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일측이 개구되고 타측이 폐쇄된 채널이 복수개 형성된 다공성 무기 어레이를 형성하는 단계; 및상기 어레이의 항복전압 이상의 전압을 인가하여 상기 채널의 폐쇄부를 관통하는 포어를 형성하는 단계;를 포함하고,상기 포어를 형성하는 단계는상기 채널의 개구부 측에 제1전해질과 제1전극을 위치시키고, 상기 채널의 폐쇄부 측에 제2전해질과 제2전극을 위치시킨 후,제1전극을 음극, 제2전극을 양극으로 하여 상기 다공성무기어레이의 항복전압 이상의 전압을 인가하는 단계를 포함하는 다공성 무기 나노 어레이의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 포어는 20㎚ 이하의 직경인 다공성 무기 나노 어레이의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 전압은 상기 항복전압(Vb)을 기준으로, 1Vb 내지 2Vb인 다공성 무기 나노 어레이의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 전압 인가 시간은 10s 내지 5min인 다공성 무기 나노 어레이의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제1전해질은 유기산, 상기 제2전해질은 무기산을 각각 포함하는 다공성 무기 나노 어레이의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 포어를 형성한 후,상기 양극과 음극에 제2전압을 인가하여 상기 채널의 벽을 관통하는 횡공을 형성하는 단계;를 더 포함하는 다공성 무기 나노 어레이의 제조방법
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제 7항에 있어서,상기 제2전압인가 시간은 20min 내지 50min인 나노 다공성 무기 나노 어레이의 제조방법
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일측이 개구되고 타측이 폐쇄된 채널; 상기 채널의 폐쇄부에 상기 채널보다 작은 직경의 개구를 형성하며 상기 채널과 연통된 포어; 및상기 채널의 벽면을 관통하는 횡공;을 포함하는 다공성 무기 나노 어레이
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제 9항에 있어서,상기 포어의 직경은 20㎚ 이하인 다공성 무기 나노 어레이
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제 9항에 있어서,상기 포어는 상기 채널의 개구부에서 상기 채널의 폐쇄부로 갈수록 직경이 작아지는 다공성 무기 나노 어레이
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