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투명 폴리머 필름 내에 내재된 실리콘 마이크로 와이어 어레이;를 포함하고,상기 실리콘 마이크로 와이어 어레이는;상단에 1층 이상의 금속층이 형성된 실리콘 마이크로 와이어를 포함하고,상기 실리콘 마이크로 와이어의 적어도 일부분에 반사방지 물질층이 더 형성된 것인,실리콘 마이크로 와이어 폴리머 복합체
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제1항에 있어서,상기 1층 이상의 금속층에서 각 층은, 동일 또는 상이한 두께를 가지고, 동일 또는 상이한 금속을 포함하는 것인, 실리콘 마이크로 와이어 폴리머 복합체
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제1항에 있어서,상기 1층 이상의 금속층은, Co, Ir, Ta, Cr, Mn, Mo, Tc, W, Re, Fe, Sc, Ti, Ge, Sb, Al, Pt, Ni, Cu, Rh, Au, V, Nb, Ag, Pd, Zn, Ni, Si, Sn 및 Ru; 이들의 합금; 및 이들의 산화물;로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것인, 실리콘 마이크로 와이어 폴리머 복합체
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제1항에 있어서,상기 1층 이상의 금속층에서 하나의 층 대 나머지 층의 두께비는, 1:1 내지 1:100인 것인, 실리콘 마이크로 와이어 폴리머 복합체
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제1항에 있어서,상기 1층 이상의 금속층의 두께는, 1 nm 내지 1000 nm인 것인, 실리콘 마이크로 와이어 폴리머 복합체
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제1항에 있어서,상기 실리콘 마이크로 와이어는, 15 ㎛ 내지 100 ㎛의 높이를 갖고, 1 nm 이상의 간격으로 배열된 것인, 실리콘 마이크로 와이어 폴리머 복합체
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제1항에 있어서,상기 반사방지 물질층은, Al2O3, SiOx, SiNx, TiO2, ZrO2, HfO2, Ta2O5 및 ZnO로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것인, 실리콘 마이크로 와이어 폴리머 복합체
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제1항에 있어서,상기 투명 폴리머 필름은, 폴리디메틸실록산(PDMS), 염화비닐(PVC) 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리스티렌, 폴리카보네이트(PC), 폴리알파메틸스티렌, 아크릴로니트릴부타디엔스티렌, 셀룰로오스아세테이트, 폴리비닐카바졸, 폴리아크릴레이트, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리벤질메타크릴레이트, 폴리페닐메타크릴레이트, 폴리-1-메틸시클로헥실메타크릴레이트, 폴리시클로헥실메타크릴레이트, 폴리클로로벤질메타크릴레이트, 폴리-1-페닐에틸메타크릴레이트, 폴리-1,2-디페닐에틸메타크릴레이트, 폴리디페닐메틸메타크릴레이트, 폴리퍼퓨릴메타크릴레이트, 폴리-1-페닐시클로헥실메타크릴레이트, 폴리펜타클로로페닐메타크릴레이트, 폴리펜타브로모페닐메타크릴레이트, 폴리메틸메타아크릴레이트(PMMA), 아크릴로니트릴스티렌(AS), 폴리에테르술폰(PES), 폴리아미드(PA), 폴리에스테르이미드(PEI) 및 폴리메틸펜텐(PMP)으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것인, 실리콘 마이크로 와이어 폴리머 복합체
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실리콘 기판 상에 마스크 패턴을 이용하여 금속 도트 어레이층을 형성하는 단계;상기 실리콘 기판을 식각하여 상기 금속 도트 어레이층을 포함하는 실리콘 마이크로 와이어 어레이를 형성하는 단계; 상기 실리콘 마이크로 와이어 어레이를 투명 폴리머로 코팅하여 실리콘 마이크로 와이어 어레이가 내재된 투명 폴리머 필름을 형성하는 단계; 및 상기 투명 폴리머 필름을 상기 실리콘 기판에서 분리하는 단계; 를 포함하는, 제1항의 실리콘 마이크로 와이어 폴리머 복합체의 제조방법
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제10항에 있어서,상기 금속 도트 어레이층은, 1층 이상의 금속 도트층 및 금속 도트 마스크층을 포함하고, 상기 1층 이상의 금속 도트층 대 상기 금속 도트 마스크층의 두께비는, 1:10 내지 1:100인 것인, 실리콘 마이크로 와이어 폴리머 복합체의 제조방법
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제10항에 있어서,상기 실리콘 마이크로 와이어 어레이를 형성하는 단계 이후에, 상기 실리콘 마이크로 와이어의 적어도 일부분에 n-형 반도체층을 형성하는 단계; 를 더 포함하는 것인, 실리콘 마이크로 와이어 폴리머 복합체의 제조방법
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제10항에 있어서,상기 실리콘 마이크로 와이어 어레이를 형성하는 단계 이후에, 금속 도트 마스크층을 제거하는 단계; 를 더 포함하는 것인, 실리콘 마이크로 와이어 폴리머 복합체의 제조방법
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투명 전극층;전도성고분자층; 및 상기 투명 전극층 및 상기 전도성고분자층 사이에 배치된 실리콘 마이크로 와이어 폴리머 복합체; 를 포함하고, 상기 실리콘 마이크로 와이어 폴리머 복합체는,투명 폴리머 필름 내에 내재되고, 상단에 1층 이상의 금속층이 형성된 실리콘 마이크로 와이어 어레이를 포함하고,상기 투명 전극층과 상기 금속층은 접하는 것인,투명태양전지
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제14항에 있어서,상기 투명태양전지는, 무색의 플렉서블 투명태양전지인 것인, 투명태양전지
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실리콘 기판 상에 마스크 패턴을 이용하여 금속 도트 어레이층을 형성하는 단계;상기 실리콘 기판을 식각하여 상기 금속 도트 어레이층을 포함하는 실리콘 마이크로 와이어 어레이를 형성하는 단계; 상기 실리콘 마이크로 와이어 어레이를 투명 폴리머로 코팅하여 실리콘 마이크로 와이어 어레이가 내재된 투명 폴리머 필름을 형성하는 단계; 상기 투명 폴리머 필름을 상기 실리콘 기판에서 분리하는 단계; 및상기 투명 폴리머 필름의 상단 또는 하단 중 하나에 투명전극층 또는 전도성고분자층을 형성하는 단계; 를 포함하는, 제14항의 투명태양전지의 제조방법
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제17항에 있어서,상기 투명전극층 또는 전도성고분자층을 형성하는 단계는, 증착, 코팅 또는 이 둘을 이용하는 것인, 투명태양전지의 제조방법
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