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기판에 전기적으로 연결된 캔틸리버;상기 캔틸리버의 일측면에 이격되어 형성되고 상기 캔틸리버와 물리적인 접촉점을 제공하며, 제1 슬링샷 신호에 따라 풀백 전압을 순간적으로 인가하여 상기 캔틸리버를 예비 위치까지 풀백하고 제2 슬링샷 신호에 기준 전압을 인가하는 제1 전극;상기 캔틸리버의 타측면에 이격되어 형성되고 상기 캔틸리버와 물리적인 접촉점을 제공하며, 제2 슬링샷 신호에 따라 풀인 전압을 인가하여 상기 캔틸리버를 목표 위치까지 풀인하는 제2 전극; 및상기 캔틸리버의 물리적 이동 시점에 특정 시간 동안 상기 제1 슬링샷 신호를 상기 제2 전극에 제공한 다음 상기 제2 슬링샷 신호를 상기 제1 및 제2 전극들에 동시에 제공하는 동적 슬링샷 제어부를 포함하는 동적 슬링샷 기반의 저전압 전기기계 스위치
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제1항에 있어서, 상기 예비 위치는상기 목표 위치의 반대 방향으로, 상기 캔틸리버의 초기 위치와 상기 전극들 간의 거리보다 짧은 것을 특징으로 하는 동적 슬링샷 기반의 저전압 전기기계 스위치
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제1항에 있어서, 상기 목표 위치는상기 캔틸리버와 상기 제1 및 제2 전극 간의 도전 경로를 형성하는 위치인 것을 특징으로 하는 동적 슬링샷 기반의 저전압 전기기계 스위치
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제1항에 있어서, 상기 풀백 전압은아래의 [수학식 1]에 의해 연산 되는 것을 특징으로 하는 동적 슬링샷 기반의 저전압 전기기계 스위치
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제1항에 있어서, 상기 풀인 전압은아래의 [수학식 2]에 의해 연산 되는 것을 특징으로 하는 동적 슬링샷 기반의 저전압 전기기계 스위치
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제1항에 있어서, 상기 동적 슬링샷 제어부는상기 제1 전극에 특정 주기 이내의 상기 풀백 전압을 순간적으로 인가하는 신호인 상기 제1 슬링샷 신호를 상기 제1 전극에 제공하는 제 1 단계, 상기 캔틸리버가 상기 예비 위치에 도착하는 시점인 제1 시점에 상기 기준 전압을 인가하는 신호인 상기 제2 슬링샷 신호를 상기 제1 전극에 제공하는 제2 단계 및 상기 제1 시점에 상기 풀인 전압을 인가하는 신호인 상기 제2 슬링샷 신호를 상기 제2 전극에 제공하는 제3 단계를 통해 상기 캔틸리버를 상기 목표 위치 까지 풀인하는 것을 특징으로 하는 동적 슬링샷 기반의 저전압 전기기계 스위치
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제1항에 있어서, 상기 동적 슬링샷 제어부는상기 제1 및 제2 슬링샷 신호를 특정 주기에 따라 생성 및 제공하는 것을 특징으로 하는 동적 슬링샷 기반의 저전압 전기기계 스위치
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동적 슬링샷 기반의 저전압 전기기계 스위치에 포함되는 동적 슬링샷 제어부를 통해제1 전극에 특정 주기 이내의 풀백 전압을 순간적으로 인가하는 신호인 제1 슬링샷 신호를 제1 전극에 제공하는 제 1 단계;캔틸리버가 예비 위치에 도착하는 시점인 제1 시점에 기준 전압을 인가하는 신호인 상기 제2 슬링샷 신호를 상기 제1 전극에 제공하는 제2 단계; 및상기 제1 시점에 풀인 전압을 인가하는 신호인 상기 제2 슬링샷 신호를 상기 제2 전극에 제공하여 상기 캔틸리버가 목적위치까지 도달할 수 있도록 제어하는 제3 단계를 포함하는 동적 슬링샷 기반의 저전압 전기기계 스위치의 동적 구동 방법
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제8항에 있어서, 상기 목표 위치는상기 캔틸리버와 상기 제1 및 제2 전극 간의 도전 경로를 형성하는 위치인 것을 특징으로 하는 동적 슬링샷 기반의 저전압 전기기계 스위치의 동적 구동 방법
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제8항에 있어서, 상기 예비 위치는 상기 목표 위치의 반대 방향으로, 상기 캔틸리버의 초기 위치와 상기 전극들 간의 거리보다 짧은 것을 특징으로 하는 동적 슬링샷 기반의 저전압 전기기계 스위치의 동적 구동 방법
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제8항에 있어서, 상기 풀백 전압은아래의 [수학식 3]에 의해 연산되는 것을 특징으로 하는 동적 슬링샷 기반의 저전압 전기기계 스위치의 동적 구동 방법
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제8항에 있어서, 상기 풀인 전압은아래의 [수학식 4]에 의해 연산되는 것을 특징으로 하는 동적 슬링샷 기반의 저전압 전기기계 스위치의 동적 구동 방법
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