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내부에 셀이 배치되는 하우징;상기 하우징 내에 배치되어 상기 셀을 고정하는 셀 고정부; 및상기 하우징의 외부에 배치되어 상기 셀의 내부에 세척액을 공급하는 세척액 공급부를 포함하는 원자증기셀 내부를 세척하기 위한 세척장치
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제1항에 있어서,상기 세척액 공급부는 상기 세척액이 저장된 세척액 저장부;상기 세척액을 상기 하우징 내부로 공급하는 제1 유로; 및상기 제1 유로와 연통되어 상기 세척액을 상기 셀의 내부로 공급하도록 소정의 지름을 가지는 구멍이 형성된 제2 유로을 포함하는 원자증기셀 내부를 세척하기 위한 세척 장치
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제2항에 있어서, 상기 셀은 내부가 빈 다각 박스 형상으로 형성되고, 상기 셀 상부에 긴 관이 형성되고, 상기 제2 유로는 상기 관을 통해 상기 셀의 내부에 배치되는 원자증기셀 내부를 세척하기 위한 세척 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 유로에는 상기 제1 유로와 연통되는 제3 유로와, 상기 제3 유로를 통해 비활성 가스를 공급하는 가스 공급부를 더 포함하는 원자증기셀 내부를 세척하기 위한 세척 장치
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제4항에 있어서,상기 하우징의 일측에는 상기 비활성 가스를 배출시키기 위한 배출구를 더 포함하는 원자증기셀 내부를 세척하기 위한 세척 장치
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제1항에 있어서,상기 하우징의 일측에는 사용이 완료된 세척액을 저장하는 폐용액 보관함을 더 포함하는 원자증기셀 내부를 세척하기 위한 세척 장치
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7
제1항에 있어서,상기 셀 고정부는 상기 셀의 상부를 고정시키는 상부판과 상기 셀의 하부를 고정시키는 하부판을 포함하는 원자증기셀 내부를 세척하기 위한 세척 장치
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제7항에 있어서,상기 셀 고정부를 회전시키는 회전부를 더 포함하는 원자증기셀 내부를 세척하기 위한 세척 장치
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세척액을 셀 내부에 공급하는 단계;비활성 가스를 공급하여 상기 셀 내부의 잔여 세척액을 제거하는 단계;에칭액을 상기 셀 내부에 공급하는 단계; 및상기 비활성 가스를 공급하여 상기 셀 내부의 잔여 에칭액을 제거하는 단계;를 포함하는 원자증기셀 내부를 세척하기 위한 세척 방법
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제9항에 있어서,상기 세척액은 중성세제, 증류수, 아세톤, 에탄올, 이소프로필 알코올(IPA) 및 메탄을 중 어느 하나 이상을 포함하고,상기 세척액을 상기 셀 내부에 순차적으로 공급하여 상기 셀 내부를 세척하는 원자증기셀 내부를 세척하기 위한 세척 방법
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제9항에 있어서,상기 에칭액은 산을 포함하는 원자증기셀 내부를 세척하기 위한 세척 방법
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