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전해액이 저장되는 챔버부, 및 상기 챔버부로부터 전해액을 제공받아 피 처리물을 플라즈마 전해산화 처리하는 전극유닛을 포함하고,상기 전극유닛은, 외부로부터 전압이 인가되며, 상기 피 처리물과의 사이에 상기 전해액이 저장되는 수납공간을 형성하는 전극부; 상기 전극부와 상기 피 처리물 사이를 밀폐하는 밀폐부; 및상기 전극부의 외부를 커버하는 커버부를 포함하고, 상기 전극부는, 서로 마주하며 연결되는 상부 및 하부, 및 상기 상부 및 하부의 일 측을 서로 연결하며 상기 수납공간을 형성하는 측부를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전해산화 장치
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제1항에 있어서, 상기 전극부는, 상기 밀폐부가 접촉되며, 상기 피 처리물과 마주하는 부분에 위치하여, 상기 피 처리물과의 전기적 절연을 유지하는 부착부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전해산화 장치
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제1항에 있어서, 상기 전극유닛은, 상기 전극부의 외부를 커버하며, 부도체로 형성되는 제1 커버부; 및상기 제1 커버부의 외부를 커버하며, 도체로 형성되는 제2 커버부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전해산화 장치
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제3항에 있어서, 상기 피 처리물 및 상기 제2 커버부는 접지되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전해산화 장치
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제1항에 있어서, 상기 상부에는, 상기 수납공간의 공기가 배출되거나, 상기 수납공간으로 전해액을 제공하거나, 상기 수납공간으로부터 전해액을 배출하는 상부 개구부가 형성되며, 상기 하부에는, 상기 수납공간으로 전해액을 제공하거나, 상기 수납공간으로부터 전해액을 배출하는 하부 개구부가 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전해산화 장치
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제6항에 있어서, 상기 하부 개구부는, 상기 전해액을 제공하는 제1 하부 개구부, 및 상기 전해액을 배출하는 제2 하부 개구부를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전해산화 장치
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제1항에 있어서, 상기 상부 및 하부는, 상기 피 처리물의 표면을 향하여 연장되는 길이가 서로 다르게 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전해산화 장치
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제1항에 있어서, 상기 전극유닛은, 베이스부; 및 상기 베이스부로부터 길이가 가변되도록 연장되는 복수의 연장부들을 더 포함하며, 상기 전극유닛은, 복수개가 각각 상기 연장부들 각각의 끝단에 연결되며, 서로 다른 피 처리물의 표면에 위치하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전해산화 장치
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제1항에 있어서, 전극부의 하부 개구부와 연결되어, 상기 챔버부에 저장된 전해액을 상기 수납공간으로 제공하거나, 상기 수납공간의 전해액을 상기 챔버부로 회수하는 제1 배관; 및전극부의 상부 개구부와 연결되어, 상기 챔버부에 저장된 전해액을 상기 수납공간으로 제공하거나, 상기 수납공간의 전해액을 상기 챔버부로 회수하는 제2 배관을 더 포함하는 플라즈마 전해산화 장치
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제1항에 있어서, 상기 챔버부는, 상기 전해액의 온도를 제어하는 온도 제어부; 상기 챔버부로 상기 전해액을 제공하는 인입부; 및상기 챔버부의 가스를 외부로 배출하는 배출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전해산화 장치
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제1항에 있어서, 상기 챔버부는, 상기 수납공간에서 상기 피 처리물을 처리한 전해액을 제공받는 제1 챔버부; 상기 수납공간으로 상기 피 처리물을 처리하기 위한 전해액을 제공하는 제2 챔버부; 및상기 제1 챔버부와 상기 제2 챔버부 사이에 연결되며, 상기 수납공간과 상기 제1 및 제2 챔버부들 사이에서의 전해액의 이동을 제어하는 펌프부를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전해산화 장치
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제1항의 플라즈마 전해산화 장치를 이용한 플라즈마 전해산화 방법에서, 상기 피 처리물에 상기 전극부를 밀착시키는 단계; 상기 수납공간을 감압하는 단계; 상기 챔버부로부터 상기 수납공간으로 상기 전해액을 공급하는 단계; 상기 전극유닛이 상기 피 처리물에 대하여 플라즈마 전해산화 공정을 수행하는 단계; 상기 수납공간으로부터 상기 전해액을 배출하는 단계; 및상기 수납공간 및 상기 피 처리물을 세정하는 단계를 포함하는 플라즈마 전해산화방법
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제13항에 있어서, 상기 수납공간으로부터 배출된 상기 전해액은, 상기 챔버부로 제공되며, 상기 챔버부에서, 상기 전해액에 포함된 반응 가스가 제거되고, 상기 전해액의 온도 및 농도가 제어되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전해산화방법
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제13항에 있어서, 상기 수납공간 및 상기 피 처리물을 세정한 이후, 상기 수납공간으로 건조공기를 제공하는 단계를 더 포함하는 플라즈마 전해산화방법
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제13항에 있어서, 상기 플라즈마 전해산화 공정을 수행하는 단계에서, 상기 전극유닛의 수납공간의 압력을 대기압보다 낮게 유지하여 상기 수납공간의 전해액의 유출을 방지하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전해산화방법
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