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패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드에 있어서,상부에 위치한 웨이퍼를 연마하도록 마련된 상부패드부;상기 상부패드부의 하부에 마련되며 경도 및 탄성계수 중 어느 하나 이상의 물성이 상기 상부패드부에 비해 낮게 형성된 하부패드부; 및상기 상부패드부는 상기 하부패드부 상에 직접 형성되어 상기 하부패드부와 일체화된 상태로 마련된 것을 특징으로 하는 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드
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제 1 항에 있어서,상기 상부패드부에는 복수의 도형유닛으로 이루어진 패턴유닛이 형성된 것을 특징으로 하는 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드
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제 2 항에 있어서,상기 상부패드부는,복수의 상기 패턴유닛 사이에 도형유닛이 형성되지 않는 간극영역이 형성되도록 마련된 것을 특징으로 하는 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드
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제 3 항에 있어서,상기 간극영역의 폭은 0
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제 2 항에 있어서,상기 상부패드부 상에는 간극그루브가 더 형성되며,상기 간극그루브는, 상기 상부패드부의 두께방향을 향해 기설정된 깊이를 갖도록 형성되며, 상기 상부패드부 또는 상기 하부패드부까지 연장 형성된 홈으로 이루어진 것을 특징으로 하는 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드
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제 5 항에 있어서,상기 간극그루브는,폭이 0
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제 2 항에 있어서,상기 상부패드부는, 상기 패턴유닛의 단위면적당 겉보기 접촉 면적이 1~80%가 되도록 마련된 것을 특징으로 하는 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드
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제 2 항에 있어서,상기 상부패드부는,상기 단위면적당 도형유닛의 총 둘레 길이가 1 내지 250mm/mm2가 되도록 마련된 것을 특징으로 하는 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드
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제 2 항에 있어서,상기 도형유닛의 돌출높이는 0
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제 2 항에 있어서,상기 도형유닛의 수직 방향 단면적 변화량은 0~20%로 마련된 것을 특징으로 하는 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드
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제 1 항에 있어서,상기 상부패드부 및 상기 하부패드부의 전체 두께는 5mm 미만으로 형성된 것을 특징으로 하는 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드
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제 1 항에 따른 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드의 제조방법에 있어서,a) 음각 몰드에 폴리머를 채우고 프리징하여 상부패드부를 형성하는 단계;b) 상기 상부패드부가 완전히 굳기 전에 하부패드부를 상기 상부패드부의 하부에 밀착시키는 단계; 및c) 상기 하부패드부를 상기 상부패드부를 향해 가압하여 부착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드의 제조방법
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제 12 항에 있어서,상기 a) 단계에서,상기 음각몰드는, 상기 상부패드부에 복수의 도형유닛으로 이루어진 패턴유닛이 형성될 수 있도록 상기 패턴유닛과 대응되도록 목적으로 하는 상기 패턴유닛의 반대형상으로 이루어진 형상의 음각패턴이 형성된 것을 특징으로 하는 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드의 제조방법
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제 13 항에 있어서,상기 음각몰드에 형성된 상기 음각패턴은,복수의 상기 패턴유닛 사이에 도형유닛이 형성되지 않는 간극영역이 형성되도록 마련된 것을 특징으로 하는 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드의 제조방법
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제 13 항에 있어서,상기 상부패드부 상에는 간극그루브가 더 형성되며,상기 간극그루브는, 상기 상부패드부의 두께방향을 향해 기설정된 깊이를 갖도록 형성되며, 상기 상부패드부 또는 상기 하부패드부까지 연장 형성된 홈으로 이루어진 것을 특징으로 하는 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드의 제조방법
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제 13 항에 있어서,상기 상부패드부는, 상기 패턴유닛의 단위면적당 겉보기 접촉 면적이 1~80%가 되도록 마련된 것을 특징으로 하는 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드의 제조방법
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제 13 항에 있어서,상기 상부패드부는,상기 단위면적당 도형유닛의 총 둘레 길이가 1 내지 250mm/mm2가 되도록 마련된 것을 특징으로 하는 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드의 제조방법
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제 1 항에 따른 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드의 제조방법에 있어서,a) 접착필름부 상에 상부패드부를 형성하는 단계; 및b) 상기 접착필름부를 이용하여 상기 상부패드부의 하부에 상면이 평면으로 이루어진 하부패드부를 접착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드의 제조방법
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제 18 항에 있어서,상기 a) 단계는,음각 몰드에 액체 상태의 폴리머를 채우고 프리징하여 상기 상부패드부를 형성하도록 마련된 것을 특징으로 하는 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드의 제조방법
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제 18 항에 있어서,상기 a) 단계는,미리 시트 형상으로 제조된 열 가소성 폴리머를 상기 음각 몰드를 이용해 반용융 상태로 찍어냄으로 상기 상부패드부를 형성하도록 마련된 것을 특징으로 하는 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드의 제조방법
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제 19 항에 있어서,상기 음각몰드는, 상기 상부패드부에 복수의 도형유닛으로 이루어진 패턴유닛이 형성될 수 있도록 상기 패턴유닛과 대응되도록 목적으로 하는 상기 패턴유닛의 반대형상으로 이루어진 형상의 음각패턴이 형성된 것을 특징으로 하는 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드의 제조방법
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제 21 항에 있어서,상기 음각몰드에 형성된 상기 음각패턴은,복수의 상기 패턴유닛 사이에 도형유닛이 형성되지 않는 간극영역이 형성되도록 마련된 것을 특징으로 하는 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드의 제조방법
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제 21 항에 있어서,상기 상부패드부 상에는 간극그루브가 더 형성되며,상기 간극그루브는, 상기 상부패드부의 두께방향을 향해 기설정된 깊이를 갖도록 형성되며, 상기 상부패드부 또는 상기 하부패드부까지 연장 형성된 홈으로 이루어진 것을 특징으로 하는 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드의 제조방법
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제 21 항에 있어서,상기 b) 단계에서,상기 하부패드부는, 경도 및 탄성계수 중 어느 하나 이상의 물성이 상기 상부패드부에 비해 낮게 형성된 것을 특징으로 하는 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드의 제조방법
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제 21 항에 있어서,상기 상부패드부는,상기 단위면적당 도형유닛의 총 둘레 길이가 1 내지 250mm/mm2가 되도록 마련된 것을 특징으로 하는 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드의 제조방법
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