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일체형으로 제작된 유연 압전 음성센서

  • 기술번호 : KST2022000372
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 압전 물질층을 포함하는 음성센서로서, 상기 음성센서는 기판; 지지층; 금속층; 상기 금속층 상의 압전물질층 및 상기 압전물질층 상의 전극을 포함하며, 상기 기판은 상기 압전물질층, 전극 및 폴리머층을 포함하는 박막의 일부를 노출하는 방식으로 상기 음성센서의 소자층을 일체형으로 지지하는 것을 특징으로 하는 압전 물질층을 포함하는 음성센서가 제공된다.
Int. CL G01H 11/08 (2006.01.01)
CPC G01H 11/08(2013.01)
출원번호/일자 1020200080524 (2020.06.30)
출원인 한국과학기술원, 주식회사 프로닉스
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0001968 (2022.01.06) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.06.30)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
2 주식회사 프로닉스 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이건재 대전광역시 유성구
2 정영훈 대전광역시 유성구
3 한재현 대전광역시 유성구
4 왕희승 대전광역시 유성구
5 정민기 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 다해 대한민국 서울시 서초구 서운로**, ***호(서초동, 중앙로얄오피스텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2020.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2020-0679745-15
2 보정요구서
Request for Amendment
2020.07.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2020-0101315-34
3 직권정정안내서
Notification of Ex officio Correction
2020.07.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2020-0101316-80
4 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2020.07.15 수리 (Accepted) 1-1-2020-0733813-78
5 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2020.08.25 수리 (Accepted) 1-1-2020-0891432-47
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2021.04.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2021.07.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0212140-88
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.11.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0908874-83
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번호 청구항
1 1
압전 물질층을 포함하는 음성센서로서, 기판;상기 기판이 지지하는 압전물질층; 상기 압전물질층의 상부 또는 하부에 배치되는 전극; 및상기 압전물질층의 상부 또는 하부에 배치되는 폴리머층;을 포함하며, 상기 압전물질층과 상기 전극의 조합으로 정의되는 단위 채널은 복수개로 배치되어 분리되며, 상기 기판은 상기 압전물질층, 전극 및 폴리머층을 포함하는 박막의 일부를 식각을 이용하여 노출하는 방식으로 제작되어, 음성센서의 소자층을 일체형으로 지지하는 것을 특징으로 하는 압전 물질층을 포함하는 음성센서
2 2
제 1항에 있어서, 상기 기판은 실리콘 기판이며, 상기 실리콘 기판은 bosch 공정을 통해 백 에칭(back etching)되며 센서 영역 부 압전층을 포함하는 액티브 영역(active area)이 노출되는 것을 특징으로 하는 음성센서
3 3
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 압전물질층, 전극 및 폴리머층을 포함하는 박막의 노출부는 원 또는 다각형인 것을 특징으로 하는 음성센서
4 4
제 2항 또는 제 3항에 있어서, 상기 노출된 박막의 너비는 0
5 5
제 1항 내지 제 4항에 있어서, 상기 폴리머층의 모듈러스 범위는 0
6 6
제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 폴리머층의 모듈러스가 동일 층 내에서 연속적 또는 불연속적으로 일 방향으로 상이한 것을 특징으로 하는 음성센서
7 7
제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 단위 채널은 폭 또는 길이 중 적어도 하나 이상이 상이한 것을 특징으로 하는 음성센서
8 8
제 7항에 있어서, 상기 단위 채널의 길이는 모두 상이하며, 연속적 또는 불연속적으로 일 방향으로 길이가 감소하는 것을 특징으로 하는 음성센서
9 9
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 기판에는 산화물층을 포함하며, 상기 산화물층이 상기 노출된 박막의 손상을 방지하는 것을 특징으로 하는 압전 물질층을 포함하는 음성센서
10 10
제 9항에 있어서, 상기 산화물층은 에칭방식으로 상기 기판이 식각되어 두께가 제어되는 경우 에칭 멈춤층으로 동작하는 것을 특징으로 하는 압전 물질층을 포함하는 음성센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국과학기술원 산업체연구개발사업 유연 압전 기반 음성 센서
2 과학기술정보통신부 한국과학기술원 휴먼플러스융합연구개발챌린지사업 고성능 유연압전 기반 오감증강 스마트 청각/촉각 센서 개발