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유무기 할라이드 페로브스카이트를 이용한 문턱전압 스위치 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2022001022
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 하부 전극 상에 형성된 문턱전압 스위치층; 및 상기 문턱전압 스위치층 상에 형성된 상부 전극을 포함하고, 상기 문턱전압 스위치층은 페로브스카이트 결정구조를 가지는 유기 금속 할라이드; 및 상기 페로브스카이트 결정 구조에 능동원소를 포함하는 것인, 문턱전압 스위치 소자와 이의 제조방법을 제공한다. 본 발명의 문턱전압 스위치 소자는 저가 공정인 용액 공정을 통해 제조되는 것으로 기존 반도체 산업에서 상용화된 기체 공정, 도핑 공정 등의 고가 공정에 비해 가격경쟁력을 갖고, 유무기 할라이드 페로브스카이트를 이용하여 기존의 물질들의 문제점인 높은 문턱전압, 높은 공정 온도 등의 문제점을 해결할 수 있다.
Int. CL H01L 45/00 (2006.01.01)
CPC H01L 45/1608(2013.01) H01L 45/147(2013.01)
출원번호/일자 1020200089973 (2020.07.21)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0011287 (2022.01.28) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.07.21)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장호원 서울특별시 강남구
2 임인혁 서울특별시 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 다해 대한민국 서울시 서초구 서운로**, ***호(서초동, 중앙로얄오피스텔)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2020.07.21 수리 (Accepted) 1-1-2020-0756868-51
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2021.03.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2021.05.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0132521-15
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.07.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0597829-21
6 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
2021.07.29 수리 (Accepted) 4-1-2021-5205564-29
7 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
2021.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2021-1109842-35
8 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
2021.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2021-1242522-72
9 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
2021.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2021-1380236-11
10 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
2021.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2021-1516581-59
11 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period
2021.12.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2021-0207367-95
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번호 청구항
1 1
하부 전극 상에 형성된 문턱전압 스위치층; 및 상기 문턱전압 스위치층 상에 형성된 상부 전극을 포함하고, 상기 문턱전압 스위치층은 페로브스카이트 결정구조를 가지는 유기 금속 할라이드; 및 상기 페로브스카이트 결정 구조에 능동원소를 포함하는 것인, 문턱전압 스위치 소자
2 2
제1항에 있어서, 상기 능동원소는 은(Ag) 및 구리(Cu)으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는, 문턱전압 스위치 소자
3 3
제1항에 있어서,상기 유기 금속 할라이드는 하기 화학식 1로 표시되는 것을 특징으로 하는, 문턱전압 스위치 소자:[화학식 1]ABX3 (상기 화학식 1 에서, A는 CH3NH3+또는 (NH2)2CH+이고,B는 Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Ga, In, Ti, Ge, Cd, Hf, Sn, Bi, 및 Pb로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 금속 양이온을 포함하는 것이며,X는 할라이드 음이온 또는 칼코게나이드 음이온을 포함하는 것임)
4 4
제3항에 있어서,상기 X는 F, Cl, Br, I, S 및 Se으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 원소인 것을 특징으로 하는, 문턱전압 스위치 소자
5 5
하부 전극 상에 문턱전압 스위치층을 형성하는 단계; 및 상기 문턱전압 스위치층 상에 상부 전극을 형성하는 단계;를 포함하고, 상기 문턱전압 스위치층은 유기 금속 할라이드 용액 및 금속아이오다이드 용액을 포함하는 혼합 용액을 코팅하여 형성된 것인, 문턱전압 스위치 소자의 제조 방법
6 6
제5항에 있어서,상기 금속아이오다이드 용액은 실버아이오다이드 용액 또는 구리아이오다이드 용액인 것을 특징으로 하는, 문턱전압 스위치 소자의 제조 방법
7 7
제5항에 있어서,상기 혼합 용액은 금속아이오다이드 용액을 1 내지 10 mol%로 포함하는 것을 특징으로 하는, 문턱전압 스위치 소자의 제조 방법
8 8
제5항에 있어서,상기 유기 금속 할라이드는 하기 화학식 1로 표시되는 것을 특징으로 하는, 문턱전압 스위치 소자의 제조 방법:[화학식 1]ABX3 (상기 화학식 1 에서, A는 CH3NH3+또는 (NH2)2CH+이고,B는 Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Ga, In, Ti, Ge, Cd, Hf, Sn, Bi, 및 Pb로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 금속 양이온을 포함하는 것이며,X는 할라이드 음이온 또는 칼코게나이드 음이온을 포함하는 것임)
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제8항에 있어서,상기 X는 F, Cl, Br, I, S 및 Se으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 원소인 것을 특징으로 하는, 문턱전압 스위치 소자의 제조 방법
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1 과학기술정보통신부 서울대학교 원천기술개발사업 분자운동성 이온결정 소재 기반 멤리스터 제작 및 신뢰성 향상 기술 개발