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황화수소 가스와의 접촉에 의해 절연체에서 도체로 전기적 특성이 변화되는 구리 박막을 감지층으로 포함하는 황화수소 검출 센서
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제 1항에 있어서,상기 절연체의 전기적 특성은 하기 식 1을 만족하는 황화수소 검출센서
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제 1항에 있어서,상기 도체의 전기적 특성은 하기 식2 및 식 3을 만족하는 황화수소 검출 센서
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황화수소 가스와의 접촉에 의해 하기 식 4를 만족하는 전기적 특성 변화를 갖는 구리 박막을 감지층으로 포함하는 황화수소 검출 센서
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5
9nm 이하의 두께를 갖는 구리 박막을 황화수소 가스의 감지층으로 포함하는 황화수소 검출 센서
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제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 구리 박막은 물리적 증착에 의해 형성된 황화수소 검출 센서
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7
제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 구리 박막은 결정질 박막, 비정질 박막 또는 비정질과 결정질이 혼재하는 복합막인 황화수소 검출 센서
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8
제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 구리 박막의 두께는 0
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9
제 4항에 있어서,상기 구리 박막의 두께는 7 내지 9nm인 황화수소 검출 센서
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10
제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 황화수소 검출 센서는 상기 구리 박막과 접하되, 서로 이격 위치하는 전극을 포함하는 황화수소 검출 센서
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제 10항에 있어서,상기 전극은 인터디지테이트(interdigitate) 구조인 황화수소 검출 센서
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제 10항에 있어서,상기 전극의 물질은 상기 구리를 포함하는 황화수소 검출 센서
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제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 황화수소 검출 센서는 황화수소 가스 선택성을 갖는 황화수소 검출 센서
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제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 황화수소 검출 센서는 상온에서 황화수소를 검출하는 상온 동작용인 황화수소 검출 센서
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제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 감지층을 지지하는 지지부재를 더 포함하는 황화수소 검출 센서
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제 15항에 있어서,상기 지지부재는 플렉시블 기재인 황화수소 검출 센서
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제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 따른 황화수소 검출 센서를 이용하여 황화수소를 검출하는 방법
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9nm 이하의 두께를 갖는 구리 박막을 감지층으로 포함하며, 황화수소 가스와의 접촉에 의해 색상이 변화되는 황화수소 가스 지시계(indicator)
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9nm 이하의 두께를 가지며, 황화수소 가스를 검출하기 위한 황화수소 가스 검출용 구리 박막
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구리 타겟을 이용한 물리적 증착 공정으로 9nm 이하의 두께를 갖는 구리 박막을 형성하는 단계;를 포함하는 황화수소 가스 검출용 구리 박막의 제조방법
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