| 1 |
1
산화제로 플라즈마를 발생시켜 토출시키는 플라즈마 발생부;상기 플라즈마 발생부에 연결되어 토출되는 플라즈마에 연료를 분사하여 부분산화를 통하여 형성된 고온 조건에서 과불화합물을 1차로 분해 제거하며 연료의 부분산화를 통하여 수소를 생성하는 제1연소부; 및상기 제1연소부에 연결되어 토출되는 수소를 포함한 고온의 가스에 산화제를 분사하여 안정성 높은 화염을 형성하여 과불화합물을 2차로 분해 제거하는 제2연소부을 포함하는 다단 연소 스크러버 장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 산화제는 산소이고,상기 연료는 메탄(CH4)인 다단 연소 스크러버 장치
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 플라즈마 발생부는고전압이 인가되는 고전압 전극,상기 고전압 전극을 수용하고 서로의 사이에 방전갭을 형성하며 전기적으로 접지되는 하우징, 및상기 방전갭에 상기 산화제를 공급하는 제1공급구를 포함하는 다단 연소 스크러버 장치
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 플라즈마 발생부는발생된 플라즈마가 제트 형태로 불출되도록 토출 측의 제1확장부에 연결되는 수축-확장부를 더 포함하는 다단 연소 스크러버 장치
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 제1연소부는제1연소실에 연료를 공급하는 제2공급구, 및상기 제1연소실에 과불화합물을 공급하는 제3공급구를 포함하는 다단 연소 스크러버 장치
|
| 6 |
6
제5항에 있어서,상기 제1연소부는상기 플라즈마 발생부에 제1확장부로 연결되고 상기 제2연소부에 제1축소부로 연결되는 상기 제1연소실을 구비하며,상기 제2공급구는 상기 제1확장부에 연결되는 상기 플라즈마 발생부의 하단 또는 상기 제1확장부에 연결되고,상기 제3공급구는 상기 제1연소실에 연결되는다단 연소 스크러버 장치
|
| 7 |
7
제5항에 있어서,상기 제1연소부는상기 플라즈마 발생부에 제1확장부로 연결되고 상기 제2연소부에 제1축소부로 연결되는 상기 제1연소실을 구비하며,상기 제2공급구는 상기 플라즈마 발생부의 일단에 연결되고,상기 제3공급구는 상기 제1연소실에 연결되는다단 연소 스크러버 장치
|
| 8 |
8
제6항 또는 제7항에 있어서,상기 제1연소실은 상기 제3공급구 측에서 외벽과 내벽을 가지는 2중 벽 구조로 형성되고,상기 제3공급구를 상기 내벽의 원주 방향을 따라 복수로 형성되고, 상기 내벽 내주면의 접선 방향으로 형성되는다단 연소 스크러버 장치
|
| 9 |
9
제6항 또는 제7항에 있어서,상기 제1축소부는연장부를 더 구비하여 상기 제2연소부에 연결되며,상기 연장부는 추가 산화제를 공급하는 제4공급구를 더 구비하는 다단 연소 스크러버 장치
|
| 10 |
10
제9항에 있어서,상기 제2연소부는상기 연장부에 제2확장부로 연결되고 출구에 제2축소부로 연결되는 제2연소실을 구비하는다단 연소 스크러버 장치
|
| 11 |
11
제10항에 있어서,상기 연장부는상기 제2연소실로 설정된 길이만큼 삽입되어 상기 제2연소부는상기 제1연소부 측에서 2중 벽 구조를 형성하는 다단 연소 스크러버 장치
|
| 12 |
12
제10항에 있어서,상기 제2연소부의 상기 출구에 연결되어, 물을 분사하여 과불화합물의 분해 과정에서 발생하는 불소(F)와 물의 수소(H)와의 반응으로 생성되는 불화수소(HF)를 냉각 및 포집하는 습식 냉각포집실을 더 포함하는 다단 연소 스크러버 장치
|
| 13 |
13
제12항에 있어서,상기 습식 냉각포집실은상기 출구에 제3확장부로 연결되어, 냉각 및 포집 공간을 형성하며,상기 제3확장부에서 물을 분사하는 노즐을 구비하는다단 연소 스크러버 장치
|
