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유체와 고체 사이의 열교환시 또는 유체와 유체 사이의 비혼합 열교환시에 열전달 효율을 높이기 위한 구조로서, 상기 구조는,열전달이 가능하도록 일정한 면적을 가진 제1 부분(10);제1 부분(10)과 소정 간격으로 이격된 곳에 설치되고, 열전달이 가능하도록 일정한 면적을 가진 제2 부분(20); 및,제1 부분(10)과 제2 부분(20)의 사이에 형성되고, 유체가 이동하는 통로가 되며, 셀 구조로 이루어진 유로(50);를 포함하고, 셀 구조는 제1,2 부분(10)(20) 사이에서 유체가 이동되도록 다수 개의 단위 셀(cell)이 반복적으로 형성되어 이루어지고, 셀 구조의 상단과 하단은 제1,2 부분(10)(20)과 연결되어 열전도가 이루어지며, 유체가 셀 구조를 통해 이동하면 난류가 증가되고,단위 셀은, 유체가 이동하는 부분인 유로부(31); 및,유로부(31)를 형성하고, 이웃하는 단위 셀과 연결되는 프레임(33);을 포함하고, 이웃하는 단위 셀의 유로부(31)가 연결되어 통하도록 이웃하는 단위 셀의 프레임(33)이 연결되고, 프레임(33)과 제1,2 부분(10)(20)은 열전도율이 높은 소재로 이루어지며, 제1,2 부분(10)(20)과 프레임(33) 사이에 열이 전도되는 것과 난류가 증가되는 것에 의해 제1,2 부분(10)(20)의 온도 편차가 작아지고 온도 조절이 신속하게 이루어지는 것을 특징으로 하는 열전달 구조
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제1항에 있어서, 상기 셀 구조는 단위 셀이 x, y, z 방향으로 각각 반복적으로 연결되어 이루어지거나, 단위 셀이 x, z 방향으로 반복적으로 연결되고 y 방향으로는 하나의 단위 셀만 형성되어 이루어지거나, 단위 셀이 x, y 방향으로 반복적으로 연결되고 z 방향으로는 하나의 단위 셀만 형성되어 이루어지고, x 방향은 유로(50)의 방향이고 y 방향은 유로(50)의 폭 방향이며 z 방향은 유로(50)의 높이 방향이고, x, y, z 방향은 서로에 대해 수직을 이루는 것을 특징으로 하는 열전달 구조
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제2항에 있어서, 상기 셀 구조는 격자(lattice) 구조 또는 트러스(truss) 구조인 것을 특징으로 하는 열전달 구조
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제3항에 있어서, 상기 단위 셀은 정육면체 또는 직육면체이고, 프레임(33)은 정육면체 또는 직육면체의 모서리를 이루며, 유로부(31)는 상기 모서리의 내부 부분인 것을 특징으로 하는 열전달 구조
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제4항에 있어서, 상기 단위 셀은 연결봉(34)을 더 포함하고, 상기 연결봉(34)은 대각선 방향으로 서로 마주보는 꼭지점을 서로 연결하는 것을 특징으로 하는 열전달 구조
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제3항에 있어서, 상기 단위 셀은 정팔면체이고, 프레임(33)은 정팔면체의 모서리 중 적어도 일부를 이루며, 유로부(31)는 상기 모서리 내부 부분인 것을 특징으로 하는 열전달 구조
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제3항에 있어서, 상기 단위 셀은 트러스 구조의 프레임(33)을 갖고, 트러스 구조는 두 개의 정사면체가 결합되되 정사면체의 모서리의 중앙점이 다른 정사면체의 모서리의 중앙점에 서로 연결되고 상기 중앙점을 서로 연결하는 연결봉이 형성되어 작은 삼각형을 이루는 것을 특징으로 하는 열전달 구조
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제1항에 있어서, 상기 셀 구조는 메탈 폼(metal foam) 구조 또는 허니콤(honeycombs) 구조인 것을 특징으로 하는 열전달 구조
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제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 유로부(31)의 체적(FV)과 단위 셀의 체적(CV)은 아래 식 1을 만족하고 단위 셀의 폭(W)과 높이(H)는 아래 식 2를 만족하는 것을 특징으로 하는 열전달 구조
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제1항 내지 제8항 중 어느 한 항의 열전달 구조를 제조하는 방법으로서, 상기 셀 구조를 3D 프린팅으로 열전도율이 높은 소재를 적층하여 제조하는 것을 특징으로 하는 열전달 구조 제조방법
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제1항 내지 제8항 중 어느 한 항의 열전달 구조를 포함하는 웨이퍼 척으로서, 제1,2 부분(10)(20)은 서로 평행하게 설치된 평판이고, 상기 유체는 제1,2 부분(10)(20) 사이를 통해서 이동하면서 제1 부분(10)의 열을 전달받거나 제1 부분(10)으로 열을 전달하되, 제1 부분(10)과 프레임(33) 사이에 전도 열교환이 이루어지고 셀 구조를 통과하면서 유체의 난류가 증가하는 것에 의해 제1 부분(10)의 온도 편차가 작아지고 온도가 신속하게 조절되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 척
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제11항에 있어서, 유로부(31)의 체적(FV)과 단위 셀의 체적(CV)은 아래 식 3을 만족하고 단위 셀의 폭(W)과 높이(H)는 아래 식 4를 만족하는 것을 특징으로 하는 열전달 구조
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유동장 내 유로의 특성을 등가의 열 유동 회로(ETFC, Equivalent Thermal Flow Circuit)로 나타내어 최적 설계를 수행하는 방법이고, 상기 유로는 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항의 셀 구조로 이루어지며, (a) 상기 셀 구조를 나타내는 단위 모듈 시험기를 도출하는 단계;(b) 상기 단위 모듈 시험기를 단위 ETFC로 나타내는 단계; 및,(c) 단위 ETFC를 직,병렬로 연결하여 전체 열교환기의 등가 회로를 구성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 열교환기 설계 방법
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