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베이스기판;상기 베이스기판에 적어도 하나 이상 형성된 센싱전극;상기 센싱전극은 상호 절연되도록 이격된 제1 센싱전극과 제2 센싱전극을 포함하고,상기 제1 센싱전극 일측에 전기적으로 연결되어 상기 베이스기판상에 연장되어 전원 연결부 일면에 형성된 제1 전극배선;상기 제2 센싱전극 일측에 전기적으로 연결되어 상기 베이스기판상에 연장되어 전원 연결부 일면에 형성된 제2 전극배선; 상기 베이스기판의 센싱전극이 형성된 이외의 영역상에 도포되는 절연성의 접착층; 및상기 접착층으로 상기 베이스기판상에 적층결합되되, 상기 센싱전극에 적층방향으로 이격되어 마주보도록 전도성의 저항체가 일면에 형성된 저항기판;을 포함하는 압력센서모듈
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청구항 1에 있어서,상기 센싱전극은 일방향 및 상기 일방향에 교차되는 타방향에 상호 이격되어 복수개가 형성되며,상기 복수개의 제1 센싱전극을 일방향으로 전기적으로 연결하여 전원 연결부로 연장되는 제1 전극배선 및상기 복수개의 제2 센싱전극을 타방향으로 전기적으로 연결하여 전원 연결부로 연장되는 제2 전극배선을 포함하는 압력센서모듈
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청구항 2에 있어서,상기 제1 전극배선은 상기 베이스기판의 상면으로 연결되어 상기 전원 연결부 상면으로 연장되며,상기 제2 전극배선은 상기 베이스기판의 전도성 충진재가 충진된 비아홀을 통해 상기 제2 센싱전극으로부터 전기적 연결되어 상기 베이스기판 하면으로 형성되어 상기 전원 연결부 하면으로 연장되는 압력센서모듈
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청구항 2에 있어서,상기 제1 전극배선은 상기 베이스기판의 상면으로 상기 제1 센싱전극을 상기 전원 연결부 상면으로 전기적 연결되도록 연장되며,상기 제2 전극배선은 상기 베이스기판의 전도성 충진재가 충진된 비아홀을 통해 상기 제2 센싱전극으로부터 전기적 연결되어 상기 베이스기판 하면으로 연장 형성되되, 상기 베이스기판 일단부에서 전도성 충진재가 충진된 비아홀을 통해 상기 베이스기판 상면으로 연장되어 상기 전원 연결부 상면으로 상기 제1 전극배선과 절연되어 전기적 연결되도록 연장되는 압력센서모듈
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청구항 2에 있어서,상기 제1 센싱전극과 상기 제2 센싱전극은 상호 이격되어 절연되도록 형성되며, 상기 저항체는 상기 제1 센싱전극과 상기 제2 센싱전극으 이격된 공간에 마주보며, 접촉가능하도록 형성된 압력센서모듈
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청구항 5에 있어서,상기 제1 센싱전극은 일방향으로 다수개의 제1 선형전극이 이격되도록 돌출되도록 형성되며,상기 제2 센싱전극은 상기 제1 센싱전극과 마주보며, 상기 제1 선형전극 사이의 이격공간상에 상기 제1 선형전극과 이격되어 절연되도록 형성된 제2 선형전극을 포함하며,상기 저항체는 상기 제1 센싱전극과 상기 제2 센싱전극을 전기적으로 연결할 수 있도록 상기 제1 선형전극과 상기 제2 선형전극 사이 이격공간을 전기적으로 연결하도록 적어도 하나 이상의 저항패턴을 포함하는 압력센서모듈
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청구항 1에 있어서,상기 저항기판 타면상에 히터부가 더 형성되며, 상기 히터부는, 기판 및상기 기판상에 형성된 히터패턴을 더 포함하는 압력센서모듈
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청구항 1에 있어서,상기 저항기판 일면에 형성된 저항체에 대응되는 위치의 반대면인 상기 저항기판 타면상에 상부로 돌출된 범프가 더 결합되는 압력센서모듈
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외부 압력을 센싱하는 청구항 1에 의한 압력센서모듈을 포함하는 압력센싱부;상기 압력센싱부에 의해 히터부에 작동을 제어하는 제어부;를 포함하며,상기 히터부는 히팅 전원을 공급하는 히팅전원부 및상기 히팅전원부에 의해 발열되는 히팅부를 포함하는 압력센서모듈의 제어방법
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