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평면형 플라즈마 진단 장치가 매립된 플라즈마 공정 장치에 있어서, 상기 평면형 플라즈마 진단 장치는 주파수가 가변되는 마이크로웨이브를 플라즈마에 인가하는 송신 안테나; 상기 플라즈마로부터 상기 마이크로웨이브를 수신하는 수신 안테나; 상기 송신 안테나와 상기 수신 안테나가 서로 절연되도록 감싸는 몸체부; 를 포함하고, 상기 송신 안테나의 마이크로웨이브를 인가하는 상부면과 상기 수신 안테나의 마이크로웨이브를 수신하는 상부면이 평면형이고, 상기 송신 안테나의 상부면과 상기 수신 안테나의 상부면이 서로 수평하게 인접하여 서로 대향하고, 각각의 상기 상부면은 대향하는 방향으로 일측 단부에서 타측 단부까지의 길이가 대향하는 방향에 대하여 수직인 방향으로 일측 단부에서 타측 단부까지의 길이보다 짧게 형성되며, 상기 평면형 플라즈마 진단 장치는 가이드링에 적어도 하나가 매립되는 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치가 매립된 플라즈마 공정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 평면형 플라즈마 진단 장치는 상기 가이드링에 바깥쪽을 향하도록 매립되는 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치가 매립된 플라즈마 공정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 평면형 플라즈마 진단 장치는 상기 가이드링에 안쪽을 향하도록 매립되는 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치가 매립된 플라즈마 공정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 평면형 플라즈마 진단 장치는 상기 가이드링에 상부를 향하도록 매립되는 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치가 매립된 플라즈마 공정 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 평면형 플라즈마 진단 장치는 상기 가이드링에 다중으로 매립되는 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치가 매립된 플라즈마 공정 장치
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제 5 항에 있어서,상기 가이드링에 다중으로 매립된 상기 복수개의 평면형 플라즈마 진단 장치에 병렬로 연결되는 스펙트럼 분석기를 더 포함하고,상기 스펙트럼 분석기는 상기 복수개의 평면형 플라즈마 진단 장치에 연결되는 배선의 길이가 서로 다른 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치가 매립된 플라즈마 공정 장치
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제 5 항에 있어서,상기 가이드링에 다중으로 매립된 상기 복수개의 평면형 플라즈마 진단 장치에 연결되는 스위칭 회로와 스펙트럼 분석기를 더 포함하고,상기 스위칭 회로는 상기 복수개의 평면형 플라즈마 진단 장치를 순차적으로 동작하도록 하여 상기 스펙트럼 분석기에 연결되도록 하는 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치가 매립된 플라즈마 공정 장치
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