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베이스판; 그리고 상기 베이스판의 일면에 일단부가 연결되고 돌출 형성되어 외력이 가해지면 굽힘 변형되는 복수의 기둥을 포함하고, 타깃기판에 전사될 복수의 소자가 점착된 전사필름과, 상기 복수의 소자가 상기 타깃기판에 전사되도록 가압력을 제공하는 가압부의 사이에 배치되고, 상기 가압부의 가압력이 제공되면 굽힘 변형되어 상기 복수의 소자와 상기 타깃기판 사이에 균일한 접촉압력이 제공되도록 하는 것을 특징으로 하는 소자 전사용 무강성 패드
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제1항에 있어서,상기 베이스판은 상기 전사필름에 밀착되고, 상기 기둥의 타단부는 상기 가압부에 대향되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 소자 전사용 무강성 패드
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제1항에 있어서, 상기 기둥의 타단부는 상기 전사필름에 밀착되고, 상기 베이스판은 상기 가압부에 대향되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 소자 전사용 무강성 패드
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베이스판; 그리고 상기 베이스판의 일면에 일단부가 연결되고 돌출 형성되어 외력이 가해지면 굽힘 변형되는 복수의 기둥을 포함하고, 타깃기판의 하부에 배치되고, 전사필름에 점착된 복수의 소자가 상기 타깃기판에 전사되도록 가압부의 가압력이 제공되면 굽힘 변형되어 상기 복수의 소자와 상기 타깃기판 사이에 균일한 접촉압력이 제공되도록 하는 것을 특징으로 하는 소자 전사용 무강성 패드
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제4항에 있어서,상기 베이스판은 상기 타깃기판에 밀착되는 것을 특징으로 하는 소자 전사용 무강성 패드
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제5항에 있어서, 상기 기둥의 타단부는 상기 타깃기판에 밀착되는 것을 특징으로 하는 소자 전사용 무강성 패드
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베이스판; 그리고 상기 베이스판의 일면에 일단부가 연결되고 돌출 형성되어 외력이 가해지면 굽힘 변형되는 복수의 기둥을 포함하고, 타깃기판에 전사될 복수의 소자가 점착된 전사필름 및 상기 복수의 소자가 상기 타깃기판에 전사되도록 가압력을 제공하는 가압부의 사이와, 상기 타깃기판의 하부에 각각 배치되며, 상기 가압부의 가압력이 제공되면 굽힘 변형되어 상기 복수의 소자와 상기 타깃기판 사이에 균일한 접촉압력이 제공되도록 하는 것을 특징으로 하는 소자 전사용 무강성 패드
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8
제1항, 제4항 및 제7항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 소자 전사용 무강성 패드는 2개가 적층되어 배치되는 것을 특징으로 하는 소자 전사용 무강성 패드
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9
제8항에 있어서, 적층되어 배치되는 각각의 상기 소자 전사용 무강성 패드는 모두 상기 베이스판 및 상기 기둥의 상대위치가 동일한 것을 특징으로 하는 소자 전사용 무강성 패드
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10
제8항에 있어서, 적층되어 배치되는 각각의 상기 소자 전사용 무강성 패드 중 어느 하나의 상기 소자 전사용 무강성 패드의 상기 베이스판 및 상기 기둥의 상대위치는 나머지 소자 전사용 무강성 패드의 베이스판 및 기둥과 서로 반대인 것을 특징으로 하는 소자 전사용 무강성 패드
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제1항, 제4항 및 제7항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 베이스판 및 상기 기둥은 실리콘 고무, 우레탄 고무, 불소 고무, EPDM(ethylene propylene diene rubber), NBR(Nitrile-butadiene rubber) 및 PMMA(polymethyl methacrylate) 중 적어도 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 소자 전사용 무강성 패드
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12
제1항, 제4항 및 제7항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 기둥은 축방향에 수직한 단면 형상이 비대칭으로 형성되어 상기 기둥의 굽힘 변형 방향이 제어되는 것을 특징으로 하는 소자 전사용 무강성 패드
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13
