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반도체 채널저항 전기회로 및 그 구성 장치와 방법

  • 기술번호 : KST2022001864
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 반도체 채널저항은 기판에 의한 기판저항 성분 및 기판 채널층의 전하로 인한 기판커패시턴스 성분과, 금속전극을 위한 오믹 공정으로 인한 오믹저항 성분이 존재하기 때문에, 반도체 채널저항을 종래의 단순 저항으로 구성하여 집적회로를 설계하거나 병렬 연결된 메인저항과 메인커패시터로 구성하여 설계하는 경우에는 설계결과와 측정결과 사이에 오차가 유발된다. 이 문제를 해결하기 위해, 제1포트와 제2포트 사이에, 병렬 연결된 저항 및 커패시터와, 이 병렬 연결된 저항 및 커패시터에 직렬 연결되는 오믹저항이 포함된 제1수동소자부를 포함하는 반도체 채널저항의 전기회로가 제공된다. 이 전기회로에는 추가적으로 상기 제1포트와 접지 사이에 연결된 제2수동소자부와, 상기 제2포트와 접지 사이에 연결된 제3수동소자부가 포함될 수 있는데, 여기서 제2수동소자부는 저항, 커패시터, 및 병렬연결된 저항과 커패시터 중 하나를 포함할 수 있고, 제3수동소자부는 저항, 커패시터, 및 병렬연결된 저항과 커패시터 중 하나를 포함할 수 있다.
Int. CL H01L 49/02 (2006.01.01) H01L 27/06 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020200169818 (2020.12.07)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0018877 (2022.02.15) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020200099525   |   2020.08.07
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.12.07)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이상흥 대전광역시 서구
2 강수철 대전광역시 서구
3 김성일 대전광역시 유성구
4 김해천 대전광역시 서구
5 노윤섭 대전광역시 유성구
6 안호균 대전광역시 유성구
7 임종원 대전광역시 서구
8 장성재 대전광역시 유성구
9 정현욱 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인지명 대한민국 서울특별시 강남구 남부순환로**** 차우빌딩*층

최종권리자

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2020.12.07 수리 (Accepted) 1-1-2020-1324784-83
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2021.08.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2021.10.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0234661-68
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.12.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-1017648-40
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번호 청구항
1 1
반도체 기판에 형성된 채널저항의 전기회로로,제1포트와 제2포트 사이에, 병렬 연결된 저항 및 커패시터와, 이 병렬 연결된 저항 및 커패시터에 직렬 연결되는 오믹저항이 포함된 제1수동소자부를 포함하는 반도체 채널저항의 전기회로
