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순수로 컬러필터 기판을 세정하는 세정기;상기 세정기에서 사용된 순수를 정화시키는 순수 정화 장치; 및상기 순수 정화 장치에서 정화된 순수를 사용하여 컬러필터 기판을 현상하는 현상기를 포함하고,상기 순수 정화 장치는상기 세정기에서 사용된 순수를 저장하는 제 1 탱크;상기 제 1 탱크에 저장된 순수를 필터링하는 여과 필터;상기 여과 필터에서 여과된 순수를 저장하는 제 2 탱크; 및상기 제 2 탱크에 저장된 순수의 전도도를 측정하는 순수 측정부를 포함하며,상기 순수 정화 장치에는 폐수부가 더 연결되어 있고,상기 순수 측정부는 상기 제 2 탱크에 저장된 순수의 전도도가 기준치를 초과하면 상기 폐수부로 보내는 것을 특징으로 하는 순수 재활용 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 탱크에는 이물질을 침전시키는 포집장치가 형성된 것을 특징으로 하는 순수 재활용 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 여과 필터는 3중 필터로 형성된 것을 특징으로 하는 순수 재활용 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 현상기에는 사용된 순수를 저장하는 현상기 탱크가 더 연결되어 있고,상기 현상기 탱크는 저장된 순수를 상기 순수 정화 장치로 보내는 것을 특징으로 하는 순수 재활용 시스템
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세정기에서 사용된 순수가 저장되는 제 1 저장 단계;상기 저장 단계에서 저장된 순수를 필터링하는 필터링 단계;상기 필터링 단계에서 필터링된 순수를 저장하는 제 2 저장 단계;상기 제 2 저장 단계에서 저장된 순수의 전도도를 측정하는 전도도 측정 단계; 및상기 제 2 저장 단계에서 저장된 순수를 공급하는 공급 단계를 포함하고,상기 공급 단계에서 상기 순수의 전도도가 기준치 미만이면 현상기로 공급하고, 상기 순수의 전도도가 기준치를 초과하면 폐수부로 보내는 것을 특징으로 하는 순수 재활용 방법
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제 7 항에 있어서,상기 제 1 저장 단계는 순수에 포함된 이물질이 침전되는 것을 특징으로 하는 순수 재활용 방법
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제 7 항에 있어서,상기 제 1 저장 단계는 상기 현상기에서 사용된 순수를 저장하는 것을 특징으로 하는 순수 재활용 방법
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