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유연신축성 기판;상기 유연신축성 기판 상의 리지드 패턴들로서, 상기 리지드 패턴들은 제1 패턴 및 상기 제1 패턴과 제1 방향으로 이격된 제2 패턴을 포함하는 것;상기 제1 패턴 상의 제1 전극;상기 제2 패턴 상에 상기 제1 전극과 이격된 제2 전극; 및상기 제1 전극 및 상기 제2 전극을 연결하는 압저항 층을 포함하고,상기 리지드 패턴들은 상기 유연신축성 기판에 비해 큰 강성(stiffness)을 갖는 스트레인 센서
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제1 항에 있어서,상기 리지드 패턴들은 상기 압저항 층에 비해 큰 강성을 갖는 스트레인 센서
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제1 항에 있어서,상기 제1 패턴 및 상기 제2 패턴 사이의 거리는 상기 제1 패턴의 두께에 비해 큰 스트레인 센서
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제1 항에 있어서,상기 리지드 패턴들은 서로 마주하는 측면들을 갖고, 상기 압저항 층은 상기 측면들과 수직적으로 중첩되는 스트레인 센서
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제1 항에 있어서,상기 제1 패턴은 상기 제2 패턴과 마주하는 제1 측면을 갖고, 상기 제2 패턴은 상기 제1 측면과 마주하며 상기 제1 측면과 평행한 제2 측면을 갖는 스트레인 센서
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제1 항에 있어서,상기 제1 패턴은 상기 제2 패턴과 마주하는 제1 측면을 갖고, 상기 제2 패턴은 상기 제1 측면과 마주하는 제2 측면을 갖고,상기 제1 측면과 상기 제2 측면 사이의 거리는 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향을 따라 일정한 스트레인 센서
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제1 항에 있어서,상기 제1 패턴은 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 제1 폭을 갖고,상기 압저항 층은 상기 제2 방향으로 제2 폭을 갖고, 상기 제1 폭은 상기 제2 폭에 비해 큰 스트레인 센서
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제1 항에 있어서,상기 제1 전극, 상기 제2 전극 및 상기 압저항 층을 덮는 상부 캐핑층을 포함하는 스트레인 센서
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제6 항에 있어서,상기 리지드 패턴들은 상기 상부 캐핑층에 비해 큰 강성을 갖는 스트레인 센서
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제1 항에 있어서,상기 유연신축성 기판 상에 상기 제1 전극과 전기적으로 연결된 제1 패드 및 상기 제2 전극과 전기적으로 연결된 제2 패드를 더 포함하는 스트레인 센서
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제1 항에 있어서,상기 제1 전극과 연결된 배선을 더 포함하되,상기 배선은 사형 패턴(Serpentine-Pattern)의 형상을 갖는 스트레인 센서
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유연신축성 기판;상기 유연신축성 기판 상에 제1 방향으로 서로 이격된 제1 패턴 및 제2 패턴을 포함하는 제1 리지드 패턴들;상기 유연신축성 기판 상에 제2 방향으로 서로 이격된 제3 패턴 및 제4 패턴을 포함하는 제2 리지드 패턴들;상기 제1 패턴 상의 제1 전극;상기 제2 패턴 상에 상기 제1 전극과 이격된 제2 전극;상기 제3 패턴 상의 제3 전극;상기 제4 패턴 상에 상기 제3 전극과 이격된 제4 전극; 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극을 연결하는 제1 압저항 층; 및상기 제3 전극 및 상기 제4 전극을 연결하는 제2 압저항 층을 포함하되,상기 제1 방향 및 상기 제2 방향은 상기 유연신축성 기판의 상면과 평행하고, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향은 서로 교차하는 스트레인 센서
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제12 항에 있어서,상기 리지드 패턴들은 상기 유연신축성 기판에 비해 큰 강성(stiffness)을 갖는 스트레인 센서
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제12 항에 있어서,상기 제1 전극을 제1 패드와 연결하는 제1 배선;상기 제2 전극을 제2 패드와 연결하는 제2 배선; 및상기 제3 전극과 상기 제2 전극을 연결하는 제3 배선을 더 포함하는 스트레인 센서
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제12 항에 있어서,상기 제1 패턴 및 상기 제2 패턴 사이의 거리는 상기 제1 패턴의 두께에 비해 큰 스트레인 센서
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제12 항에 있어서,상기 리지드 패턴들은 상기 압저항 층에 비해 큰 강성을 갖는 스트레인 센서
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제12 항에 있어서,상기 제1 전극, 상기 제2 전극, 상기 제3 전극, 상기 제4 전극, 상기 제1 압저항 층 및 상기 제2 압저항 층을 덮는 상부 캐핑층을 포함하는 스트레인 센서
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