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제1항에 있어서, 상기 제1포트와 접지 사이에 연결된 제2수동소자부와, 상기 제2포트와 접지 사이에 연결된 제3수동소자부를 추가로 포함하되,상기 제2수동소자부는 저항, 커패시터, 및 병렬연결된 저항과 커패시터 중 하나를 포함하고, 상기 제3수동소자부는 저항, 커패시터, 및 병렬연결된 저항과 커패시터 중 하나를 포함하는 반도체 채널저항의 전기회로
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선택된 기판 항목을 수신하도록 구성된 기판선택부 - 여기서 기판 항목은 SiC 항목과 Si 항목을 포함함;선택된 저항 항목을 수신하도록 구성된 저항선택부 - 여기서 저항 항목은 메인저항 항목, 오믹저항 항목, P1측 기판저항 항목, 및 P2측 기판저항 항목을 포함함; 선택된 커패시터 항목을 수신하도록 구성된 커패시터선택부 - 여기서 커패시터 항목은 메인커패시터 항목, P1측 기판커패시터 항목, P2측 기판커패시터 항목을 포함함; 및상기 선택된 기판 항목, 저항 항목, 및 커패시터 항목으로 전기회로를 구성하는 회로구성부를 포함하는 반도체 채널저항 전기회로 구성장치
4 4
제3항에 있어서, 상기 회로구성부는 상기 기판선택부에서 SiC 기판 항목이 선택되었는지 판단하고;SiC 기판 항목이 선택되었으면, 상기 저항선택부와 커패시터선택부를 통해 메인저항과 메인커패시터가 선택되었는지 판단하여 선택된 메인저항과 메인커패시터를 병렬로 연결하여 P1과 P2 사이에 연결하고; 저항선택부를 통해 오믹저항이 선택되었는지 판단하여 오믹저항이 선택되지 않았으면 상기 P1과 P2 사이에 연결된 상기 병렬연결된 메인저항과 메인커패시터를 최종 회로로 구성하고; 오믹저항이 선택되었으면 선택된 이 오믹저항을 상기 병렬연결된 메인저항 및 메인커패시터와 P1 사이에 직렬 연결하도록 구성되는 반도체 채널저항 전기회로 구성장치
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제3항에 있어서, 상기 회로구성부는 상기 기판선택부에서 Si 기판 항목이 선택되었는지 판단하고;Si 기판 항목이 선택되었으면, 상기 저항선택부와 커패시터선택부를 통해 메인저항과 메인커패시터가 선택되었는지 판단하여 선택된 메인저항과 메인커패시터를 병렬로 연결하여 P1과 P2 사이에 연결하고; 저항선택부를 통해 오믹저항이 선택되었는지 판단하여 오믹저항이 선택되지 않았으면 상기 P1과 P2 사이에 연결된 상기 병렬연결된 메인저항과 메인커패시터를 최종 회로로 구성하고; 오믹저항이 선택되었으면 선택된 이 오믹저항을 상기 병렬연결된 메인저항 및 메인커패시터와 P1 사이에 직렬 연결하고;저항선택부를 통해 P1측 기판저항이 선택되었는지 또는 선택되지 않았는지를 판단하고, 커패시터선택부를 통해 P1측 기판커패시터가 선택되었는지 또는 선택되지 않았는지를 판단하여, 상기 P1측 기판저항과 P1측 기판커패시터가 둘 중 하나만 선택되었는지 모두 선택되었는지 판단하고;상기 둘 중 하나만 선택되었다면 P1과 접지 사이에 상기 선택된 P1측 기판저항 또는 P1측 기판커패시터를 연결하여 최종 회로를 구성하고, 반면에 P1측 기판저항과 P1측 기판커패시터가 모두 선택되었다면 P1측 기판저항과 P1측 기판커패시터를 병렬연결하여 이를 P1과 접지 사이에 연결하여 최종 회로를 구성하도록 구성되는 반도체 채널저항 전기회로 구성장치
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제3항에 있어서, 상기 회로구성부는 상기 기판선택부에서 Si 기판 항목이 선택되었는지 판단하고;Si 기판 항목이 선택되었으면, 상기 저항선택부와 커패시터선택부를 통해 메인저항과 메인커패시터가 선택되었는지 판단하여 선택된 메인저항과 메인커패시터를 병렬로 연결하여 P1과 P2 사이에 연결하고; 저항선택부를 통해 오믹저항이 선택되었는지 판단하여 오믹저항이 선택되지 않았으면 상기 P1과 P2 사이에 연결된 상기 병렬연결된 메인저항과 메인커패시터를 