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지지층; 및상기 지지층 상에 직접 배치된 패턴층으로서, 다수의 공극을 갖는 돌출 패턴을 포함하는 패턴층을 포함하되,상기 공극은 상기 돌출 패턴의 평면상 둘레 길이의 증가에 기여하고, 단위 면적당 상기 돌출 패턴이 형성하는 연마면의 둘레 길이는 1
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제1항에 있어서, 상기 패턴층의 강성은 상기 지지층의 강성 보다 큰 연마 패드
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제1항에 있어서,평면 시점에서, 어느 하나의 돌출 패턴의 상면 전체 면적에 대해 상기 공극이 차지하는 면적의 비율은 10% 내지 50%인 연마 패드
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제1항에 있어서어느 하나의 돌출 패턴의 둘레 길이는, 상기 어느 돌출 패턴 최소폭의 4배 내지 50배인 연마 패드
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제1항에 있어서단위 면적당 상기 돌출 패턴이 형성하는 연마면의 둘레 길이는 어느 돌출 패턴의 최소폭의 역수의 0
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제1항에 있어서어느 돌출 패턴의 둘레 길이는, 상기 제1 공극이 존재하지 않았을 때의 둘레 길이에 비해 1
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제1항에 있어서상기 돌출 패턴의 최소 폭은 20㎛ 이상이고,상기 공극의 평균 직경은 10㎛ 내지 150㎛ 범위에 있는 연마 패드
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8
제1항에 있어서평면 시점에서, 단위 면적당, 상기 공극이 차지하는 면적은 0
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제8항에 있어서평면 시점에서, 단위 면적당, 상기 돌출 패턴의 실연마 면적은 5% 내지 30%인 연마 패드
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제1항에 있어서상기 공극은 상기 돌출 패턴의 측면 상에 위치하여 돌출 패턴의 측면 홈을 형성하고 상기 측면 면적 증가에 기여하며 연마 공정시 슬러리의 유동에 영향을 주는 제3 공극을 포함하되, 상기 제3 공극의 평균 직경은 20㎛ 내지 150㎛ 범위에 있는 연마 패드
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제1항에 있어서상기 지지층의 공극률은 상기 패턴층의 공극률과 상이한 연마 패드
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회전하도록 구성된 연마 플레이튼; 및상기 연마 플레이튼 상에 배치되는 제1항에 따른 연마 패드를 포함하는 연마 장치
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연마에 필요한 접촉 압력과 돌출 패턴의 평면상 형상과 길이 요소를 결정하는 단계;상기 접촉 압력을 고려하여 연마 대상 기판과 접촉이 이루어지는 상기 돌출 패턴의 연마 면적을 결정하는 단계;상기 접촉 압력 및 결정된 상기 연마 면적을 고려하여, 상기 돌출 패턴의 단위 면적당 둘레 길이를 결정하는 단계; 및상기 돌출 패턴을 포함하는 패턴층을 제조하는 단계를 포함하는 연마 패드의 제조 방법
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제13항에 있어서,상기 패턴층은 다수의 공극을 갖는 돌출 패턴을 포함하고, 상기 공극은 상기 돌출 패턴의 둘레 길이 증가에 기여하며,상기 패턴층을 제조하는 단계에서, 제조된 상기 돌출 패턴의 길이 요소는 결정된 길이 요소 보다 큰 연마 패드의 제조 방법
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제13항에 있어서,상기 패턴층을 제조하는 단계 전에, 돌출 패턴이 내포하는 공극의 크기를 결정하는 단계를 더 포함하는 연마 패드의 제조 방법
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