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전자현미경용 액상칩에 있어서,생체시료 및 액상물질이 위치하는 하부기판; 및상기 생체시료 및 액상물질을 도포하는 그래핀 박막(4);을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자현미경용 액상칩
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제 1항에 있어서,상기 그래핀 박막은 단일 층 그래핀, 복수 층 그래핀, 산화 그래핀, 환원된 산화그래핀, 활성화 그래핀 중 선택되는 적어도 하나 이상의 조합인 것을 특징으로 하는 전자현미경용 액상칩
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제 1항에 있어서,상기 그래핀 박막은 건식 또는 습식 방식으로 전사시켜 부착시킨 것을 특징으로 하는 전자현미경용 액상칩
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제 1항에 있어서,상기 하부기판은 소정의 전기전도성을 가지는 도체 또는, 상기 소정의 전기전도성을 가지는 도체가 도핑된 반도체 소재인 것을 특징으로 하는 전자현미경용 액상칩
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제1항에 있어서,상기 하부기판은 액상 순환을 위한 수로 구조를 포함하며, 상기 수로 구조는 하부기판의 상면에 형성된 입수구 및 출수구를 포함하며,상기 입수구 및 출수구 각각은 상기 하부기판(3)의 타단에 형성된 연결부를 통해 전자현미경 시료실 외부의 액상 공급장치와 연결되는 특징을 가지는 전자현미경용 액상칩
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전자현미경용 액상칩의 제조방법에 있어서, 기판에 그래핀 박막을 증착하여 성장시키는 단계(s100);상기 기판으로부터 그래핀 박막을 분리하는 단계(s200);증류수 또는 완충용액을 이용하여 불순물을 제거하는 단계(s300); 및고리형 전사기구를 이용하여 그래핀 박막이 생체시료를 도포하도록 하부기판(3)에 전사하는 단계(s400);를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자현미경용 액상칩의 제조방법
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제6항에 있어서, 상기 기판으로부터 그래핀 박막을 분리하는 단계(s200)에서, 상기 기판은 금속재질이며, Ammonium Persulfate, Sodium Persulfate 및 FeCl3로 이루어진 군 중 선택되는 하나의 금속 식각용 부식제를 이용하여 상기 기판으로부터 그래핀 박막을 분리하는 것을 특징으로 하는 전자현미경용 액상칩의 제조방법
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제6항에 있어서, 상기 기판으로부터 그래핀 박막을 분리하는 단계(s200)에서, 상기 기판은 실리콘 재질이며, 염기용액을 이용하여 상기 기판으로부터 상기 그래핀 박막을 분리하는 것을 특징으로 하는 전자현미경용 액상칩의 제조방법
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제6항에 있어서, 상기 고리형 전사기구를 이용하여 그래핀 박막이 생체시료를 도포하도록 하부기판에 전사하는 단계(s400)는, 하부기판에 생체시료 및 액상물질을 도말하는 단계(s410);상기 고리형 전사기구를 이용하여 그래핀 박막을 사전 도말된 생체시료 및 액상물질 위에 전사하는 단계(s420);를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자현미경용 액상칩의 제조방법
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제6항에 있어서, 상기 고리형 전사기구(5)를 이용하여 그래핀 박막이 생체시료를 도포하도록 하부기판에 전사하는 단계(s400)는, 생체시료 및 액상물질을 포함하는 용액 위에 그래핀 박막을 미리 전사시키는 단계(s430);상기 고리형 전사기구를 이용하여 상기 그래핀 박막과 함께 상기 용액을 일정량 포집하여 하부기판(3)에 동시에 전사하는 단계(s440);를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자현미경용 액상칩의 제조방법
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전자현미경용 액상칩에 전자빔을 조사하여 이미지를 획득하는 전자현미경을 이용한 생체시료 관찰방법에 있어서, 상기 전자현미경용 액상칩은 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항의 전자현미경용 액상칩이며, 상기 전자빔을 0
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