제1항, 제4항 및 제7항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 기둥은 복수개가 그룹핑되어 기둥 그룹을 형성하고, 각각의 상기 기둥 그룹에 속하는 기둥은 굽힘 변형 방향이 서로 대칭이 되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 소자 전사용 무강성 패드
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14
제1항, 제4항 및 제7항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 가압부는 롤러이고, 상기 가압부의 이동방향을 기준으로 상기 베이스판의 중앙에서부터 전단부분과 후단부분으로 갈수록 상기 기둥은 높은 기둥 밀도로 배치되는 것을 특징으로 하는 소자 전사용 무강성 패드
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15
제1항, 제4항 및 제7항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 기둥은 일방향으로 휘어져 편심된 형상으로 형성되고, 상기 기둥에 외력이 가해지면 상기 기둥은 초기에 휘어져 편심된 방향으로 굽힘 변형되는 것을 특징으로 하는 소자 전사용 무강성 패드
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16
제15항에 있어서, 상기 기둥은 상기 기둥의 일단부에서부터 축방향을 따라 형성되는 제1직선부와, 상기 제1직선부에 일단부가 연결되고 일방향으로 휘어져 편심되게 형성되는 굽힘부와, 상기 굽힘부의 타단부에 연결되고 축방향을 따라 형성되는 제2직선부를 가지는 것을 특징으로 하는 소자 전사용 무강성 패드
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17
제15항에 있어서, 상기 기둥은 상기 기둥의 일단부에서부터 일방향으로 경사지게 연장되는 제1연장부와, 상기 제1연장부와 일단부가 연결되고 상기 제1연장부와 반대방향으로 경사지게 연장되는 제2연장부를 가지는 것을 특징으로 하는 소자 전사용 무강성 패드
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18
제17항에 있어서, 상기 제2연장부의 타단부는 곡면 형성되는 것을 특징으로 하는 소자 전사용 무강성 패드
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제1항, 제4항 및 제7항 중 어느 하나의 항에 기재된 소자 전사용 무강성 패드의 제조방법으로서,3D 프린터 공정 또는 LIGA 공정을 이용하여 소자 전사용 무강성 패드에 대응되는 형상의 몰드를 제작하는 몰드 제작단계; 그리고 상기 몰드에 성형액을 투입하고 경화시켜 소자 전사용 무강성 패드를 성형하는 성형단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자 전사용 무강성 패드의 제조방법
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제19항에 있어서, 상기 성형액은 실리콘 고무, 우레탄 고무, 불소 고무, EPDM(ethylene propylene diene rubber) 및 NBR(Nitrile-butadiene rubber) 중 적어도 어느 하나의 소재이고, 상기 성형액은 실온 경화(Room Temperature Vulcanization) 또는 고온 경화(High Temperature Vulcanization)되는 것을 특징으로 하는 소자 전사용 무강성 패드 제조방법
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21
베이스판과, 상기 베이스판의 일면에 일단부가 연결되고 돌출 형성되어 외력이 가해지면 굽힘 변형되는 복수의 기둥을 가지는 소자 전사용 무강성 패드를 포함하고, 상기 소자 전사용 무강성 패드는 타깃기판에 전사될 복수의 소자가 점착된 전사필름과, 상기 복수의 소자가 상기 타깃기판에 전사되도록 가압력을 제공하는 가압부의 사이에 3개 이상이 적층되어 배치되고, 상기 가압부의 가압력이 제공되면 1차 굽힘 변형되어 상기 복수의 소자와 상기 타깃기판 사이에 균일한 제1접촉압력이 제공되도록 하고, 상기 가압부의 가압력이 증가하여 제공되면 2차 굽힘 변형되어 상기 복수의 소자와 상기 타깃기판 사이에 상기 제1접촉압력보다 큰 제2접촉압력이 균일하게 제공되도록 하는 것을 특징으로 하는 소자 전사용 무강성 패드군
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22
베이스판과, 상기 베이스판의 일면에 일단부가 연결되고 돌출 형성되어 외력이 가해지면 굽힘 변형되는 복수의 기둥을 가지는 소자 전사용 무강성 패드를 포함하고, 상기 소자 전사용 무강성 패드는 전사필름에 점착된 복수의 소자가 전사될 타깃기판의 하부에 3개 이상이 적층되어 배치되고, 상기 복수의 소자가 상기 타깃기판에 전사되도록 가압부의 가압력이 제공되면 1차 굽힘 변형되어 상기 복수의 소자와 상기 타깃기판 사이에 균일한 제1접촉압력이 제공되도록 하고, 상기 가압부의 가압력이 증가하여 제공되면 2차 굽힘 변형되어 상기 복수의 소자와 상기 타깃기판 사이에 상기 제1접촉압력보다 큰 제2접촉압력이 균일하게 제공되도록 하는 것을 특징으로 하는 소자 전사용 무강성 패드군
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