 회로
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11
청구항 10에 있어서, 상기 옵셋 커패시터의 용량을 상기 센서 커패시터의 옵셋 용량의 1/n로 줄이는 경우 상기 제 1 전원 스위칭 회로 및 상기 제 3 전원 스위칭 회로에서 선택되는 전원 전압의 크기를 1/n로 줄이고 상기 피드백 커패시터의 용량을 1/n로 줄이는 읽기 회로
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12
청구항 9에 있어서, 상기 전원 스위칭 신호가 하이 레벨인 경우,상기 제 1 전원 스위칭 회로는 전원 전압을 상기 입력 전압으로 선택하고, 상기 제 1 시간 동안 상기 옵셋 제거 회로는 상기 제 2 노드에 접지 전압을 제공하고, 상기 제 1 스위칭 회로는 상기 제 1 노드에 전원 전압을 제공하며, 상기 센서 충방전 회로는 상기 센서에 접지 전압을 제공하고,상기 제 2 시간 동안 상기 옵셋 제거 회로는 상기 제 2 노드에 전원 전압을 제공하는 읽기 회로
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13
청구항 9에 있어서, 상기 전원 스위칭 신호가 로우 레벨인 경우,상기 제 1 전원 스위칭 회로는 접지 전압을 상기 입력 전압으로 선택하고, 상기 제 1 시간 동안, 상기 옵셋 제거 회로는 상기 제 2 노드에 전원 전압을 제공하고, 상기 제 1 스위칭 회로는 상기 제 1 노드에 접지 전압을 제공하며, 상기 센서 충방전 회로는 상기 센서에 전원 전압을 제공하고,상기 제 2 시간 동안 상기 옵셋 제거 회로는 상기 제 2 노드에 접지 전압을 제공하는 읽기 회로
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14
청구항 5에 있어서, 상기 연산 증폭기는 양의 출력단과 음의 출력단을 포함하고, 상기 피드백 커패시터는 상기 양의 출력단과 상기 음의 입력단 사이에 연결되며, 상기 읽기 회로는 상기 음의 출력단과 상기 양의 입력단 사이에 연결되는 피드백 커패시터를 더 포함하는 읽기 회로
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15
청구항 5에 있어서, 캘리브레이션 동작 시 상기 연산 증폭기의 출력에 따라 상기 옵셋 커패시터의 용량을 상기 센서 커패시터의 용량과 실질적으로 동일하도록 설정하는 캘리브레이션 제어 회로를 더 포함하는 읽기 회로
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청구항 15에 있어서, 상기 캘리브레이션 동작 시 상기 피드백 커패시터를 상기 연산 증폭기와 분리하는 스위치를 더 포함하는 읽기 회로
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17
청구항 15에 있어서, 상기 캘리브레이션 동작 시 상기 입력 전압은 접지 전압으로 고정되고, 상기 제 1 시간 동안 상기 센서에 전원 전압을 제공하고 상기 제 1 노드에 접지 전압을 제공하고 상기 제 2 노드에 전원 전압을 제공하며, 상기 제 2 시간 동안 상기 제 2 노드에 접지 전압을 제공하는 읽기 회로
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18
청구항 17에 있어서, 상기 캘리브레이션 제어 회로는 상기 제 2 시간 이후 상기 연산 증폭기의 출력에 따라 상기 옵셋 커패시터의 용량을 조절하는 읽기 회로
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