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샘플을 수용하는 샘플 스테이지;상기 샘플 상에 배치되고, 탐침을 포함하는 캔틸레버;상기 캔틸레버에 레이저 빔을 주사하는 레이저;상기 캔틸레버에서 반사된 레이저 빔을 입력받는 포토 디텍터;상기 샘플 및 상기 캔틸레버를 촬영하는 제1 카메라;상기 캔틸레버 및 상기 레이저로부터 주사된 레이저 스팟을 촬영하는 제2 카메라; 및상기 제1 카메라, 제2 카메라 및 포토 디텍터와 전기적으로 연결되고, 상기 제1 카메라, 제2 카메라 및 포토 디텍터로부터 획득한 데이터를 처리하는 프로세서를 포함하는 원자 힘 현미경
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2
제1항에 있어서,상기 프로세서는, 상기 제1 카메라를 이용하여 캔틸레버 및 샘플의 이미지 데이터를 획득하고, 상기 이미지 데이터로부터 캔틸레버 및 샘플의 위치 정보를 생성하는 원자 힘 현미경
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3
제1항에 있어서,상기 프로세서는,상기 캔틸레버 및 샘플의 위치 정보 및 기 저장된 위치 정보를 이용하여, 상기 캔틸레버 및 샘플의 보정된 위치 정보를 생성하는 원자 힘 현미경
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| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 프로세서는, 상기 캔틸레버 및 샘플의 보정된 위치 정보를 이용하여 컨트롤러를 통해 상기 샘플 스테이지의 위치를 조정하는 원자 힘 현미경
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5
제1항에 있어서,상기 프로세서는, 상기 제2 카메라를 이용하여 캔틸레버 및 레이저 스팟의 이미지 데이터를 획득하고, 상기 이미지 데이터로부터 캔틸레버 및 레이저 스팟의 위치 정보를 생성하는 원자 힘 현미경
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| 6 |
6
제1항에 있어서,상기 프로세서는,상기 캔틸레버 및 레이저 스팟의 위치 정보 및 기 저장된 위치 정보를 이용하여, 상기 캔틸레버 및 레이저 스팟의 보정된 위치 정보를 생성하는 원자 힘 현미경
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7
제1항에 있어서,상기 프로세서는, 상기 캔틸레버 및 레이저 스팟의 보정된 위치 정보를 이용하여 컨트롤러를 통해 상기 레이저의 위치를 조정하는 원자 힘 현미경
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| 8 |
8
제1항에 있어서,상기 프로세서는, 상기 포토 디텍터를 이용하여 포토 디텍터에 입사된 레이저 빔의 위치 데이터를 획득하고, 상기 위치 데이터 및 기 저장된 위치 데이터를 이용하여, 레이저 빔의 보정된 위치 정보를 생성하는 원자 힘 현미경
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9
제1항에 있어서,상기 프로세서는,상기 레이저 빔의 보정된 위치 정보를 이용하여 컨트롤러를 통해 상기 포토 디텍터의 위치를 조정하는 원자 힘 현미경
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| 10 |
10
제1 카메라를 통해 캔틸레버 및 샘플의 위치를 감지하는 단계;상기 샘플의 위치를 조정하는 단계;제2 카메라를 통해 레이저 및 캔틸레버의 위치를 감지하는 단계;상기 레이저를 정렬하는 단계;포토 디텍터를 통해 레이저 빔의 위치를 감지하는 단계;상기 포토 디텍터의 위치를 정렬하는 단계를 포함하는 원자 힘 현미경의 동작 방법
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11
제1 카메라를 이용하여 캔틸레버 및 샘플의 이미지 데이터를 획득하는 동작;상기 캔틸레버 및 샘플의 이미지 데이터로부터 캔틸레버 및 샘플의 위치 정보를 생성하는 동작;상기 캔틸레버 및 샘플의 위치 정보 및 기 저장된 위치 정보를 이용하여, 상기 캔틸레버 및 샘플의 보정된 위치 정보를 생성하는 동작; 및상기 캔틸레버 및 샘플의 보정된 위치 정보를 이용하여 컨트롤러를 통해 상기 샘플 스테이지의 위치를 조정하는 동작을 포함하는 원자 힘 현미경의 동작 방법
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제2 카메라를 이용하여 캔틸레버 및 레이저 스팟의 이미지 데이터를 획득하는 동작;상기 캔틸레버 및 레이저 스팟의 이미지 데이터로부터 캔틸레버 및 레이저 스팟의 위치 정보를 생성하는 동작;상기 캔틸레버 및 레이저 스팟의 위치 정보 및 기 저장된 위치 정보를 이용하여, 상기 캔틸레버 및 레이저 스팟의 보정된 위치 정보를 생성하는 동작;상기 캔틸레버 및 레이저 스팟의 보정된 위치 정보를 이용하여 컨트롤러를 통해 상기 레이저의 위치를 조정하는 동작을 포함하는 원자 힘 현미경의 동작 방법
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포토 디텍터를 이용하여 포토 디텍터에 입사된 레이저 빔의 위치 데이터를 획득하는 동작;상기 레이저 빔의 위치 데이터 및 기 저장된 위치 데이터를 이용하여, 레이저 빔의 보정된 위치 정보를 생성하는 동작;상기 레이저 빔의 보정된 위치 정보를 이용하여 컨트롤러를 통해 상기 포토 디텍터의 위치를 조정하는 동작을 포함하는 원자 힘 현미경의 동작 방법
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