최종 회로로 구성하고, 오믹저항이 선택되었으면 선택된 이 오믹저항을 상기 병렬연결된 메인저항 및 메인커패시터와 P1 사이에 연결하고;저항선택부를 통해 P2측 기판저항이 선택되었는지 또는 선택되지 않았는지를 판단하고, 커패시터선택부를 통해 P2측 기판커패시터가 선택되었는지 또는 선택되지 않았는지를 판단하여, 상기 P2측 기판저항과 P2측 기판커패시터가 둘 중 하나만 선택되었는지 모두 선택되었는지 판단하고;상기 둘 중 하나만 선택되었다면 P2와 접지 사이에 상기 선택된 P2측 기판저항 또는 P2측 기판커패시터를 연결하여 최종 회로를 구성하고, 반면에 P2측 기판저항과 P2측 기판커패시터가 모두 선택되었다면 P2측 기판저항과 P2측 기판커패시터를 병렬연결하여 이를 P2와 접지 사이에 연결하여 최종 회로를 구성하도록 구성되는 반도체 채널저항 전기회로 구성장치
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제3항에 기재된 반도체 채널저항 전기회로 구성장치에서 수행되는 반도체 채널저항 전기회로 구성방법으로,상기 저항선택부와 커패시터선택부를 통해 메인저항과 메인커패시터가 선택되었는지 판단하여 선택된 메인저항과 메인커패시터를 병렬로 연결하여 P1과 P2 사이에 연결하고; 상기 저항선택부를 통해 오믹저항이 선택되었는지 판단하여 오믹저항이 선택되지 않았으면 상기 P1과 P2 사이에 연결된 상기 병렬연결된 메인저항과 메인커패시터를 최종 회로로 구성하고; 오믹저항이 선택되었으면 선택된 이 오믹저항을 상기 병렬연결된 메인저항 및 메인커패시터와 P1 사이에 직렬 연결하고;상기 기판선택부를 통해 반도체 기판이 SiC 기판 또는 Si 기판으로 선택되었는지 판단하여 SiC 기판으로 선택된 것으로 판단된 때 상기 구성된 P1과 P2 사이에 연결된 상기 병렬연결된 메인저항 및 메인커패시터와 직렬 연결된 오믹저항을 최종 회로로 구성하는 것을 포함하는 반도체 채널저항 전기회로 구성방법
8 8
제7항에 있어서, 상기 기판선택부에서 Si 기판 항목이 선택된 것으로 판단된 때, 상기 저항선택부를 통해 P1측 기판저항이 선택되었는지 또는 선택되지 않았는지를 판단하고, 커패시터선택부를 통해 P1측 기판커패시터가 선택되었는지 또는 선택되지 않았는지를 판단하여, 상기 P1측 기판저항과 P1측 기판커패시터가 둘 중 하나만 선택되었는지 모두 선택되었는지 판단하고;상기 둘 중 하나만 선택되었다면 P1과 접지 사이에 상기 선택된 P1측 기판저항 또는 P1측 기판커패시터를 연결하여 최종 회로를 구성하고, 반면에 P1측 기판저항과 P1측 기판커패시터가 모두 선택되었다면 P1측 기판저항과 P1측 기판커패시터를 병렬연결하여 이를 P1과 접지 사이에 연결하여 최종 회로를 구성하는 것을 추가로 포함하는 반도체 채널저항 전기회로 구성방법
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제7항에 있어서, 상기 기판선택부에서 Si 기판 항목이 선택된 것으로 판단된 때, 상기 저항선택부를 통해 P2측 기판저항이 선택되었는지 또는 선택되지 않았는지를 판단하고, 커패시터선택부를 통해 P1측 기판커패시터가 선택되었는지 또는 선택되지 않았는지를 판단하여, 상기 P2측 기판저항과 P2측 기판커패시터가 둘 중 하나만 선택되었는지 모두 선택되었는지 판단하고;상기 둘 중 하나만 선택되었다면 P2와 접지 사이에 상기 선택된 P2측 기판저항 또는 P2측 기판커패시터를 연결하여 최종 회로를 구성하고, 반면에 P측 기판저항과 P2측 기판커패시터가 모두 선택되었다면 P2측 기판저항과 P1측 기판커패시터를 병렬연결하여 이를 P2와 접지 사이에 연결하여 최종 회로를 구성하는 것을 추가로 포함하는 반도체 채널저항 전기회로 구성방법
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1 과학기술정보통신부 한국전자통신연구원 융합연구단사업 국방 무기체계용 핵심 반도체 부품 자립화 플랫폼 개발