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압전 액추에이터;상기 압전 액추에이터 상에 제공되는 변위 전달 구조체; 및상기 압전 액추에이터 및 상기 변위 전달 구조체 사이에 제공되는 변위 증폭 구조체를 포함하되,상기 변위 증폭 구조체는:서로 교차하는 제1 변위 증폭 구조체와 제2 변위 증폭 구조체; 및상기 제1 변위 증폭 구조체 및 상기 제2 변위 증폭 구조체를 관통하여, 상기 제1 변위 증폭 구조체 및 상기 제2 변위 증폭 구조체를 연결하는 고정핀을 포함하되,상기 제1 변위 증폭 구조체의 일단 및 상기 제2 변위 증폭 구조체의 일단은 상기 압전 액추에이터 상에 각각 고정되는 압전 장치
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제1 항에 있어서,상기 고정핀은 상기 제1 변위 증폭 구조체 및 상기 제2 변위 증폭 구조체가 교차하는 제1 지점에서 상기 제1 변위 증폭 구조체 및 상기 제2 변위 증폭 구조체를 각각 관통하는 압전 장치
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제1 항에 있어서,상기 제1 변위 증폭 구조체의 타단에 부착된 제1 이동부;상기 제2 변위 증폭 구조체의 타단에 부착된 제2 이동부; 및상기 제1 이동부 및 상기 제2 이동부 상에 제공되는 레일판을 더 포함하는 압전 장치
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제3 항에 있어서,상기 레일판은 하면 상에 상기 제1 이동부로부터 상기 제2 이동부를 향해 연장되는 복수 개의 그루브들을 갖는 압전 장치
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제3 항에 있어서,상기 레일판은 하면 상에 복수 개의 그루브들을 갖되,상기 그루브들은 상기 제1 이동부 및 상기 제2 이동부의 이동 경로를 정의하는 압전 장치
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제1 항에 있어서,상기 변위 증폭 구조체 및 상기 변위 전달 구조체 사이에 제공되는 레일판을 더 포함하되,상기 제1 변위 증폭 구조체 및 상기 레일판의 하면 사이의 제1 각도는 상기 제2 변위 증폭 구조체 및 상기 레일판의 하면 사이의 제2 각도와 동일한 압전 장치
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제1 항에 있어서,상기 고정핀으로부터 상기 제1 변위 증폭 구조체의 상기 일단까지의 제1 거리는 상기 고정핀으로부터 상기 제1 변위 증폭 구조체의 타단까지의 제2 거리보다 작은 압전 장치
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8
제1 항에 있어서,상기 변위 전달 구조체는 상기 압전 액추에이터의 상면과 평행한 평탄부 및 상기 평탄부로부터 돌출된 돌출부를 포함하는 압전 장치
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제8 항에 있어서,상기 돌출부의 수직 단면은 다각형, 반구형, 또는 반타원형인 압전 장치
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10
제1 항에 있어서,상기 압전 액추에이터는 서로 수평으로 이격된 제1 압전 액추에이터 및 제2 압전 액추에이터를 포함하되,상기 제1 변위 증폭 구조체의 상기 일단은 상기 제1 압전 액추에이터에 고정되고,상기 제2 변위 증폭 구조체의 상기 일단은 상기 제2 압전 액추에이터에 고정되는 압전 장치
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제10 항에 있어서,제1 압전 액추에이터 및 제2 압전 액추에이터는 전기적으로 서로 연결되지 않고, 독립적으로 진동하도록 구성되는 압전 장치
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12
제1 항에 있어서,상기 제2 변위 증폭 구조체는 제1 부분 및 한 쌍의 제2 부분들을 포함하되,상기 한 쌍의 제2 부분들 사이의 각도는 90도 이상 180도 이하인 압전 장치
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제12 항에 있어서,상기 제2 변위 증폭 구조체 및 상기 변위 전달 구조체 사이에 제공되는 레일판을 더 포함하되,상기 제2 변위 증폭 구조체의 상기 제2 부분들 중 상기 레일판과 인접한 어느 하나 및 상기 레일판 사이의 각도는 45도 이상 90도 이하일 수 있고,상기 제1 변위 증폭 구조체의 상기 제2 부분들 중 상기 압전 액추에이터와 인접한 다른 하나 및 상기 압전 액추에이터 사이의 각도는 10도 이상 45도 이하인 압전 장치
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제1 항에 있어서,상기 압전 액추에이터의 하면 상에 제공되고, 복수의 그루브들을 포함하는 하부 레일판; 및상기 하부 레일판과 상기 압전 액추에이터 사이에 제공되는 하부 변위 증폭 구조체를 더 포함하되,상기 하부 변위 증폭 구조체는 서로 교차하는 제1 하부 변위 증폭 구조체 및 제2 하부 변위 증폭 구조체를 포함하고, 상기 제1 하부 변위 증폭 구조체의 일단 및 상기 제2 하부 변위 증폭 구조체의 일단은 상기 압전 액추에이터의 하면 상에 고정되는 압전 장치
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15
제14 항에 있어서,상기 제1 하부 변위 증폭 구조체의 타단에 부착된 제3 이동부; 및상기 제2 하부 변위 증폭 구조체의 타단에 부착된 제4 이동부를 더 포함하되,상기 제3 이동부 및 상기 제4 이동부는 상기 하부 레일판의 상기 그루브들을 따라 이동하는 압전 장치
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