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지지층; 및상기 지지층의 일면 상에 배치된 패턴층으로서, 상기 지지층 상에서 서로 이격된 복수의 돌출 패턴을 포함하고, 상기 지지층의 강성(rigidity) 보다 큰 강성을 갖는 패턴층을 포함하는 연마 패드
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제1항에 있어서,평면 시점에서, 상기 돌출 패턴이 차지하는 연마 면적은 전체 면적에 대해 약 1
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제1항에 있어서,평면 시점의 단위 면적(1mm2)에서, 상기 돌출 패턴의 평면상 둘레가 형성하는 단위 면적당 둘레 길이는 약 1
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제1항에 있어서,상기 돌출 패턴은,수직한 측면을 갖는 제1 부분, 및상기 제1 부분과 상기 지지층 사이에 배치되고, 경사진 측벽을 갖는 제2 부분을 포함하되,상기 제1 부분의 높이는 약 0
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제1항에 있어서,상기 돌출 패턴은 평면상 규칙적으로 반복 배열되며, 적어도 2개의 방향을 따라 반복 배열된 연마 패드
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제5항에 있어서,규칙적으로 배열된 복수의 돌출 패턴에 있어서, 어느 돌출 패턴은 서로 동일하거나 상이한 형상의 복수의 서브 패턴을 포함하여 이루어지고,규칙적으로 배열되어 하나의 돌출 패턴을 형성하는 복수의 서브 패턴에 있어서, 어느 서브 패턴은 대략 '+'자 형상이고, 상기 서브 패턴은 서로 이격된 연마 패드
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제5항에 있어서,규칙적으로 배열된 복수의 돌출 패턴에 있어서, 어느 돌출 패턴은 서로 동일하거나 상이한 형상의 복수의 서브 패턴을 포함하여 이루어지고,하나의 돌출 패턴을 형성하는 복수의 서브 패턴은 규칙적으로 배열되고, 상기 복수의 돌출 패턴의 반복 배열 방향은 상기 복수의 서브 패턴의 반복 배열 방향과 교차하는 연마 패드
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제1항에 있어서,상기 연마 패드의 일면은 적어도 상기 패턴층에 형성된 트렌치를 가지고,상기 트렌치는, 원형의 패드 중심으로부터 방사상으로 연장된 복수의 제1 트렌치로서, 적어도 제1 방향 및 상기 제1 방향과 대략 수직한 제2 방향으로 연장된 제1 트렌치를 포함하는 연마 패드
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제8항에 있어서,상기 제1 트렌치의 최대 깊이는 상기 돌출 패턴의 최대 높이 보다 큰 연마 패드
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제8항에 있어서,상기 트렌치는, 상기 원형의 패드 중심을 기준으로 동심원 배열된 복수의 제2 트렌치를 더 포함하되,상기 제2 트렌치의 폭은 상기 제1 트렌치의 폭 보다 작은 연마 패드
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제10항에 있어서,상기 트렌치는, 상기 제1 트렌치 및 상기 제2 트렌치와 교차하도록 연장되고, 상기 연마 패드의 회전 방향의 접선 방향과 교차하도록 연장된 복수의 제3 트렌치를 더 포함하되,상기 제3 트렌치의 폭은 상기 제2 트렌치의 폭 보다 작은 연마 패드
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제8항에 있어서,상기 돌출 패턴은 평면상 규칙적으로 반복 배열되고,상기 돌출 패턴의 반복 배열 방향은 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 연마 패드
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제8항에 있어서,규칙적으로 배열된 복수의 돌출 패턴에 있어서, 어느 돌출 패턴은 서로 동일하거나 상이한 형상의 복수의 서브 패턴을 포함하여 이루어지고,하나의 돌출 패턴을 형성하는 복수의 서브 패턴은 규칙적으로 배열되고,상기 서브 패턴의 반복 배열 방향은 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 연마 패드
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제1항에 있어서,상기 패턴층은,서로 이격된 복수의 베이스, 및상기 베이스의 일면 상에서 서로 이격 배치된 상기 복수의 돌출 패턴을 포함하되,상기 베이스 간의 이격 공간은 트렌치를 형성하고, 상기 이격 공간을 통해 상기 지지층의 상기 일면이 적어도 부분적으로 노출되는 연마 패드
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제1항에 있어서,상기 패턴층은,베이스, 및상기 베이스의 일면 상에서 서로 이격 배치된 상기 복수의 돌출 패턴을 포함하되,상기 베이스의 상기 일면은 트렌치를 가지고,상기 베이스의 최대 두께는 약 1
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제1항에 있어서,상기 지지층의 상기 일면은 트렌치를 가지고,상기 지지층의 트렌치는 상기 돌출 패턴과 비중첩하며,상기 지지층의 트렌치의 최대 깊이는 상기 지지층의 최대 두께의 약 50% 이하인 연마 패드
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제16항에 있어서,상기 패턴층은,서로 이격된 복수의 베이스, 및상기 베이스의 일면 상에서 서로 이격 배치된 상기 복수의 돌출 패턴을 포함하되,상기 베이스 간의 이격 공간은 트렌치를 형성하고,상기 지지층의 트렌치는 상기 베이스의 트렌치와 연결되는 연마 패드
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제1항에 있어서,상기 지지층과 상기 패턴층은 서로 상이한 재질로 이루어지고,상기 지지층과 상기 패턴층 사이에 개재된 접합층을 더 포함하는 연마 패드
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회전하도록 구성된 연마 플레이튼; 및상기 연마 플레이튼 상에 배치된 연마 패드로서, 지지층, 및 상기 지지층의 일면 상에 배치된 패턴층으로서, 상기 지지층 상에서 서로 이격된 복수의 돌출 패턴을 포함하고 상기 지지층의 강성 보다 큰 강성을 갖는 패턴층을 포함하는 연마 패드를 포함하는 연마 장치
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지지층을 권출롤로부터 권출하는 단계;상기 지지층의 일면 상에 패턴층을 배치하는 단계로서, 서로 이격된 복수의 돌출 패턴을 포함하는 패턴층을 배치하는 단계; 및적어도 상기 패턴층에 트렌치를 형성하는 단계로서, 상기 돌출 패턴 중 적어도 일부가 제거되도록 트렌치를 형성하는 단계를 포함하는 연마 패드의 제조 방법
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