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플라즈마 발생부에서 발생되는 아킹을 예보 및 모니터링하는 아킹 예보 및 모니터링 시스템에 있어서,상기 플라즈마 발생부(1)의 하우징 혹은 플라즈마 발생부(1)에서 연장되는 접지부(2) 혹은 플라즈마 발생부(1)와 접지부(2) 사이에 연결되어 전압을 측정하고, 측정된 전압을 전압신호로 전송하는 프로브 헤드(100); 및상기 프로브 헤드(100)에서 전송된 전압신호를 이용하여 아킹 발생의 예보에 필요한 예보신호 및 모니터링에 필요한 모니터링신호를 출력하도록 구성되는 고속검출부(200);가 포함되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 장비 접지 전압 모니터링을 통한 아킹 예보 및 모니터링 시스템
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제1항에 있어서,상기 고속검출부(200)에는,상기 프로브 헤드(100)로부터 전송된 전압신호를 분기한 어느 하나의 데이터를 수집하여 트리거링하는 제1트리거(211)를 포함하며, 예보신호를 출력하는 예보모듈(210); 및상기 프로브 헤드(100)로부터 전송된 전압신호를 분기한 다른 하나의 데이터를 수집하여 트리거링하는 제2트리거(221) 및 상기 제2트리거(221)로부터 트리거링된 신호를 아킹 파형 신호처리하여 모니터링신호를 출력하는 신호처리부(222)가 포함되는 모니터링모듈(220);이 포함되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 장비 접지 전압 모니터링을 통한 아킹 예보 및 모니터링 시스템
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제2항에 있어서,상기 제1트리거(211)는,적어도 상기 제2트리거(221) 보다 고속으로 데이터를 수집하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 장비 접지 전압 모니터링을 통한 아킹 예보 및 모니터링 시스템
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제2항에 있어서,상기 예보모듈(210)에는,상기 프로브 헤드(100)로부터 전송된 전압신호를 제1디지털 신호로 변환시켜 전달하는 제1ADC(Analogue digital converter)(212); 및상기 제1ADC(212)에서 전달되는 제1디지털 신호를 저장하도록 구성되는 제1메모리(213);가 포함되고,상기 제1트리거(211)는,상기 제1ADC(212)로 입력되는 신호를 트리거링하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 장비 접지 전압 모니터링을 통한 아킹 예보 및 모니터링 시스템
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제4항에 있어서,상기 제1메모리(213)는,상기 제1ADC(212)에서 출력되는 제1디지털 신호에서 미리 설정된 특정시간(Δt) 동안 특정전압변화(ΔV)가 발생된 것으로 판단되는 경우 아킹 발생을 예보신호를 출력하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 장비 접지 전압 모니터링을 통한 아킹 예보 및 모니터링 시스템
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제2항에 있어서,상기 모니터링모듈(220)에는,상기 프로브 헤드(100)로부터 전송된 전압신호를 제2디지털 신호로 변환시켜 전달하는 제2ADC(223); 및상기 제2ADC(223)에서 전달되는 제2디지털 신호를 저장하도록 구성되는 제2메모리(224);가 포함되고,상기 제2트리거(221)는,상기 제2ADC(223)로 입력되는 신호를 트리거링하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 장비 접지 전압 모니터링을 통한 아킹 예보 및 모니터링 시스템
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제2항에 있어서,상기 고속검출부(200)에는,상기 프로브 헤드(100)에서 전송되는 전압신호를 증폭시켜 상기 예보모듈(210) 및 모니터링모듈(220)로 전달하도록 구성되는 증폭모듈(230)이 포함되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 장비 접지 전압 모니터링을 통한 아킹 예보 및 모니터링 시스템
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