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지지층; 및 상기 지지층의 일면 상에 배치된 패턴층으로서, 베이스 및 상기 베이스 상에 배치된 복수의 돌출 패턴을 포함하는 패턴층을 포함하되,상기 베이스는 상면에 노출된 복수의 포어를 가지고, 소정의 베이스 검사 면적에 대해, 상기 베이스의 포어가 차지하는 면적의 비율은 10% 내지 40%인 연마 패드
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제1항에 있어서,상기 지지층은 상기 일면에 노출된 복수의 포어를 가지고, 상기 베이스는 적어도 부분적으로 상기 지지층의 포어에 충진된 연마 패드
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제1항에 있어서,상기 지지층은 다공성을 가지되, 상기 지지층의 공극률은 상기 패턴층의 공극률 보다 큰 연마 패드
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제1항에 있어서,상기 베이스는 트렌치를 가지되, 상기 트렌치의 내측벽 및 기저면은 각각 노출된 포어를 갖는 연마 패드
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제4항에 있어서,소정의 검사 면적에 대하여, 상기 베이스의 트렌치의 기저면의 표면 왜도는, 상기 베이스의 상면의 표면 왜도 보다 큰 연마 패드
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제1항에 있어서,상기 베이스는 상기 지지층의 상기 일면을 적어도 부분적으로 노출시키는 제1 트렌치를 가지되,소정의 검사 면적에 대하여, 상기 노출된 지지층의 일면의 표면 왜도는, 상기 제1 트렌치의 내측벽의 표면 왜도 보다 큰 연마 패드
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제6항에 있어서,상기 지지층은 상기 베이스의 트렌치와 연결되는 제2 트렌치를 가지되,상기 제1 트렌치의 내측벽의 표면 조도는, 상기 제2 트렌치의 내측벽의 표면 조도 보다 작은 연마 패드
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제1항에 있어서,상기 돌출 패턴의 상면은 평면상 둘레 길이의 증가에 기여하는 포어들을 가지고, 상기 돌출 패턴이 형성하는 연마면의 둘레 길이는 8
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지지층 상에 배치된 패턴층을 형성하는 단계로서, 베이스 상에 서로 이격된 복수의 돌출 패턴을 포함하는 패턴층을 형성하는 단계를 포함하되, 소정의 베이스 검사 면적에 대해, 상기 베이스의 포어가 차지하는 면적의 비율은 10% 내지 40%인 연마 패드의 제조 방법
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제9항에 있어서,상기 패턴층을 형성하는 단계는, 패턴 몰드의 함몰 패턴에 경화성 조성물을 충진하는 단계, 및상기 함몰 패턴 내에서 상기 경화성 조성물을 경화시켜 다공성 돌출 패턴을 형성하는 단계를 포함하되,상기 경화성 조성물을 충진하는 단계 및 경화하는 단계는 상대습도 40% 내지 70%의 조건에서 수행되는 연마 패드의 제조 방법
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제10항에 있어서,상기 지지층은 표면에 노출된 포어를 가지고, 상기 경화성 조성물은 적어도 부분적으로 상기 지지층의 포어를 충진하며,상기 지지층의 공극률은 상기 다공성 돌출 패턴의 공극률 보다 큰 연마 패드의 제조 방법
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