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진공챔버;상기 진공챔버 내부에 구비되는 증착물질 별로 구획부재에 의해 구획되는 복수의 증착공간;상기 진공챔버 내부에서 상기 복수의 증착공간을 모두 경유하는 길이로 형성되며, 외면에 기판의 이동을 안내하기 위한 가이드홈이 형성되는 가이드 드럼;상기 진공챔버 내부에서 상기 가이드 드럼의 일측에 구비되어 상기 가이드홈을 따라 기판을 공급하는 공급릴;상기 진공챔버 내부에서 가이드 드럼의 타측에 구비되어 상기 복수의 증착공간을 모두 경유한 기판을 회수하는 회수릴;을 포함하며,상기 구획부재는 진공챔버를 구성하며, 증착물질의 증발공간을 제공하는 하부챔버에서 각 증착물질의 타 공간 유입을 방지하기 위한 하부구획부재와, 진공챔버를 구성하며 기판에 증착된 물질의 반응공간을 제공하는 상부챔버를 하부챔버의 구획위치와 대응되도록 구획하는 상부구획부재;를 포함하도록 구성되며,상기 상부구획부재와 하부구획부재의 각 일면은 상기 드럼의 외면 형상과 대응되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 고온초전도 선재 제조장치
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제 1 항에 있어서,상기 증착공간에 수용되는 증착물질에는 [관계식 A]를 만족하여 단결정 수준의 결정배향성을 가지는 물질이 포함되는 것을 특징으로 하는 고온초전도 선재 제조장치
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제 1 항에 있어서, 상기 하부챔버 및 상부챔버에는 각각 가이드 드럼의 길이방향을 따라 등 간격으로 배치되는 하부고정수단과 상부고정수단이 구비되며, 상기 하부구획부재 및 상부구획부재는 요구되는 공간의 범위에 따라 상기 하부고정수단과 상부고정수단에 위치 가변하면서 끼움 장착되는 것을 특징으로 하는 고온초전도 선재 제조장치
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진공챔버 내부에 릴-투-릴 방식으로 기판 이송을 위한 가이드 드럼을 구비하는 가이드 드럼 준비단계;상기 진공챔버 내부에 가이드 드럼에 증착되는 증착물질을 배치하고, 각 증착물질 배치 공간을 하부구획부재를 이용하여 구획하는 하부챔버 구획단계;상기 하부챔버 구획단계와 대응되도록 상부챔버 내부 공간을 상부구획부재를 이용하여 구획하는 상부챔버 구획단계;내부공간이 구획된 진공챔버 내부에서 가이드 드럼을 회전시키며 증착물질을 순차적으로 증착시키는 증착단계;를 포함하는 고온초전도 선재 제조방법
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제 4 항에 있어서, 상기 하부챔버 구획단계에서는 증착물질의 배치 시 초전도 층을 형성하는 물질의 배치공간 전측에 [관계식 A]를 만족하여 단결정 수준의 결정배향성을 가지는 물질을 배치하는 것을 특징으로 하는 고온초전도 선재 제조방법
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제 4 항에 있어서, 상기 증착단계는구획된 제1공간에서 기판에 이트륨 옥사이드(Y2O3)를 증착하는 제1증착공정과,구획된 제2공간에서 상기 이트륨 옥사이드(Y2O3)가 증착된 기판에 IBAD 방식으로 산화마그네슘(MgO)을 증착하는 제2증착공정과,구획된 제3공간에서 산화마그네슘(MgO)층이 증착된 기판에 [관계식 A]를 만족하여 단결정 수준의 결정배향성을 가지는 물질을 증착시켜 단결정 수준의 배향 증착이 이루어지는 제3증착공정과,구획된 제4공간에서 단결정 수준으로 배향 증착된 결정배향성 개선 물질층의 상측으로 동시 열증발 증착법을 이용하여 초전도층을 증착하는 제4증착공정과,구획된 제5공간에서 상기 초전도층의 상측으로 은(Ag)을 증착시켜 보호층을 형성하는 제5증착공정 및구획된 제6공간에서 상기 제5증착공정까지 완료된 기판을 회수릴로 모두 권취한 이후 제6공간 내부로 산소를 공급하여 초전도층의 산소조성비를 조절하는 제6공정;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 고온초전도 선재의 제조방법
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