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순수 재활용 시스템 및 그 방법

  • 기술번호 : KST2021015186
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요약 본 발명은 순수를 재활용하여 비용을 절감할 수 있는 순수 재활용 시스템 및 그 방법에 관한 것이다.일례로, 순수로 컬러필터 기판을 세정하는 세정기; 상기 세정기에서 사용된 순수를 정화시키는 순수 정화 장치; 및 상기 순수 정화 장치에서 정화된 순수를 사용하여 컬러필터 기판을 현상하는 현상기를 포함하는 순수 재활용 시스템 및 그 방법을 개시한다.
Int. CL C02F 1/44 (2006.01.01) C02F 1/00 (2006.01.01) B01D 21/00 (2006.01.01) B01D 35/02 (2006.01.01)
CPC C02F 1/44(2013.01) C02F 1/44(2013.01) C02F 1/44(2013.01) C02F 1/44(2013.01) C02F 1/44(2013.01) C02F 1/44(2013.01)
출원번호/일자 1020100045074 (2010.05.13)
출원인 동우 화인켐 주식회사
등록번호/일자 10-1209300-0000 (2012.11.30)
공개번호/일자 10-2011-0125507 (2011.11.21) 문서열기
공고번호/일자 (20121206) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.06.17)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 동우 화인켐 주식회사 대한민국 전라북도 익산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조석휴 대한민국 경기도 평택시
2 김민우 대한민국 경기도 평택시
3 이성광 대한민국 경기도 평택시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서경민 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *** *층 (역삼동, 현죽빌딩)(특허법인성암)
2 서만규 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *** *층 (역삼동, 현죽빌딩)(특허법인성암)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 동우 화인켐 주식회사 전라북도 익산시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.05.13 수리 (Accepted) 1-1-2010-0309009-51
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.06.17 수리 (Accepted) 1-1-2010-0389572-98
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.01.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.02.17 수리 (Accepted) 9-1-2012-0013232-40
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.05.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0287003-98
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.06.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0481920-90
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.06.18 수리 (Accepted) 1-1-2012-0481918-08
8 등록결정서
Decision to grant
2012.11.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0694460-75
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.11.21 수리 (Accepted) 4-1-2013-5156547-48
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5161555-49
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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순수로 컬러필터 기판을 세정하는 세정기;상기 세정기에서 사용된 순수를 정화시키는 순수 정화 장치; 및상기 순수 정화 장치에서 정화된 순수를 사용하여 컬러필터 기판을 현상하는 현상기를 포함하고,상기 순수 정화 장치는상기 세정기에서 사용된 순수를 저장하는 제 1 탱크;상기 제 1 탱크에 저장된 순수를 필터링하는 여과 필터;상기 여과 필터에서 여과된 순수를 저장하는 제 2 탱크; 및상기 제 2 탱크에 저장된 순수의 전도도를 측정하는 순수 측정부를 포함하며,상기 순수 정화 장치에는 폐수부가 더 연결되어 있고,상기 순수 측정부는 상기 제 2 탱크에 저장된 순수의 전도도가 기준치를 초과하면 상기 폐수부로 보내는 것을 특징으로 하는 순수 재활용 시스템
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삭제
3 3
제 1 항에 있어서,상기 제 1 탱크에는 이물질을 침전시키는 포집장치가 형성된 것을 특징으로 하는 순수 재활용 시스템
4 4
제 1 항에 있어서,상기 여과 필터는 3중 필터로 형성된 것을 특징으로 하는 순수 재활용 시스템
5 5
삭제
6 6
제 1 항에 있어서,상기 현상기에는 사용된 순수를 저장하는 현상기 탱크가 더 연결되어 있고,상기 현상기 탱크는 저장된 순수를 상기 순수 정화 장치로 보내는 것을 특징으로 하는 순수 재활용 시스템
7 7
세정기에서 사용된 순수가 저장되는 제 1 저장 단계;상기 저장 단계에서 저장된 순수를 필터링하는 필터링 단계;상기 필터링 단계에서 필터링된 순수를 저장하는 제 2 저장 단계;상기 제 2 저장 단계에서 저장된 순수의 전도도를 측정하는 전도도 측정 단계; 및상기 제 2 저장 단계에서 저장된 순수를 공급하는 공급 단계를 포함하고,상기 공급 단계에서 상기 순수의 전도도가 기준치 미만이면 현상기로 공급하고, 상기 순수의 전도도가 기준치를 초과하면 폐수부로 보내는 것을 특징으로 하는 순수 재활용 방법
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제 7 항에 있어서,상기 제 1 저장 단계는 순수에 포함된 이물질이 침전되는 것을 특징으로 하는 순수 재활용 방법
9 9
삭제
10 10
제 7 항에 있어서,상기 제 1 저장 단계는 상기 현상기에서 사용된 순수를 저장하는 것을 특징으로 하는 순수 재활용 방법
11 11
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.