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지지층; 및 상기 지지층 상에 배치된 패턴층으로서, 다수의 포어를 갖는 돌출 패턴을 포함하는 패턴층을 포함하되, 상기 돌출 패턴은 측면에 노출된 포어를 가지고,상기 돌출 패턴의 수직 높이에 대해 상기 측면 포어들이 차지하는 높이의 합의 비율은 10% 내지 50% 범위에 있는 연마 패드
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제1항에 있어서,상기 포어의 평균 직경은 상기 돌출 패턴의 수직 높이의 20% 내지 40% 범위에 있는 연마 패드
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제1항에 있어서,상기 패턴층은 베이스 및 베이스 상에 배치된 상기 복수의 돌출 패턴을 포함하고,상기 베이스 상면의 표면 왜도(Rsk_base)에서 상기 돌출 패턴 표면의 표면 왜도(Rsk_pattern)를 뺀 값이 0 보다 큰 연마 패드
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제1항에 있어서,상기 패턴층은 베이스 및 베이스 상에 배치된 상기 복수의 돌출 패턴을 포함하고,상기 베이스 상면의 포어의 배열 밀도는, 상기 돌출 패턴 표면의 포어의 배열 밀도 보다 작은 연마 패드
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제1항에 있어서,상기 패턴층은 베이스 및 베이스 상에 배치된 상기 복수의 돌출 패턴을 포함하고,상기 베이스는 적어도 부분적으로 함몰된 제1 트렌치를 갖는 연마 패드
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제5항에 있어서,상기 베이스는 상기 제1 트렌치의 내측벽 상에 노출된 포어를 가지고,상기 제1 트렌치의 내측벽 상에 노출된 포어의 평균 직경은 30㎛ 내지 150㎛ 범위에 있는 연마 패드
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제6항에 있어서,상기 제1 트렌치는 상기 베이스를 관통하고, 상기 제1 트렌치에 의해 상기 지지층의 상면이 적어도 부분적으로 노출되는 연마 패드
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제5항에 있어서,상기 지지층은 적어도 부분적으로 함몰된 제2 트렌치로서, 상기 제1 트렌치와 연결된 제2 트렌치를 갖는 연마 패드
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제8항에 있어서,상기 베이스는 상기 제1 트렌치의 내측벽 상에 노출된 포어를 가지고,상기 지지층은 상기 제2 트렌치의 내측벽 상에 노출된 포어를 가지되,상기 제2 트렌치의 내측벽의 포어의 평균 직경은, 상기 제1 트렌치의 내측벽의 포어의 평균 직경 보다 큰 연마 패드
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제5항에 있어서,상기 제1 트렌치는, 원형의 연마 패드 중심으로부터 방사상으로 연장된 복수의 방사 트렌치, 및 상기 중심을 기준으로 동심원 형상을 가지고 복수의 방사 트렌치를 연결하는 동심원 트렌치를 포함하되,상기 방사 트렌치의 폭은 상기 동심원 트렌치의 폭 보다 큰 연마 패드
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제5항에 있어서,상기 제1 트렌치는 상기 베이스를 관통하지 않고,상기 제1 트렌치의 기저면의 표면 조도는, 제1 트렌치의 내측벽의 표면 조도 보다 작은 연마 패드
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다공성을 갖는 패턴층을 준비하는 단계; 및레이저를 이용해 상기 패턴층을 부분적으로 제거하는 단계로서, 베이스 및 베이스 상에 배치된 복수의 돌출 패턴을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 돌출 패턴의 측면에 노출된 포어를 갖도록 패턴층을 부분적으로 제거하는 단계를 포함하는 연마 패드의 제조 방법
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제12항에 있어서,상기 패턴층을 부분적으로 제거하는 단계는, 상기 베이스에 트렌치를 형성하는 단계로서, 상기 제1 트렌치의 내측벽에 노출된 포어를 갖도록 트렌치를 형성하는 단계를 더 포함하는 연마 패드의 제조 방법
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제12항에 있어서,상기 패턴층을 부분적으로 제거하는 단계는, 상기 베이스에 트렌치를 형성하는 단계로서, 상기 베이스를 관통하는 트렌치를 형성하는 단계를 더 포함하는 연마 패드의 제조 방법
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제14항에 있어서,상기 패턴층을 지지층 상에 배치하는 단계; 및상기 베이스를 관통하는 트렌치를 통해 상기 지지층을 적어도 부분적으로 제거하는 단계를 더 포함하는 연마 패드의 제조 방법
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